一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置，包括生长炉、生长转动提升装置和氩气缓冲装置，所述生长炉的上端安装有生长转动提升装置，生长转动提升装置的左右两侧面对称安装有氩气缓冲装置，氩气缓冲装置包括氩气管，生长炉侧壁的上端设有通孔，通孔内连接有氩气管，氩气管为弧形结构，氩气管的出口处安装有缓冲垫，缓冲垫上均匀设有出气孔，氩气管外侧壁的上端安装有连接箱，氩气管的上端面安装有连接杆。本发明专利技术可以解决阀门控制氩气充入量时，氩气充入量不稳定、容易导致晶棒晃动和晶片质量不佳等问题，可以实现对氩气充入时的缓冲和控量的功能，具有对氩气进行缓冲，减轻气体对晶棒的冲击力、氩气充入量稳定和晶片质量有保障的优点。

An Argon Buffer Device for LED Lamp Wafer Growth

The present invention relates to an argon buffer device for LED lamp wafer growth, including a growth furnace, a growth rotating lifting device and an argon buffer device. The upper end of the growth furnace is equipped with a growth rotating lifting device, and the left and right sides of the growth rotating lifting device are symmetrically equipped with an argon buffer device. The argon buffer device includes an argon pipe. The upper end of the side wall of the growth furnace is provided with a through hole and a through hole. Argon gas pipe is connected internally with arc structure. Buffer pad is installed at the exit of argon gas pipe. The air outlet is evenly arranged on the buffer pad. A connecting box is installed at the upper end of the outer wall of argon gas pipe, and a connecting rod is installed at the upper end of argon gas pipe. The invention can solve the problems of unstable argon filling amount, easy to cause crystal rod shaking and poor wafer quality when the valve controls argon filling amount, realize the functions of buffer and control of argon filling, and has the advantages of buffer of argon, reducing the impact of gas on crystal rod, stable argon filling amount and ensuring wafer quality.

【技术实现步骤摘要】
一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置
本专利技术涉及电子元器件领域，特别涉及一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置。
技术介绍
发光二极管简称为LED，LED五大原物料包括晶片、支架、银胶、金线和环氧树脂，因其具有能效低、适用性强、稳定性好、使用寿命长和价格低的优点，LED被广泛应用于LED显示屏、交通信号灯、液晶屏背光源和照明光源等领域，其中用于生产LED的晶片要求很高，需要对晶片进行再处理，其中有一个重要的工序长晶，直径影响到晶片质量的好坏，在进行长晶工艺时有很多注意事项。氩气是一种惰性保护气体，无色无毒无味，在长晶的过程中会用到氩气，在对长晶炉内充入氩气时如果流量过大引起晶棒的晃动会影响到晶片质量的好坏，而在现有长晶生产设备中，大多都是通过阀门控制氩气的充入量，而氩气罐内的气压会随着氩气量的减少发生变化，因此这种方法很不稳定。
技术实现思路
为了解决上述问题，本专利技术提供了一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置，可以解决阀门控制氩气充入量时，氩气充入量不稳定、容易导致晶棒晃动和晶片质量不佳等问题，可以实现对氩气充入时的缓冲和控量的功能，具有对氩气进行缓冲，减轻气体对晶棒的冲击力、氩气充入量稳定和晶片质量有保障的优点。为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案，一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置，包括生长炉、生长转动提升装置和氩气缓冲装置，所述生长炉的上端安装有生长转动提升装置，生长转动提升装置的左右两侧面对称安装有氩气缓冲装置。所述的氩气缓冲装置包括氩气管，生长炉侧壁的上端设有通孔，通孔内连接有氩气管，氩气管为弧形结构，氩气管的出口处安装有缓冲垫，缓冲垫上均匀设有出气孔，氩气管外侧壁的上端安装有连接箱，氩气管的上端面安装有连接杆，连接杆在其周向方向均匀分布，连接杆的上端面安装有氩气连接管，连接杆上安装有控量机构，连接箱的上端面安装有倾斜防护板，倾斜防护板的上端与氩气连接管侧壁的上端连接，氩气连接管内侧壁的上下端均安装有连接板，连接板之间安装有固定杆，固定杆侧壁的上下端通过轴承安装有缓冲板，缓冲板为不规则迷宫型，工作时，氩气从氩气连接管的上端进入到氩气连接管中，氩气在氩气连接管内流动时会带动缓冲板转动，缓冲板为不规则迷宫型，从而可以减弱氩气进入时的流速，氩气进过缓冲板后再经过控量机构的作用进入到氩气管中，再经过缓冲垫的作用，进入到生长炉内，经过缓冲板、控量机构和缓冲垫的作用，已经大大减弱了氩气的流速同时也能够控制氩气进入生长炉内的量。作为本专利技术的一种优选技术方案，所述的控量机构包括转动齿盘，氩气管外侧壁的顶端套接有转动齿盘，转动齿盘的左端啮合有转动齿轮，转动齿轮的下端面与转动电机的输出轴相连接，转动电机通过电机座安装在连接箱内侧壁上，转动齿盘内侧与氩气管外侧壁之间连接有滑动杆，转动齿盘的下端面连接有转动球，转动球安装在承托板的上端面，承托板安装在氩气管的外侧壁上，转动齿盘的上端面安装有第一转动杆，第一转动杆沿其周向方向均匀分布，第一转动杆侧壁通过轴承安装有转动板，转动板的另一端通过轴承安装在第二转动杆上，第二转动杆的下端安装有挡板，挡板的右端通过轴承安装在连接杆的侧壁上，挡板形状为花瓣形，工作时，转动电机通过转动齿轮带动转动齿盘转动，可以带动转动齿盘上的第一转动杆转动，第一转动杆通过转动板带动第二转动杆转动，可以带动挡板转动，挡板为花瓣型，因而挡板转动时氩气通过控量机构的空间会变大，从而达到控制氩气充入量的目的。工作时，首先氩气从氩气连接管的上端进入到氩气连接管中，氩气在氩气连接管内流动时会带动缓冲板转动，缓冲板为不规则迷宫型，从而可以减弱氩气进入时的流速；然后，转动电机通过转动齿轮带动转动齿盘转动，可以带动转动齿盘上的第一转动杆转动，第一转动杆通过转动板带动第二转动杆转动，可以带动挡板转动，挡板为花瓣型，因而挡板转动时氩气通过控量机构的空间会变大，可以控制氩气的通过量；最后，经过控量机构的作用进入到氩气管中，再经过缓冲垫的作用，进入到生长炉内，可以解决阀门控制氩气充入量时，氩气充入量不稳定、容易导致晶棒晃动和晶片质量不佳等问题，可以实现对氩气充入时的缓冲和控量的功能。本专利技术的有益效果在于：一、本专利技术可以解决阀门控制氩气充入量时，氩气充入量不稳定、容易导致晶棒晃动和晶片质量不佳等问题，可以实现对氩气充入时的缓冲和控量的功能，具有对氩气进行缓冲，减轻气体对晶棒的冲击力、氩气充入量稳定和晶片质量有保障的优点。二、本专利技术设置有缓冲板，缓冲板的形状为不规则迷宫型，能够减轻氩气进入氩气连接管后的冲击力；三、本专利技术设置有控量机构，控量机构能够根据需要调节氩气经过控量机构的空间，从而起到控制氩气充入量的目的；四、本专利技术设置缓冲垫，缓冲垫上设置有出气孔，从而又进一步的减轻了氩气进入生长炉内的冲击力，保障了晶棒不会产生晃动；五、本专利技术的氩气管为弧形结构，改变了氩气前进的方向，起到了减缓氩气在氩气管内的流速和冲击力的作用。附图说明下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。图1是本专利技术的平面结构示意图；图2是本专利技术氩气缓冲装置的剖面图；图3是本专利技术的氩气管、连接箱、连接杆与控量机构之间的立体结构示意图。具体实施方式为了使本专利技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本专利技术。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互结合。如图1至图3所示，一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置，包括生长炉1、生长转动提升装置2和氩气缓冲装置3，所述生长炉1的上端安装有生长转动提升装置2，生长转动提升装置2的左右两侧面对称安装有氩气缓冲装置3。所述的氩气缓冲装置3包括氩气管31，生长炉1侧壁的上端设有通孔，通孔内连接有氩气管31，氩气管31为弧形结构，氩气管31的出口处安装有缓冲垫32，缓冲垫32上均匀设有出气孔，氩气管31外侧壁的上端安装有连接箱33，氩气管31的上端面安装有连接杆34，连接杆34在其周向方向均匀分布，连接杆34的上端面安装有氩气连接管35，连接杆34上安装有控量机构36，连接箱33的上端面安装有倾斜防护板37，倾斜防护板37的上端与氩气连接管35侧壁的上端连接，氩气连接管35内侧壁的上下端均安装有连接板38，连接板38之间安装有固定杆39，固定杆39侧壁的上下端通过轴承安装有缓冲板310，缓冲板310为不规则迷宫型，工作时，氩气从氩气连接管35的上端进入到氩气连接管35中，氩气在氩气连接管35内流动时会带动缓冲板310转动，缓冲板310为不规则迷宫型，从而可以减弱氩气进入时的流速，氩气进过缓冲板310后再经过控量机构36的作用进入到氩气管31中，再经过缓冲垫32的作用，进入到生长炉1内，经过缓冲板310、控量机构36和缓冲垫32的作用，已经大大减弱了氩气的流速同时也能够控制氩气进入生长炉1内的量。作为本专利技术的一种优选技术方案，所述的控量机构36包括转动齿盘361，氩气管31外侧壁的顶端套接有转动齿盘361，转动齿盘361的左端啮合有转动齿轮362，转动齿轮362的下端面与转动电机363的输出轴相连接，转动电机363通过电机座安装在连接箱33内侧壁上，转动齿盘361内侧与氩气管31外侧壁之间连接有滑动杆364，转动齿盘361的下端面连接有转动球365，转动球365本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置，包括生长炉(1)、生长转动提升装置(2)和氩气缓冲装置(3)，其特征在于：所述生长炉(1)的上端安装有生长转动提升装置(2)，生长转动提升装置(2)的左右两侧面对称安装有氩气缓冲装置(3)；其中：所述的氩气缓冲装置(3)包括氩气管(31)，生长炉(1)侧壁的上端设有通孔，通孔内连接有氩气管(31)，氩气管(31)的出口处安装有缓冲垫(32)，缓冲垫(32)上均匀设有出气孔，氩气管(31)外侧壁的上端安装有连接箱(33)，氩气管(31)的上端面安装有连接杆(34)，连接杆(34)在其周向方向均匀分布，连接杆(34)的上端面安装有氩气连接管(35)，连接杆(34)上安装有控量机构(36)，连接箱(33)的上端面安装有倾斜防护板(37)，倾斜防护板(37)的上端与氩气连接管(35)侧壁的上端连接，氩气连接管(35)内侧壁的上下端均安装有连接板(38)，连接板(38)之间安装有固定杆(39)，固定杆(39)侧壁的上下端通过轴承安装有缓冲板(310)。

【技术特征摘要】
1.一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置，包括生长炉(1)、生长转动提升装置(2)和氩气缓冲装置(3)，其特征在于：所述生长炉(1)的上端安装有生长转动提升装置(2)，生长转动提升装置(2)的左右两侧面对称安装有氩气缓冲装置(3)；其中：所述的氩气缓冲装置(3)包括氩气管(31)，生长炉(1)侧壁的上端设有通孔，通孔内连接有氩气管(31)，氩气管(31)的出口处安装有缓冲垫(32)，缓冲垫(32)上均匀设有出气孔，氩气管(31)外侧壁的上端安装有连接箱(33)，氩气管(31)的上端面安装有连接杆(34)，连接杆(34)在其周向方向均匀分布，连接杆(34)的上端面安装有氩气连接管(35)，连接杆(34)上安装有控量机构(36)，连接箱(33)的上端面安装有倾斜防护板(37)，倾斜防护板(37)的上端与氩气连接管(35)侧壁的上端连接，氩气连接管(35)内侧壁的上下端均安装有连接板(38)，连接板(38)之间安装有固定杆(39)，固定杆(39)侧壁的上下端通过轴承安装有缓冲板(310)。2.根据权利要求1所述的一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置，其特征在于：所述的控量机构(36)包括转动齿盘(361)，氩气管(31)外侧壁的顶端套接有转动...

【专利技术属性】
技术研发人员：方志兰，
申请(专利权)人：方志兰，
类型：发明
国别省市：安徽,34