自动光学检测方法技术

本发明专利技术提供一种自动光学检测方法，用于检测被检测对象的表面缺陷。所述自动光学检测方法包括：通过至少两种照明系统对被检测对象进行照明，分别在各种照明系统下，通过探测器采集被检测对象的图像信息，再通过计算机对采集的图像信息进行分析，以得到被检测对象的表面缺陷信息，并通过计算机保存所述表面缺陷信息，其中，通过计算机保存至少在一种照明系统下采集的图像信息；通过计算机对所有的表面缺陷信息进行整合，以合并重复的表面缺陷信息。本发明专利技术提供一种自动光学检测方法可有效提高检测效率。

Automatic Optical Detection Method

The invention provides an automatic optical detection method for detecting surface defects of the detected object. The automatic optical detection method includes: illuminating the detected object through at least two kinds of illumination systems, collecting the image information of the detected object through the detector under various illumination systems, and then analyzing the image information collected by the computer to obtain the surface defect information of the detected object, and storing the surface defect information through the computer. In this system, the image information collected under at least one illumination system is saved by computer, and all surface defect information is integrated by computer to merge repeated surface defect information. The invention provides an automatic optical detection method which can effectively improve the detection efficiency.

【技术实现步骤摘要】
自动光学检测方法
本专利技术涉及缺陷检测
，特别涉及一种自动光学检测方法。
技术介绍
自动光学检测(AutomaticOpticalInspection，AOI)技术可实现晶圆、芯片或其它被检测对象的快速、高精度、无损伤检测。该技术广泛地应用于PCB、集成电路、LED、TFT以及太阳能面板等领域。由于被检测对象的缺陷具有多样性，且不同的缺陷具有不同的光学特性，因此自动光学检测装置一般会配备多种测量配置，即采用多种照明系统对被检测对象进行照明，并通过多种测量配置对同一被检测对象的不同类型的缺陷进行检测，从而提高缺陷检测的灵敏度和检出率。例如，在硅片缺陷检测
，对于灰度变化较明显的缺陷，如污染、刮伤等，可以在明场照明的测量配置下进行测量；对于微小颗粒，则可以在暗场照明的测量配置下进行测量。目前，具有多种测量配置的自动光学检测装置，在自动检测的过程中需要先通过光学成像系统采集被检测对象的图像信息，然后通过计算机将采集的图像信息与参考图像信息进行比较，以识别出被检测对象的表面缺陷，然后再次采集被检测对象的图像信息并保存，以便于后续复判。其中，再次采集被检测对象的图像信息消耗了一定本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动光学检测方法，用于检测被检测对象的表面缺陷，其特征在于，包括：通过至少两种照明系统对被检测对象进行照明，分别在各种照明系统下，通过探测器采集被检测对象的图像信息，再通过计算机对采集的图像信息进行分析，以得到被检测对象的表面缺陷信息，并通过计算机保存所述表面缺陷信息，其中，通过计算机保存至少在一种照明系统下采集的图像信息；通过计算机对所有的表面缺陷信息进行整合，以合并重复的表面缺陷信息。

【技术特征摘要】
1.一种自动光学检测方法，用于检测被检测对象的表面缺陷，其特征在于，包括：通过至少两种照明系统对被检测对象进行照明，分别在各种照明系统下，通过探测器采集被检测对象的图像信息，再通过计算机对采集的图像信息进行分析，以得到被检测对象的表面缺陷信息，并通过计算机保存所述表面缺陷信息，其中，通过计算机保存至少在一种照明系统下采集的图像信息；通过计算机对所有的表面缺陷信息进行整合，以合并重复的表面缺陷信息。2.如权利要求1所述的自动光学检测方法，其特征在于，计算机在保存的图像信息中选择至少一种照明系统照射下的图像信息，将表面缺陷信息标注到选择的图像信息中，再将图像信息输出并保存。3.如权利要求2所述的自动光学检测方法，其特征在于，计算机在保存的图像信息中选择图像信息时，仅选择在一种照明系统的照射下保存的图像信息。4.如权利要求2所述的自动光学检测方法，其特征在于，计算机在保存的图像信息中选择图像信息时，选择至少在两种照明系统的照射下保存的图像信息，并将一部分的表面缺陷信息标注在一部分选择的图像信息中，另一部分的表面缺陷信息标注在另一部分选择的图像信息中。5.如权利要求1所述的自动光学检测方法，其特征在于，探测器采集被检测对象的图像信息时，通过扫描的方式采集被检测对象的图像信息。6.如权利要求5所述的自动光学...

【专利技术属性】
技术研发人员：王帆，陆海亮，张凯，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31