【技术实现步骤摘要】
一种半干法处理塑胶直接电镀真空镀膜系统
本专利技术涉及镀膜
,具体为涉及一种半干法处理塑胶直接电镀真空镀膜系统。
技术介绍
现有技术镀膜所使用的柱靶功率低,冷却效果差,膜层沉积效率低,Cu溅射大颗粒明显,产线生产节拍太长导致生产效率低;需要解决的问题:采用大功率溅射电源,增加柱靶体积及冷却量,将Cu靶更换为合金靶,降低大颗粒影响,提升膜层沉积效率,将生产节拍从45min下降为8min。。
技术实现思路
为了解决上述技术问题,本专利技术的目的在于提供一种半干法处理塑胶直接电镀真空镀膜系统。本专利技术通过以下技术方案来实现:该半干法处理塑胶直接电镀真空镀膜系统具有连续的六个腔体,按照顺序分别为1-进料真空腔体;2-辉光改性真空腔体;3-硬质Cr镀层打底真空腔体;4-Cr至合金镀层镀膜真空腔体;5-合金镀层镀膜真空腔体;6-出料腔体;其中进料真空腔体1通过抽真空隔绝大气与辉光改性真空腔体2,达到更纯净的辉光气体组分,提高结合力及其均匀性;辉光改性真空腔体2通过2500V/50%高频交流辉光电源将氧气起辉,实现塑胶件表面改性;硬质Cr镀层打底真空腔体3使用60KW、40KHz中频溅射电源,在基材表面形成打底Cr层使得该Cr层膜厚为0.1-0.2μm;在Cr至合金镀层镀膜真空腔体4中使用30KW直流溅射电源,在Cr层表面形成过渡层,该过渡层的膜厚为0.1-0.2μm;合金镀层镀膜真空腔体5使用30KW直流溅射电源,在过渡层表面形成纯净合金层,该合金层厚度为0.1-0.2μm;出料腔体6过抽真空隔绝大气与合金镀层镀膜真空腔体5,达到更纯净的溅射气体组分,提高结合力及 ...
【技术保护点】
1.一种半干法处理塑胶直接电镀真空镀膜系统,包括进料真空腔体(1),辉光改性真空腔体(2),硬质Cr镀层打底真空腔体(3),Cr至合金镀层镀膜真空腔体(4),合金镀层镀膜真空腔体(5)和出料腔体(6);其特征在于,通过按续连接所述真空腔体(1),辉光改性真空腔体(2),硬质Cr镀层打底真空腔体(3),Cr至合金镀层镀膜真空腔体(4),合金镀层镀膜真空腔体(5)和出料腔体(6)形成该半干法处理塑胶直接电镀真空镀膜系统。
【技术特征摘要】
1.一种半干法处理塑胶直接电镀真空镀膜系统,包括进料真空腔体(1),辉光改性真空腔体(2),硬质Cr镀层打底真空腔体(3),Cr至合金镀层镀膜真空腔体(4),合金镀层镀膜真空腔体(5)和出料腔体(6);其特征在于,通过按续连接所述真空腔体(1),辉光改性真空腔体(2),硬质Cr镀层打底真空腔体(3),Cr至合金镀层镀膜真空腔体(4),合金镀层镀膜真空腔体(5)和出料腔体(6)形成该半干法处理塑胶直接电镀真空镀膜系统。2.根据权利要求1所述的半干法处理塑胶直接电镀真空镀膜系统,其特征在于,所述进料真空腔体(1)通过抽真空隔绝大气与辉光改性真空腔体(2),达到更纯净的辉光气体组分,提高结合力及其均匀性;所述辉光改性真空腔体(2)通过2500V/50%高频交流辉光电源将氧气起辉,实现塑胶件表面改性;所述硬质Cr镀层打底真空腔体(3)使用60KW、40KHz中频溅射电源,在基材表面形成打底Cr层使得该Cr层膜厚为0.1-0.2μm;在所述Cr至合金镀层镀膜真空腔体(4)中使用30KW直流溅射电源,在Cr层表面形成过渡层,该过渡层的膜厚为0.1-0.2μm;所述合金镀层镀膜真空腔体(5)使用30KW直流溅射电源,在过渡层表面形成纯净合金层,该合金层厚度为0.1-0.2μm;所述出料腔体(6)过抽真空隔绝大气与所述合金镀层镀膜真空腔体(5),达到更纯净的溅射气体组分,提高结合力及其均匀性。3.根据权利要求1所述的半干法处理塑胶直接电镀真空镀膜系统,其特征在于,所述进料真空腔体(1)的工作过程为:步骤一为抽真空到5.0E-3Pa;步骤二为充带过滤的大气150s。4.根据权利要求1所述的半干法处理塑胶直接电镀真空镀膜系统,其特征在于,所述辉光改性真空腔体(2)的工作过程为:步骤一为恢复真空,气压为2.0E-3Pa,过程时间为30s;步骤二为辉光准备,充入气体比例为Ar:O2=1:3,压强为3~5Pa,过程时间为15s;步骤三为辉光改性,充入气体比例为Ar:O2=1:3,压强为3~5Pa,15s,附加电压2500V/50%,过程时间为300s;步骤四为结尾保护,充入气体比例为Ar:O2=1:3,压强为3~5Pa,过程时间为10s。5.根据权利要求1所述的半干法处理塑胶直接电镀真空镀膜系统,其特征在于,所述硬质Cr镀层打底真空腔体(3)工作过程为:步骤一为恢复真空,气压为2.0E-3Pa,过程时间为30s;步骤二为预通气,调节Ar压强至3.5E-1...
【专利技术属性】
技术研发人员:张绍璞,范刚,庞亮,杨继洪,黄兴盛,何志聪,蒋义锋,林志敏,胡征宇,侯章辉,黄贤明,
申请(专利权)人:厦门建霖健康家居股份有限公司,
类型:发明
国别省市:福建,35
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