铜蚀刻废液的处理方法技术

本发明专利技术涉及一种铜蚀刻废液的处理方法，包括：将铜蚀刻废液在负载有催化剂的固体填料的作用下分解，得到第一废液及第一废气；调节第一废液的pH至8～10得到第二废液；将第二废液蒸馏得到馏出液和浓缩液；将馏出液生化处理得到净化液和第二废气；将浓缩液焚烧处理得到第三废气；及将第一废气、第二废气与第三废气用废气处理设备处理。上述铜蚀刻废液的处理方法能够有效控制铜蚀刻废液中过氧化氢的分解速度，提高过氧化氢分解的安全性，且处理过程中无臭气排出，不会污染环境。

Treatment of Copper Etching Waste Liquor

The invention relates to a method for treating copper etching waste liquor, which includes: decomposing the copper etching waste liquor under the action of solid filler loaded with catalyst to obtain the first waste liquor and the first waste gas; adjusting the pH of the first waste liquor to 8-10 to obtain the second waste liquor; distilling the second waste liquor to obtain distillate and concentrated liquor; biochemical treatment of the distillate liquor to obtain purified liquor and the second waste gas; The third waste gas is obtained by incineration treatment, and the first waste gas, the second waste gas and the third waste gas are treated by waste gas treatment equipment. The above treatment method can effectively control the decomposition speed of hydrogen peroxide in copper etching waste liquor, improve the safety of hydrogen peroxide decomposition, and discharge odorless gas during the treatment process, so as not to pollute the environment.

【技术实现步骤摘要】
铜蚀刻废液的处理方法
本专利技术涉及光电领域，特别是涉及一种铜蚀刻废液的处理方法。
技术介绍
光电行业液晶制造工序中的铜蚀刻过程需要使用大量的铜蚀刻液，该铜蚀刻液中含有较高浓度的过氧化氢(15％～25％，质量分数)。当铜蚀刻液的过氧化氢浓度降低至蚀刻效率达不到要求后就成为铜蚀刻废液，该铜蚀刻废液中过氧化氢浓度仍然很高，其含量约为5％～20％(质量分数)，同时含有一定量的铜离子。为保证蚀刻速率的可控，铜蚀刻液配方中还添加了一定量的有机胺类缓蚀剂(如亚氨基二乙酸、五氨基四氮唑等)，导致产生的铜蚀刻废液中含一定量的有机胺。上述铜蚀刻废液产量巨大，但若处理不当或不及时，过氧化氢会发生剧烈分解，存在巨大的安全隐患，此外，有机胺化合物的分解会产生难闻的臭气，污染环境。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种较为安全且较为环保的铜蚀刻废液的处理方法。一种铜蚀刻废液的处理方法，包括以下步骤：将铜蚀刻废液在负载有催化剂的固体填料的作用下分解，得到第一废液及第一废气，所述催化剂选自过渡金属单质及过渡金属氧化物中的至少一种，所述固体填料为多孔材料；调节所述第一废液的pH至8～10，得到第二废液；将所述第二废液蒸馏，得到馏出液和浓缩液；将所述馏出液经生化处理，得到净化液及第二废气；将所述浓缩液焚烧处理，得到第三废气；及将所述第一废气、所述第二废气及所述第三废气用废气处理设备处理。上述铜蚀刻废液的处理方法，通过将铜蚀刻废液经负载有催化剂的多孔固体填料分解，能够有效控制过氧化氢的分解速度，使过氧化氢安全稳定分解，避免了因不处理废液，铜离子催化过氧化氢剧烈分解导致的安全隐患，且经催化分解后过氧化氢去除率达90％以上；通过调节第一废液的pH能够将酸性的第一废液转化为弱碱性废液，以使后续处理及排放中不污染环境；将馏出液和浓缩液分别处理后得到能够安全排放的净化液和废气；整个过程中产生的废气均经废气处理设备处理后排放，无明显异味，避免了污染环境。在其中一个实施例中，所述过渡金属单质选自Ag、Cu、Cr、Fe、Mn、Pb及Pt中的至少一种；及/或，所述过渡金属氧化物选自氧化银、氧化铜、氧化铬、氧化铁、二氧化锰及氧化铅中的至少一种。在其中一个实施例中，所述固体填料选自氧化铝、硅胶、活性炭、浮石、硅藻土、蛭石、高岭土、膨润土、硅灰石及海泡石中的至少一种。在其中一个实施例中，所述铜蚀刻废液在所述催化剂的作用下分解的反应时间为10min～30min。在其中一个实施例中，负载有所述催化剂的所述固体填料设置在一密封的催化分解装置中，所述铜蚀刻废液流经所述催化分解装置的速度为50mL/min～150mL/min。在其中一个实施例中，所述调节pH的试剂选自氢氧化钠、氢氧化钾及氢氧化钙中的至少一种。在其中一个实施例中，调节所述第一废液的pH值至8～10，得到第二废液的步骤之后，在将所述第二废液蒸馏的步骤之前还包括将所述第二废液进行过滤分离的步骤。在其中一个实施例中，所述蒸馏为减压蒸馏。在其中一个实施例中，所述馏出液与所述第二废液的体积比为0.8～0.9∶1.0。在其中一个实施例中，将所述第一废气、所述第二废气和所述第三废气经废气处理设备处理的步骤包括：将所述第一废气、所述第二废气和所述第三废气经等离子体设备分解，然后将分解后的所述第一废气、所述第二废气和所述第三废气经喷淋吸收处理。附图说明图1为一实施方式的铜蚀刻废液的处理方法的流程图。具体实施方式为了便于理解本专利技术，下面将参照相关附图对本专利技术进行更全面的描述。附图中给出了本专利技术的较佳的实施例。但是，本专利技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本专利技术的公开内容的理解更加透彻全面。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本专利技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体地实施例的目的，不是旨在于限制本专利技术。请参阅图1，一实施方式的铜蚀刻废液的处理方法能够将含有一定量的铜离子、过氧化氢及有机物的铜蚀刻废液进行较为安全且环保的分解及处理。上述铜蚀刻废液的处理方法包括以下步骤：S110：将铜蚀刻废液在负载有催化剂的固体填料的作用下分解，得到第一废液及第一废气。具体地，上述铜蚀刻废液中铜含量为3g/L～5g/L，过氧化氢的质量含量为5％～20％，化学需氧量(COD)为50g/L～100g/L。上述铜蚀刻废液中还可以包含其他过氧化氢含量高的废水。具体地，上述催化剂选自过渡金属单质及过渡金属氧化物中的至少一种，所述固体填料为多孔材料，从而能够将催化剂负载在其孔结构中，以有效控制催化剂与铜蚀刻废液的接触。进一步地，过渡金属单质选自Ag、Cu、Cr、Fe、Mn、Pb及Pt中的至少一种。过渡金属氧化物选自氧化银、氧化铜、氧化铬、氧化铁、二氧化锰及氧化铅中的至少一种。固体填料选自氧化铝、硅胶、活性炭、浮石、硅藻土、蛭石、高岭土、膨润土、硅灰石及海泡石中的至少一种。进一步地，铜蚀刻废液在催化剂的作用下分解的反应时间为10min～30min，以使过氧化氢充分分解，过氧化氢去除率达到90％以上。具体地，负载有催化剂的固体填料设置在带有入料口和排料口的密封的催化分解装置中，铜蚀刻废液流经催化分解装置的速度为50mL/min～150mL/min，以使过氧化氢稳定分解。如果过氧化氢分解过快会容易出现冒罐甚至爆炸的现象，而控制铜蚀刻废液流经催化分解装置的速度能够有效控制过氧化氢与催化剂的接触，从而保证过氧化氢的稳定分解。分解后产生的第一废液经排料口排出废液，第一废气在负压的条件下进入后续设备处理。上述铜蚀刻废液中过氧化氢在催化分解过程中会产生一定量的羟基自由基，与铜蚀刻废液中的有机物发生氧化反应，因此能降低废液中的COD含量，但同时会产生难闻的气味，为避免污染环境需经后续设备处理后才能排放。S120：调节第一废液的pH至8～10，得到第二废液。具体地，调节pH的试剂选自氢氧化钠、氢氧化钾及氢氧化钙中的至少一种。进一步地，上述调节pH的试剂为固体或水溶液。具体地，调节第一废液pH至8～10，得到第二废液的步骤之后还包括过滤分离的步骤。将第一废液调节pH至8～10能够将第一废液中的铜离子沉淀，同时得到碱性的第二废液。经过滤分离后回收铜。进一步地，调节pH后可以先将第二废液静置处理一段时间后再进行过滤，以使沉淀完全。调节pH至8～10一方面能够回收铜，另一方面碱性环境能够避免铜蚀刻废液中的氟离子腐蚀设备。进一步地，过滤为真空抽滤或离心过滤。S130：将第二废液蒸馏，得到馏出液和浓缩液。具体地，蒸馏为减压蒸馏。减压蒸馏能够加快蒸馏的速度。进一步地，蒸馏至馏出液与第二废液的体积比为0.8～0.9∶1.0时即可停止蒸馏。S140：将馏出液经生化处理，得到净化液及第二废气。生化处理方法是使废液与微生物混合接触，利用微生物体内的生物化学作用分解废液中的有机物和某些无机毒物，使不稳定的有机物和无机毒物转化为无毒物质的一种污水处理方法。BOD5/COD为污水可生化降解的指标，其中，BOD5为五日生化需氧量，数值越大，证明水中含有的有机物越多，污染越严重。COD为化学需氧量，反映以化学方法测量水样中需要被氧化的还原性物质的量，通常以BOD5/COD＝0本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种铜蚀刻废液的处理方法，其特征在于，包括以下步骤：将铜蚀刻废液在负载有催化剂的固体填料的作用下分解，得到第一废液及第一废气，所述催化剂选自过渡金属单质及过渡金属氧化物中的至少一种，所述固体填料为多孔材料；调节所述第一废液的pH至8～10，得到第二废液；将所述第二废液蒸馏，得到馏出液和浓缩液；将所述馏出液经生化处理，得到净化液及第二废气；将所述浓缩液焚烧处理，得到第三废气；及将所述第一废气、所述第二废气及所述第三废气用废气处理设备处理。

【技术特征摘要】
1.一种铜蚀刻废液的处理方法，其特征在于，包括以下步骤：将铜蚀刻废液在负载有催化剂的固体填料的作用下分解，得到第一废液及第一废气，所述催化剂选自过渡金属单质及过渡金属氧化物中的至少一种，所述固体填料为多孔材料；调节所述第一废液的pH至8～10，得到第二废液；将所述第二废液蒸馏，得到馏出液和浓缩液；将所述馏出液经生化处理，得到净化液及第二废气；将所述浓缩液焚烧处理，得到第三废气；及将所述第一废气、所述第二废气及所述第三废气用废气处理设备处理。2.根据权利要求1所述的铜蚀刻废液的处理方法，其特征在于，所述过渡金属单质选自Ag、Cu、Cr、Fe、Mn、Pb及Pt中的至少一种；及/或，所述过渡金属氧化物选自氧化银、氧化铜、氧化铬、氧化铁、二氧化锰及氧化铅中的至少一种。3.根据权利要求1所述的铜蚀刻废液的处理方法，其特征在于，所述固体填料选自氧化铝、硅胶、活性炭、浮石、硅藻土、蛭石、高岭土、膨润土、硅灰石及海泡石中的至少一种。4.根据权利要求1所述的铜蚀刻废液的处理方法，其特征在于，所述铜蚀刻废液在所述催化剂的作用下分解的反应时间为10min～30min。5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：萧作平，吴文彪，周伟，龙江，陈露，李雯，龙雯，
申请(专利权)人：仙桃绿怡环保科技有限公司，东江环保股份有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42