【技术实现步骤摘要】
一种表面微织构加工装置
本专利技术涉及表面微织构加工
,更具体地说,涉及一种表面微织构加工装置。
技术介绍
具有微纳米尺寸表面织构的表面在表面能、摩檫学特性、机械特性、热学特性、流体力学特性和光学特性等方面表现出与传统光滑表面截然不同的特点,并且其在光学、声学、微流道、医用移植材料和各种微机电系统组件中有着广泛的应用。目前,主要通过电火花加工和掩膜电解加工来在工件表面制备微结构。电火花加工的关键在于微细阵列电极的制备,其制备方法主要有电火花反铐技术、LIGA技术、微细电火花线切割技术等。在制备完微细阵列电极之后,就可以利用该电极在工件表面逐一加工出阵列微结构,但在微结构加工过程中会不可避免的存在电极损耗,这就需要频繁更换和制作新的电极,但由于微细阵列电极的制备方法比较复杂,因此,则会降低工件的加工效率,增加工件的加工成本。掩膜电解加工则是通过绝缘掩膜对阳极工件表面进行选择性区域绝缘处理,使得阳极工件表面部分电场被屏蔽并阻隔电解液,以形成“保护区”,从而对未被保护的阳极工件表面进行电解加工,但在掩膜电解加工过程中,由于电场的尖角效应(即掩膜边缘部分的电场强度和 ...
【技术保护点】
1.一种表面微织构加工装置,其特征在于,包括第一端用于与工件相连的脉冲电源、与所述脉冲电源的第二端相连且用于对所述工件进行电火花放电的工具电极、用于在放电过程中使所述工件和所述工具电极发生相对运动的驱动件,所述工具电极为包括多根金属丝的金属刷电极,还包括:用于覆盖在所述工件表面的预设区域,以对所述工件的所述预设区域进行保护的掩膜板。
【技术特征摘要】
1.一种表面微织构加工装置,其特征在于,包括第一端用于与工件相连的脉冲电源、与所述脉冲电源的第二端相连且用于对所述工件进行电火花放电的工具电极、用于在放电过程中使所述工件和所述工具电极发生相对运动的驱动件,所述工具电极为包括多根金属丝的金属刷电极,还包括:用于覆盖在所述工件表面的预设区域,以对所述工件的所述预设区域进行保护的掩膜板。2.根据权利要求1所述的表面微织构加工装置,其特征在于,所述掩膜板与所述工件之间具有间隙,所述间隙内填充有填充物。3.根据权利要求2所述的表面微织构加工装置,其特征在于,所述间隙小于等于50μm。4.根据权利要求2所述的表面微织构加工装置,其特征在于,...
【专利技术属性】
技术研发人员:邹治湘,郭钟宁,何俊峰,周云,刘江文,于兆勤,
申请(专利权)人:广东工业大学,佛山市铬维科技有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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