一种基于缝纫式线芯结构的微型磁通门传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种微型磁通门传感器，激励线和铁芯采用缝纫式线芯结构，铁芯为矩形平面结构；激励线为多条直线段首尾相连组成的折线形结构，如缝纫线一样，上下往复穿过铁芯平面；感应线圈为三维螺线管结构垂直铁芯长边缠绕，三维螺线管线圈上下层之间的连通部分由一个连接导体组成；骨架使用硅片作为基底制作，用于承载铁芯、激励线、感应线圈、焊盘；激励线和感应线圈均由设置在传感器两端的焊盘引出。该微型磁通门的激励线上下往复穿过铁芯平面，能够提高铁芯整体饱和程度，增强激励磁场，有利于减小磁通门的尺寸；感应线圈采用三维螺线管结构有利于磁场的紧密耦合，该微型磁通门的线芯结构能有效提高微型磁通门的灵敏度。

【技术实现步骤摘要】
一种基于缝纫式线芯结构的微型磁通门传感器
本专利技术涉及一种磁通门传感器，特别是涉及一种采用微机电（MEMS）技术制备的微型磁通门传感器。。
技术介绍
磁通门传感器（以下简称为磁通门）是一种综合性能很好的弱磁测量传感器，具有分辨率高、温度稳定性好和剩磁误差小的特点，其中正交磁通门结构简单，线性测量范围大，但存在灵敏度低、制造成本高的问题。文献“国际公布号是WO2007010378的专利”公开了一种集成的正交磁通门磁场传感器。铁芯材料采用覆层的形式围绕励磁杆，激励线、铁芯和感应线圈以沉积和图案化形成的多层的方式堆积于衬底上。感应线圈采用至少两层平面螺线结构，位于铁芯覆层的纵向末端附近。通过改变激励线和铁芯覆层结构的长度调节磁通门的线性测量范围，通过增加感应线圈的层数来提高磁通门的灵敏度，通过采用集成电路电路层堆积工艺降低制造成本。然而，文献所述的正交磁通门使用改变结构长度的方式增大测量范围，会引起磁通门灵敏度的下降；平面螺线结构的感应线圈效率不高；通过增加感应线圈层数来提高灵敏度的方法增加了制作复杂度和制造成本；使用集成电路电路层堆积工艺制作的铁芯截面积小，不利于传感器灵敏度的提高。专本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种缝纫式线芯结构的微型磁通门传感器，其特征在于：包括铁芯1、激励线2、激励线引线焊盘3、感应线圈4、感应线圈引线焊盘5、衬底6和聚酰亚胺绝缘层7；铁芯采用软磁材料，为矩形平面结构；激励线2如缝纫线一样，上下往复穿过铁芯平面；感应线圈4使用三维螺线管结构直接缠绕在矩形平面铁芯的外部；激励线2和感应线圈4分别连接至激励线引线焊盘3和感应线圈引线焊盘5；铁芯和线圈之间由聚酰亚胺作为绝缘层。

【技术特征摘要】
1.一种缝纫式线芯结构的微型磁通门传感器，其特征在于：包括铁芯1、激励线2、激励线引线焊盘3、感应线圈4、感应线圈引线焊盘5、衬底6和聚酰亚胺绝缘层7；铁芯采用软磁材料，为矩形平面结构；激励线2如缝纫线一样，上下往复穿过铁芯平面；感应线圈4使用三维螺线管结构直接缠绕在矩形平面铁芯的外部；激励线2和感应线圈4分别连接至激励线引线焊盘3和感应线圈引线焊盘5；铁芯和线圈之间由聚酰亚胺作为...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕辉，胡治国，李良，李成杰，梁智超，
申请(专利权)人：河南理工大学，
类型：发明
国别省市：河南,41