一种光学垫片高度量测机制造技术

本发明专利技术涉及一种光学垫片高度量测机，其包括用于安置待量测物品的基台、测量装置和薄膜状恒温液体循环管路，其中，所述薄膜状恒温液体循环管路贴装在所述基台的侧面。本发明专利技术通过设置薄膜状恒温液体循环管路，对基台的温度进行调控，避免设备内部温度过高，从而消除环境温度的变化对PS尺寸量测的波动影响，提高数据量测的精确性，为TFT与CF贴合制程提供精确量测的PS尺寸，确保液晶分布的Cell Gap(盒厚)均一性，提高液晶显示效果。

【技术实现步骤摘要】
一种光学垫片高度量测机
本专利技术涉及液晶显示
，并且更具体地，涉及到一种光学垫片高度量测机。
技术介绍
TFT-LCD面板作为平板显示器市场的主流产品，是通过控制TFT(ThinFilmTransistor，薄膜晶体管)和CF(ColorFilter,彩色滤光片)上下基板间的电场，改变液晶材料的排列方式，从而达到预期的显示效果。如图1所示，PS(PhotoSpacer)制程是CF基板生产中的重要工序，通过工艺参数的调整可以得到不同柱高、尺寸的PS间隔柱，用于保持TFT基板与CF基板贴合时的均匀平坦度、以及提供液晶分布的CellGap(盒厚)。在TFT与CF贴合时(相同的承压状态)，不同尺寸的PS压缩量不同，会导致液晶分布的CellGap不均匀，液晶填充后将造成各种显示不良，比如气泡、条状Mura或光晕Mura。因此，CF基板生产时需要严格管控PS柱高及尺寸等特性值，确保液晶在盒厚均匀的区域控制光路传播，提高液晶显示效果。如图2所示，PSH量测机(PhotoSpacerHeightMeasurementMachine)，又称为光学垫片高度测定机，其包括支架(gantry)1、置于支架上的基台2、供玻璃基板进出的玻璃基板入口/出口(GLASSLD/ULD)3、以及置于上方的光学测量头(opticalhead)4，可以测试PS高度、PSTopsize及Bottomsize,并形成3D图形。通过两束光之间的光程差(OPD:OpticalPathDifference光学路径差)形成明暗相间的条纹，CCD将获取的干涉条纹转换成强弱信号，绘出波形图，利用图像处理器对图形进行处理转换成PS量测数值。无尘室环境下(温度22℃±1℃)使用PSH量测机进行量测，设备运转超过一定时间后，装置内部温度将高于无尘室管控温度范围，如图3，图4所示，对比量测结果发现：环境温度的变化对PS测定数据产生较大影响，造成PS量测数据不准确，这种现象在CF生产工艺中不能容许。基于此，现有技术仍然有待改进。
技术实现思路
本专利技术针对上述问题，目的在于提供一种光学垫片高度量测机，其能解决现有技术的由于装置内部温度变化而引起的的测量数据不准确的技术问题。为达到上述目的，本专利技术采用如下技术方案：本专利技术的实施例公开了一种光学垫片高度量测机，包括用于安置待量测物品的基台、测量装置和薄膜状恒温液体循环管路，其中，所述薄膜状恒温液体循环管路贴装在所述基台的侧面。进一步地，还包括供液系统，所述供液系统连通所述薄膜状恒温液体循环管路的进液口和出液口，为所述薄膜状恒温液体循环管路提供恒温液体。进一步地，所述薄膜状恒温液体循环管路包括粘附薄膜，以及设置在所述粘附薄膜另一侧的循环液管，所述粘附薄膜贴附在所述基台的侧面。进一步地，所述循环液管为蛇形管。进一步地，所述粘附薄膜与所述基台的侧面的面积相同。进一步地，所述基台为方形，所述薄膜状恒温液体循环管路贴装在所述基台的四个侧面中的至少一个侧面。进一步地，所述薄膜状恒温液体循环管路为两个，分别贴附在所述基台相对的两个侧面上，且两个所述薄膜状恒温液体循环管路串联或并联地连接所述供液系统。进一步地，所述薄膜状恒温液体循环管路为四个，分别贴附在所述基台的四个侧面上，四个所述薄膜状恒温液体循环管路并联地连接所述供液系统，并且，任意两个侧面的相接处分别设置为所述薄膜状恒温液体循环管路的进液口和出液口。进一步地，所述薄膜状恒温液体循环管路中的液体为水。进一步地，所述薄膜状恒温液体循环管路中的液体温度为22℃±1℃。本专利技术的有益效果是：本专利技术通过设置薄膜状恒温液体循环管路，对基台的温度进行调控，避免设备内部温度过高，从而消除环境温度的变化对PS尺寸量测的波动影响，提高数据量测的精确性，为TFT与CF贴合制程提供精确量测的PS尺寸，确保液晶分布的CellGap(盒厚)均一性，提高液晶显示效果。附图说明图1为本专利技术的CF基板与TFT基板贴合示意图；图2为本专利技术现有技术的PSH量测机结构示意图；图3，图4为不同环境温度下间隔柱尺寸的测量结果图；图5为本专利技术一实施例的PSH量测机的基台和薄膜状恒温液体循环管路结构示意图。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。如图5所示，本专利技术一实施例公开了一种可精确量测滤光片间隔柱尺寸的量测机，即光学垫片量测机，包括用于安置待量测物品的基台2、测量装置和薄膜状恒温液体循环管路5，其中，所述薄膜状恒温液体循环管路5贴装在所述基台2的侧面。本实施例过所公开的量测机，通过设置薄膜状恒温液体循环管路5，对基台2的温度进行调控，避免设备内部温度过高，从而消除环境温度的变化对PS尺寸量测的波动影响，提高数据量测的精确性，为TFT与CF贴合制程提供精确量测的PS尺寸，确保液晶分布的CellGap(盒厚)均一性，提高液晶显示效果。本专利技术一些优选的实施例，在上述实施例的基础上，为实现恒温液体循环管路内液体的循环，还包括供液系统，所述供液系统连通所述薄膜状恒温液体循环管路5的进液口和出液口，为所述薄膜状恒温液体循环管路5提供恒温液体。本专利技术一些实施例的具体实施方式中，所述薄膜状恒温液体循环管路5包括粘附薄膜，以及设置在所述粘附薄膜另一侧的循环液管，所述粘附薄膜贴附在所述基台2的侧面。所述粘附薄膜优选采用导热性能较佳的材质。优选地，所述循环液管为蛇形管。进一步优选地，为最大限度地保证基台2温度的稳定，进而保证测量结果的准确性，所述粘附薄膜与所述基台2的侧面的面积相同。本专利技术的一些实施例中，所述基台2为方形，所述薄膜状恒温液体循环管路5贴装在所述基台2的四个侧面中的至少一个侧面。在任意一个侧面加装薄膜状恒温液体循环管路5后，由于薄膜状恒温液体循环管路5内流通着恒温液体，在流动过程中，与基台2发生传热，将基台2上产生的热量带走，从而保证了基台2温度降低，进而将装置内部温度维持在较稳定的状态，保证了测量结果的准确性。还可以在多个侧面加装薄膜状恒温液体循环管路5，具体地可至少包含以下实施方案：第一种，所述薄膜状恒温液体循环管路5为两个，分别贴附在所述基台2相对的两个侧面上，且两个所述薄膜状恒温液体循环管路5串联或并联地连接所述供液系统。其中，本实施方案中，并联连接的薄膜状恒温液体循环管路5的恒温效果要由于串联连接的薄膜状恒温液体循环管路5。第二种，如图5所示，所述薄膜状恒温液体循环管路5为四个，分别贴附在所述基台2的四个侧面上，四个所述薄膜状恒温液体循环管路5并联地连接所述供液系统，并且，任意两个侧面的相接处分别设置为所述薄膜状恒温液体循环管路5的进液口51和出液口52。本实施方案中设置了进液口51和出液口52相邻设置，可以最大程度地保证基台2各个位置温度的一致性。使用时，打开供液系统阀门，供液系统通过管道连接至每一个薄膜状恒温液体循环管路5内，由于为并联接入，每一个薄膜状恒温液体循环管路5入口处的温度均相同，且流量也相同，出口温度会略微高于入口处的温度，而由于相邻侧的入口温度较低，可以对该出口处的基台2温度起到平衡作用，使基台2整体温度基本保持一致。进而保障了位于机台上的玻璃基板温度的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学垫片高度量测机，其特征在于，包括用于安置待量测物品的基台、测量装置和薄膜状恒温液体循环管路，其中，所述薄膜状恒温液体循环管路贴装在所述基台的侧面。

【技术特征摘要】
1.一种光学垫片高度量测机，其特征在于，包括用于安置待量测物品的基台、测量装置和薄膜状恒温液体循环管路，其中，所述薄膜状恒温液体循环管路贴装在所述基台的侧面。2.根据权利要求1所述的量测机，其特征在于，还包括供液系统，所述供液系统连通所述薄膜状恒温液体循环管路的进液口和出液口，为所述薄膜状恒温液体循环管路提供恒温液体。3.根据权利要求1所述的量测机，其特征在于，所述薄膜状恒温液体循环管路包括粘附薄膜，以及设置在所述粘附薄膜另一侧的循环液管，所述粘附薄膜贴附在所述基台的侧面。4.根据权利要求3所述的量测机，其特征在于，所述循环液管为蛇形管。5.根据权利要求3所述的量测机，其特征在于，所述粘附薄膜与所述基台的侧面的面积相同。6.根据权利要求1或2所述的量测机，其特征在于，所述基...

【专利技术属性】
技术研发人员：张素美，
申请(专利权)人：东旭昆山显示材料有限公司，东旭集团有限公司，东旭科技集团有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32