The invention discloses a cleaning device and a cleaning method thereof, which comprises a trough body, an evaporating trough and a cleaning trough are installed inside the trough body, a drying pipe, a condensing pipe and a specific gravity separator are installed in the trough body, a vapor zone is formed between the evaporating trough, a cleaning trough and a condensing pipe, and a drying zone is formed between the vapor zone and the drying pipe; a sprinkler head is installed on the trough body, a sprinkler head and a The cleaning method includes: A. ultrasonic cleaning of the articles to be cleaned by soaking in the solvent composition in the cleaning tank; B. spraying and washing of the impregnated articles in the spraying zone with the solvent composition; C. placing the sprayed articles in the vapor zone with the vapor of the solvent composition for cleaning; D. placing the articles to be cleaned by the vapor in the drying zone for drying. Dry treatment. The invention adopts a specific gravity separator to remove light specific gravity pollutants in solvent compositions containing pollutants separated from their own articles by using the principle of specific gravity separation, so as to improve the cleaning effect.
【技术实现步骤摘要】
一种净洗装置及其净洗方法
本专利技术涉及一种净洗装置,特别涉及一种净洗装置及其净洗方法。
技术介绍
在半导体及光学器件制造等领域,涉及到的电子元件、透镜等光学元件等精密元器件通常需要精密清洗,以去除树脂、有机焊剂、油污、油脂、蜡以及在电子制造和电子机械应用中类似的污染物。采用纯水清洗,或采用除污洗涤后再用纯水清洗,将其清洗干净。再经过除水步骤后,可实现元器件的净洗。中国专利技术专利CN100471543C公开了长时间连续使用也可稳定维持良好的脱水性能的脱水方法,包括以下工序,在将选自氢氯氟烃类(HCFCs)、氢氟烃类(HFCs)以及氢氟醚类(HFEs)的至少1种与醇类作为必需成分的溶剂组合物中,浸渍在表面附着有水的物品来进行脱水的浸渍工序;通过比重分离法从含有脱离自物品的水的溶剂组合物中分离出水的比重分离工序;使用凝集的过滤器过滤在比重分离工序中水已被分离的溶剂组合物,将残存于溶剂组合物中的水进一步分离的过滤工序。含氟类溶剂为有机溶剂中的某些氢原子被氟原子取代。其中,氢氟醚是一种氟化醚类化合物,就是醚类物质的某些氢原子被氟原子所取代,其臭氧消耗潜值(ODP)为零, ...
【技术保护点】
1.一种净洗装置,包括槽体,槽体的内部安装有蒸发槽与净洗槽,槽体从上到下依次安装有干燥管,冷凝管以及比重分离器,其特征在于:蒸发槽、净洗槽以及冷凝管之间形成蒸气区,蒸气区与干燥管之间形成干燥区;槽体上安装有喷淋头,喷淋头安装在净洗槽的上方,喷淋头安装在蒸气区位置,喷淋头与净洗槽之间为喷淋区;蒸发槽内安装有第一超声波发生器与加热器;净洗槽内安装有第二超声波发生器;比重分离器的底部安装有排污阀;净洗槽的外部安装有第二管路,第二管路上安装有第二循环泵与第二颗粒过滤器;第二管路的一端设有两个分接管路,其中一个分接管路与净洗槽的底部连接,另外一个分接管路与比重分离器的底部连接,另外一 ...
【技术特征摘要】
1.一种净洗装置,包括槽体,槽体的内部安装有蒸发槽与净洗槽,槽体从上到下依次安装有干燥管,冷凝管以及比重分离器,其特征在于:蒸发槽、净洗槽以及冷凝管之间形成蒸气区,蒸气区与干燥管之间形成干燥区;槽体上安装有喷淋头,喷淋头安装在净洗槽的上方,喷淋头安装在蒸气区位置,喷淋头与净洗槽之间为喷淋区;蒸发槽内安装有第一超声波发生器与加热器;净洗槽内安装有第二超声波发生器;比重分离器的底部安装有排污阀;净洗槽的外部安装有第二管路,第二管路上安装有第二循环泵与第二颗粒过滤器;第二管路的一端设有两个分接管路,其中一个分接管路与净洗槽的底部连接,另外一个分接管路与比重分离器的底部连接,另外一个分接管路上安装有截止阀;净洗槽的另一端与喷淋头连接;槽体上安装有第一导流槽,第一导流槽安装在冷凝管与比重分离器之间。2.根据权利要求1所述的净洗装置,其特征在于:蒸发槽的外部设有第一管路,第一管路的一端安装在蒸发槽的底部,第一管路的另一端安装在蒸发槽的顶部,第一管路上安装有第一颗粒过滤器与第一循环泵。3.根据权利要求1所述的净洗装置,其特征在于:比重分离器的内部安装有止回隔板,第一导流槽的下部安装在止回隔板与排污阀之间。4.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员:米欣,肖强,刘星,
申请(专利权)人:深圳市盈石科技有限公司,浙江师范大学,
类型:发明
国别省市:广东,44
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