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本发明提供一种自动光学检测方法，用于检测被检测对象的表面缺陷。所述自动光学检测方法包括：通过至少两种照明系统对被检测对象进行照明，分别在各种照明系统下，通过探测器采集被检测对象的图像信息，再通过计算机对采集的图像信息进行分析，以得到被检测对...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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