一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置制造方法及图纸

本发明专利技术适用于镀膜机辅助设备技术领域，提供了一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置，包括镀膜机腔体，套接在镀膜机腔体外缘表面上的导热套筒以及呈螺旋形贴附设置于导热套筒上的散热水管，散热水管下端设置有集水圆槽，集水槽右端连接有水泵和制冷机，散热水管上端设置有入水圆槽，入水圆槽右端通过回水管连接水泵，入水圆槽左端设置有进水口，右端与水泵连接处设置有排水口，水泵和制冷器连接外置控制器及电源，通过制冷机将水进行制冷，冷水通过散热水管，大大加强了对于导热套筒的吸热效果，使得降温更迅速；所述散热水管呈螺旋形设置使得冷却水在导热套筒上的流动时间增长，设置防护板，保护散热水管和镀膜机腔体。

A Cavity Cooling Device of Vacuum Coating Machine with Improved Structure

The invention is applicable to the technical field of auxiliary equipment of coating machine, and provides a cavity cooling device of vacuum coating machine with improved structure, including a cavity of coating machine, a heat conducting sleeve sleeved on the outer surface of the cavity of coating machine, and a heat dissipating pipe spirally attached to the heat conducting sleeve. The lower end of the heat dissipating pipe is provided with a water collecting trough, and the right end of the water collecting trough is connected with a pump and a refrigerating machine. The upper end of the heat sink pipe is provided with a water inlet groove, the right end of the water inlet groove is connected with a water pump through a return pipe, the left end of the water inlet groove is provided with a water inlet, the right end is connected with a water pump with a drainage outlet, and the pump and cooler are connected with an external controller and a power supply. The water is refrigerated by a refrigerator, and the cold water is cooled through a heat sink pipe, which greatly strengthens the heat absorption effect of the heat conducting sleeve. The cooling water pipe is spirally arranged to increase the flowing time of cooling water on the heat conduction sleeve, and a protective plate is arranged to protect the cooling water pipe and the cavity of the coating machine.

【技术实现步骤摘要】
一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置
本专利技术属于镀膜机辅助设备
，尤其涉及一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置。
技术介绍
目前，真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要分成蒸发和溅射两种。镀膜机的使用能够有效的增加镀膜效率，使得工业生产的效率可以得到有效的增加，然而真空镀膜机在使用时由于高频率的运作会产生较多的热量，这样对设备的安全性会产生较大的影响。现有技术中用于真空镀膜机的冷却装置在使用时能够起到基本的降温冷却作用，然而在实际使用中仍然存在着一些方面的技术不足和缺陷，因此，现有技术还需要改进。
技术实现思路
本专利技术提供一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置，旨在解决现有技术中真空镀膜机腔体散热效果不好的问题。本专利技术是这样实现的，一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置，包括镀膜机腔体，套接在所述镀膜机腔体外缘表面上的导热套筒以及呈螺旋形贴附设置于导热套筒上的散热水管，所述散热水管下端设置有集水圆槽，所述集水槽右端连接有水泵和制冷机，所述散热水管上端设置有入水圆槽，所述入水圆槽右端通过回水管连接所述水泵，所述入水圆槽左端设置有进水口，右端与所述水泵连接处设置有排水口，所述水泵和制冷器连接外置控制器及电源。更进一步地，所述集水圆槽的截面呈凹字型，底面朝下靠近水泵一端向下倾斜。更进一步地，所述散热水管沿导热套筒轴线均匀分布有三根。更进一步地，所述散热水管顶端连接所述入水圆槽的底部，三根所述散热水管与所述入水圆槽连接处均设置有第一电磁阀，三个第一电磁阀分别电连连接外置控制器。更进一步地，所述散热水管呈方形。更进一步地，所述散热水管与所述导热套筒通过导热胶固定连接。更进一步地，所述散热水管远离导热套管一端设置有防护套筒，所述防护套筒底部固定连接所述集水圆槽外缘表面。更进一步地，所述防护套筒位于所述进水口和排水口处均设置有开口。更进一步地，所述进水口和排水口设置有阀门。更进一步地，所述制冷机设置于所述导热套筒底部的左侧，所述制冷机的输入端通过水管连接所述集水圆槽的右端，集水圆槽与水管连接处设置有第二电磁阀，所述第二电磁阀电连接外置控制器，输出端连接所述水泵至入水圆槽。本专利技术所达到的有益效果：通过制冷机将水进行制冷，大大加强了吸热效果，使得降温更迅速；所述散热水管呈螺旋形设置使得冷却水在导热套筒上的流动时间增长；通过设置三根散热水管增加热交换的接触吸热面积，加大降温效果；设置防护板，保护散热水管和镀膜机腔体。附图说明图1是本专利技术提供的一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置的机构示意图。图2是本专利技术提供的一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置散热水管结构示意图。图3是本专利技术提供的一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置的主视图。图4是本专利技术提供的一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置集水圆槽的机构示意图。图中：1-镀膜机腔体；2-导热套筒；3-散热水管；4-集水圆槽；5-水泵；6-制冷机；7-入水圆槽；8-回水管；9-进水口；10-排水口；11-防护套筒。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。如图1-图4所示，一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置，包括镀膜机腔体1，套接在镀膜机腔体1外缘表面上的导热套筒2以及呈螺旋形贴附设置于导热套筒2上的散热水管3，散热水管3下端设置有集水圆槽4，集水槽4右端连接有水泵5和制冷机6，散热水管3上端设置有入水圆槽7，入水圆槽4右端通过回水管8连接水泵5，入水圆槽4左端设置有进水口9，右端与水泵5连接处设置有排水口10，水泵5和制冷器6连接外置控制器及电源。集水圆槽4的截面呈凹字型，底面朝下靠近水泵5一端向下倾斜，使集水圆槽4内的水通过引力流向右端；散热水管3沿导热套筒2轴线均匀分布有三根；散热水管3顶端连接入水圆槽7的底部，三根散热水管3与入水圆槽7连接处均设置有第一电磁阀，三个第一电磁阀分别电连连接外置控制器；散热水管3呈方形，增加与导热套筒2的接触面积，增加散热量；散热水管3与导热套筒通过导热胶固定连接；散热水管3远离导热套管2一端设置有防护套筒11，防护套筒11底部固定连接集水圆槽4外缘表面；防护套筒11位于进水口9和排水口10处均设置有开口；进水口9和排水口10设置有阀门；制冷机6设置于导热套筒2底部的左侧，制冷机6的输入端通过水管连接集水圆槽4的右端，集水圆槽4与水管连接处设置有第二电磁阀，第二电磁阀电连接外置控制器，输出端连接水泵5至入水圆槽7。本专利技术的具体工作原理：使用时，通过进水口给集水圆槽4供水，通过外置控制器控制第二电磁阀开启，水流进制冷器进行制冷，同时通过水泵5将冷水进过回水管8流至入水圆槽7，外置控制器根据用户需要开合第一电磁阀个数，冷水沿散热水管3呈螺旋形流过导热套筒2给导套导套2进行散热，冷水吸热后流至集水圆槽4，再次制冷，依次循环使用，三根散热水管极大的加强了散热效果。以上所述仅为本专利技术的较佳实施例而已，并不用以限制本专利技术，凡在本专利技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置，其特征在于，包括镀膜机腔体，套接在所述镀膜机腔体外缘表面上的导热套筒以及呈螺旋形贴附设置于导热套筒上的散热水管，所述散热水管下端设置有集水圆槽，所述集水槽右端连接有水泵和制冷机，所述散热水管上端设置有入水圆槽，所述入水圆槽右端通过回水管连接所述水泵，所述入水圆槽左端设置有进水口，右端与所述水泵连接处设置有排水口，所述水泵和制冷器连接外置控制器及电源。

【技术特征摘要】
1.一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置，其特征在于，包括镀膜机腔体，套接在所述镀膜机腔体外缘表面上的导热套筒以及呈螺旋形贴附设置于导热套筒上的散热水管，所述散热水管下端设置有集水圆槽，所述集水槽右端连接有水泵和制冷机，所述散热水管上端设置有入水圆槽，所述入水圆槽右端通过回水管连接所述水泵，所述入水圆槽左端设置有进水口，右端与所述水泵连接处设置有排水口，所述水泵和制冷器连接外置控制器及电源。2.如权利要求1所述的结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置，其特征在于，所述集水圆槽的截面呈凹字型，底面朝下靠近水泵一端向下倾斜。3.如权利要求1所述的结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置，其特征在于，所述散热水管沿导热套筒轴线均匀分布有三根。4.如权利要求1所述的结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置，其特征在于，所述散热水管顶端连接所述入水圆槽的底部，三根所述散热水管与所述入水圆槽连接处均设置有第一电磁阀，三个第一电磁阀分别电连连接外置控制器。5...

【专利技术属性】
技术研发人员：王孟良，梅艳红，王孟仁，高春玲，陈卓，梅洪蕾，陈春奇，许进，周强，孟健，
申请(专利权)人：深圳天成真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44