用于有机发光二极管显示器的制造设备制造技术

本发明专利技术公开了一种用于有机发光二极管显示器的制造设备，有机发光二极管显示器通过蒸镀制程及黄光微影制程形成，其包括蒸镀流水线及黄光微影流水线，蒸镀流水线包括多个第一传输装置、多个线状蒸镀装置、多个第一点状蒸镀装置、至少一个第一电浆清洁装置，多个线状蒸镀装置、多个第一点状蒸镀装置及至少一个第一电浆清洁装置分别连接对应的第一传输装置；黄光微影流水线至少包括多个第二传输装置、光阻涂布装置、曝光装置、显影装置及湿式剥膜装置，光阻涂布装置、曝光装置、显影装置及湿式剥膜装置分别连接对应的第二传输装置。本发明专利技术的设备整合蒸镀流水线及黄光微影流水线，以提升制造效率，本发明专利技术的制造设备能制造一般有机发光二极管显示器。

【技术实现步骤摘要】
用于有机发光二极管显示器的制造设备
本专利技术涉及显示器领域，尤其涉及一种用于有机发光二极管显示器的制造设备。
技术介绍
目前有机发光二极管显示器包括玻璃基板、阳极层、空穴传输层、红色有机发光层、绿色有机发光层、蓝色有机发光层、电子传输层及阴极层。阳极层、空穴传输层、红色有机发光层、绿色有机发光层、蓝色有机发光层、电子传输层及阴极层均通过蒸镀方式形成，尤其有机发光二极管显示器的画素结构通过金属掩模进行有机物蒸镀方式来达到高精细化。现在为了提升有机发光二极管的画质、解析度及精细度，改良有机发光二极管显示器的画素结构的图案化方式，因此研发出一种通过黄光微影制程进行图案化，所以目前用于制造有机发光二极管显示器的制造设备已经不适用。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种用于有机发光二极管显示器的制造设备，以解决目前有机发光二极管显示器的制造设备无法用于制造由蒸镀制程及黄光微影制程形成的有机发光二极管显示器的问题。为了解决上述技术问题，本专利技术是这样实现的：提供了一种用于有机发光二极管显示器的制造设备，有机发光二极管显示器通过蒸镀制程及黄光微影制程形成，其包括蒸镀流水线及黄光微影流水线，蒸镀流水线包括多个第一传输装置、多个线状蒸镀装置、多个第一点状蒸镀装置、至少一个第一电浆清洁装置，多个线状蒸镀装置、多个第一点状蒸镀装置及至少一个第一电浆清洁装置分别连接对应的第一传输装置；黄光微影流水线至少包括多个第二传输装置、光阻涂布装置、曝光装置、显影装置及湿式剥膜装置，光阻涂布装置、曝光装置、显影装置及湿式剥膜装置分别连接对应的第二传输装置。在本专利技术实施例中，整合蒸镀流水线及黄光微影流水线制造由蒸镀制程及黄光微影制程形成的有机发光二极管显示器，有效提升制造效率，同时提升有机发光二极管显示器的画质、解析度及精细度。本专利技术所采用的具体技术，将通过以下的实施例及附呈图式作进一步的说明。附图说明此处所说明的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，构成本专利技术的一部分，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：图1是本专利技术第一实施例的制造设备的示意图。图2是本专利技术第一实施例的有机发光二极管显示器的示意图。图3是本专利技术第二实施例的蒸镀流水线的示意图。图4是本专利技术第三实施例的蒸镀流水线的示意图。图5是本专利技术第四实施例的黄光微影流水线的示意图。图6是本专利技术第五实施例的黄光微影流水线的示意图。图7是本专利技术第六实施例的黄光微影流水线的示意图。图8是本专利技术第七实施例的黄光微影流水线的示意图。图9是本专利技术第八实施例的黄光微影流水线的示意图。图10是本专利技术第九实施例的黄光微影流水线的示意图。图11是本专利技术第十实施例的黄光微影流水线的示意图。图12是本专利技术第十一实施例的黄光微影流水线的示意图。图13是本专利技术第十二实施例的黄光微影流水线的示意图。图14是本专利技术第十三实施例的蒸镀流水线及黄光微影流水线的示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1及图2，其是本专利技术第一实施例的制造设备的示意图及有机发光二极管显示器的示意图；如图所示，本专利技术提供一种用于有机发光二极管显示器的制造设备，通过本专利技术的制造设备所制造的有机发光二极管显示器是通过蒸镀制程及黄光微影制程形成。本实施例的制造设备1包括蒸镀流水线10及黄光微影流水线11，蒸镀流水线10至少包括多个第一传输装置101、多个线状蒸镀装置102、多个第一点状蒸镀装置103、至少一个第一电浆清洁装置104，多个线状蒸镀装置102、多个第一点状蒸镀装置103及至少一个第一电浆清洁装置104分别连接对应的第一传输装置101。黄光微影流水线11至少包括多个第二传输装置111、光阻涂布装置112、曝光装置113、显影装置114及湿式剥膜装置115，光阻涂布装置112、曝光装置113、显影装置114及湿式剥膜装置115分别连接对应的第二传输装置111。每一个第一传输装置101或第二传输装置111内具有机械手臂，通过机械手臂传送待加工品至线状蒸镀装置102、点状蒸镀装置103、第一电浆清洁装置104、光阻涂布装置112、曝光装置113、显影装置114及湿式剥膜装置115进行加工。本实施例的制造设备所制造的有机发光二极管显示器2包括玻璃基板20、阳极层21、空穴传输层22、红色有机发光层24a、绿色有机发光层24b、蓝色有机发光层24c、电子传输层26及阴极层27。阳极层21蒸镀在玻璃基板20上，空穴传输层22蒸镀在阳极层21上，红色有机发光层24a、绿色有机发光层24b及蓝色有机发光层24c依序蒸镀在空穴传输层22，电子传输层26蒸镀在红色有机发光层24a、绿色有机发光层24b及蓝色有机发光层24c上，阴极层27蒸镀在电子传输层26。本实施例的有机发光二极管显示器2的制作有别于一般有机发光二极管显示器，在形成红色有机发光层24a、绿色有机发光层24b或蓝色有机发光层24c之前，先在空穴传输层22上涂布光阻，对光阻进行紫外光照射进行曝光，接着通过对光阻进行显影而形成红色有机发光层24a、绿色有机发光层24b或蓝色有机发光层24c的蒸镀孔洞，然后红色有机发光层24a、绿色有机发光层24b或蓝色有机发光层24c蒸镀在对应的蒸镀孔洞内，在红色有机发光层24a、绿色有机发光层24b或蓝色有机发光层24c形成在对应的蒸镀孔洞后，再剥离光阻。上述涂布光阻、紫外光照射、显影及剥离等步骤即为黄光微影制程。每次剥离光阻后，通过电浆清洁空穴传输层22的表面，避免光阻残留在空穴传输层22上。防止电浆清洁而损害空穴传输层22的表面，可在空穴传输层22上蒸镀第一导电保护层23，第一导电保护层23保护空穴传输层22不会因为电浆清洁而损害，同时维持空穴传输层22与红色有机发光层24a、绿色有机发光层24b及蓝色有机发光层24c的导通。同理，红色有机发光层24a、绿色有机发光层24b及蓝色有机发光层24c的表面也分别蒸镀第二导电保护层25，达到与上述同样的作用，在此不再赘述。本专利技术的制造设备特别用于上述有机发光二极管显示器2的制作，当然也可应用在一般有机发光二极管显示器2的制作。下述说明蒸镀流水线10及黄光微影流水线11的装置排列方式；本实施例的蒸镀流水线10具有五个第一传输装置101、九个线状蒸镀装置102、五个第一点状蒸镀装置103及四个第一电浆清洁装置104。本实施例的蒸镀流水线10分成五个群组，五个群组包括第一蒸镀群组10a、三个第二蒸镀群组10b及第三蒸镀群组10c，本实施例中，第一蒸镀群组10a、三个第二蒸镀群组10b及第三蒸镀群组10c依序从左至右排列。第一蒸镀群组10a包括连接第一传输装置101的二个线状蒸镀装置102及第一电浆清洁装置104。第二蒸镀群组10b包括连接第一传输装置101的二个线状蒸镀装置102、第一点状蒸镀装置103及第一电浆清洁装置104。第三蒸镀群组10c包括连接第一传输装置101的线状蒸镀装置102及二个第一点状蒸镀装置103。第一蒸镀群组10a本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于有机发光二极管显示器的制造设备，所述有机发光二极管显示器通过蒸镀制程及黄光微影制程形成，其特征在于，所述制造设备包括:蒸镀流水线，其包括多个第一传输装置、多个线状蒸镀装置、多个第一点状蒸镀装置、至少一个第一电浆清洁装置，多个所述线状蒸镀装置、多个所述第一点状蒸镀装置及至少一个所述第一电浆清洁装置分别连接对应的所述第一传输装置；以及黄光微影流水线，其包括多个第二传输装置、光阻涂布装置、曝光装置、显影装置及湿式剥膜装置，所述光阻涂布装置、所述曝光装置、所述显影装置及所述湿式剥膜装置分别连接对应的所述第二传输装置。

【技术特征摘要】
2017.08.01 US 62/540,0501.一种用于有机发光二极管显示器的制造设备，所述有机发光二极管显示器通过蒸镀制程及黄光微影制程形成，其特征在于，所述制造设备包括:蒸镀流水线，其包括多个第一传输装置、多个线状蒸镀装置、多个第一点状蒸镀装置、至少一个第一电浆清洁装置，多个所述线状蒸镀装置、多个所述第一点状蒸镀装置及至少一个所述第一电浆清洁装置分别连接对应的所述第一传输装置；以及黄光微影流水线，其包括多个第二传输装置、光阻涂布装置、曝光装置、显影装置及湿式剥膜装置，所述光阻涂布装置、所述曝光装置、所述显影装置及所述湿式剥膜装置分别连接对应的所述第二传输装置。2.如权利要求1所述的用于有机发光二极管显示器的制造设备，其特征在于，所述第一传输装置及所述第二传输装置内分别具有机械手臂。3.如权利要求1所述的用于有机发光二极管显示器的制造设备，其特征在于，所述蒸镀流水线分成第一蒸镀群组及第二蒸镀群组，所述第一蒸镀群组包括所述第一传输装置、连接所述第一传输装置的二个所述线状蒸镀装置及所述第一电浆清洁装置，所述第二蒸镀群组包括所述第一传输装置、连接所述第一传输装置的二个所述线状蒸镀装置及至少一个第一点状蒸镀装置。4.如权利要求3所述的用于有机发光二极管显示器的制造设备，其特征在于，所述第二蒸镀群组还包括连接所述第一传输装置的第一电浆清洁装置。5.如权利要求3或4所述的用于有机发光二极管显示器的制造设备，其特征在于，所述第一蒸镀群组的所述第一传输装置与所述第二蒸镀群组的所述第一传输装置通过第一连接腔连接。6.如权利要求3或4所述的用于有机发光二极管显示器的制造设备，其特征在于，所述第二蒸镀群组的数量为多个，相邻的二个所述第二蒸镀群组的所述第一传输装置通过第一连接腔连接。7.如权利要求3或4所述的用于有机发光二极管显示器的制造设备，其特征在于，所述第二蒸镀群组还包括第一转接腔，所述第一转接腔连接所述第一传输装置。8.如权利要求3或4所述的用于有机发光二极管显示器的制造设备，其特征在于，所述蒸镀流水线还包括第三蒸镀群组，所述第三蒸镀群组包括所述第一传输装置、连接所述第一传输装置的所述线状蒸镀装置及二个所述第一点状蒸镀装置。9.如权利要求8所述的用于有机发光二极管显示器的制造设备，其特征在于，所述第二蒸镀群组的所述第一传输装置与所述第三蒸镀群组的所述第一传输装置通过第一连接腔连接。10.如权利要求1所述的用于有机发光二极管显示器的制造设备，其特征在于，所述黄光微影流水线分成第一微影群组及第二微影群组，所述第一微影群组包括所述第二传输装置、连接所述第二传输装置的所述光阻涂布装置、所述曝光装置及所述显影装置；所述第二微影群组包括所述第二传输装置、连接所述第二传输装置的所述湿式剥膜装置。11.如权利要求10所述的用于有机发光二极管显示器的制造设备，其特征在于，所述第一微影群组及所述第二微影群组还分别包括第二转接腔，所述第二转接腔连接所述第二传输装置。12.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：李嘉宸，施国兴，严进嵘，
申请(专利权)人：上海自旭光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31