液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够抑制压电体中的裂缝的产生的液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件。液体喷射头具备收纳液体的压力室、构成所述压力室的壁面的振动板和使所述振动板进行振动的压电器件，其中，所述压电器件具备第一电极、压电体层、第二电极、与第二电极电连接的第一配线以及绝缘层，并且所述压电器件包含：所述第一电极、所述压电体层和所述第二电极以该顺序而被层压的第一层压区域；以及位于所述压电体层的第一端侧，且所述第一电极、所述压电体层、所述绝缘层和所述第一配线以该顺序而被层压的第二层压区域，所述压力室中的所述压电体层的所述第一端侧的壁面与所述振动板相交叉的第一压力室端部在俯视观察时与所述第二层压区域重叠。

Liquid ejector head, liquid ejector and piezoelectric device

The invention provides a liquid ejector head, a liquid ejector device and a piezoelectric device capable of suppressing the generation of cracks in a piezoelectric body. The liquid ejector head has a pressure chamber for receiving liquid, a vibration plate on the wall of the pressure chamber and a piezoelectric device for vibration of the vibration plate. The piezoelectric device has a first electrode, a piezoelectric body layer, a second electrode, a first wiring electrically connected with the second electrode and an insulating layer, and the piezoelectric device comprises the first electrode, the piezoelectric body layer. And the first laminated area where the second electrode is laminated in this order; and the first laminated area located at the first end side of the piezoelectric layer, and the first electrode, the piezoelectric layer, the insulating layer and the first wiring are laminated in this order; the first wall of the first end side of the piezoelectric layer in the pressure chamber intersects with the vibration plate; and the second laminated area where the first electrode, the insulating layer and the first wiring are laminated in this order. The end of a pressure chamber overlaps with the second lamination area when viewed from a downward angle.

【技术实现步骤摘要】
液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件
本专利技术涉及一种优选被利用于例如液体喷射头的压电器件的结构。
技术介绍
一直以来，提出有一种通过压电元件而使构成压力室的壁面的振动板振动从而使压力室内的液体从喷嘴进行喷射的液体喷射头。例如，在专利文献1中公开了一种在第一电极和第二电极之间夹设有压电体层的层压结构的压电元件。经由信号配线而向形成于压电元件的面上的第二电极供给驱动信号。信号配线被形成于长条状的压电元件中的一端部侧。但是，在专利文献1的结构中，难以在压电元件中的与信号配线相反的一侧的端部处充分地确保机械强度。另外，在采用使压力室的壁面位于形成有压电体层的区域的外侧的结构的情况下，未形成压电体层的区域难以充分地确保机械强度。因此，有可能会在压电体层或振动板上产生裂缝。专利文献1：日本特开2014-151623号公报
技术实现思路
考虑以上的情况，本专利技术的优选的方式的目的在于，抑制压电体层或振动板中的裂缝的产生。方式一为了解决以上的课题，本专利技术的优选的方式所涉及的液体喷射头具备收纳液体的压力室和使液体从所述压力室喷射出的压电器件，其中，所述压电器件具备：第一电极；压电体层；第二电极；绝缘层；第一配线，其与所述第二电极电连接；以及第二配线，其与所述第二电极电连接，并且，所述压电器件包含：第一区域，在所述第一区域中，所述第一电极、所述压电体层和所述第二电极以该顺序而被层压；第二区域，其位于所述压电体层的第一端侧，在所述第二区域中，所述第一电极、所述压电体层、所述绝缘层和所述第一配线以该顺序而被层压；以及第三区域，其位于所述压电体层中的与所述第一端相反的第二端侧，在所述第三区域中，所述第一电极、所述压电体层、所述绝缘层和所述第二配线以该顺序而被层压。方式二在方式一的优选例中(方式二)中，所述第一电极包含层压有所述压电体层的第一部分和与所述第一部分不同的第二部分，所述第一配线在所述压电体层的面上与所述第二电极导通，并且隔着所述绝缘层而与所述第一电极的所述第二部分重叠。方式三在方式二的优选例中(方式三)中，所述第一电极包含隔着所述第一部分而与所述第二部分相反的一侧的第三部分，所述第二配线在所述压电体层的面上与所述第二电极导通，并且隔着所述绝缘层而与所述第一电极的所述第三部分重叠。方式四在从方式一至方式三的任一项的优选例中(方式四)中，所述第一配线经由被形成于所述绝缘层的第一接触孔而在所述压电体层的面上与所述第二电极导通，所述第二配线经由形成于所述绝缘层上的第二接触孔而在所述压电体层的面上与所述第二电极导通。方式五从方式一至方式四的任一项的优选例中(方式五)所涉及的液体喷射头，具备第三配线，所述第三配线在俯视观察时被形成于隔着所述第二配线而与所述第一配线相反的一侧，并且与所述第一电极导通。方式六在从方式一至方式五的任一项的优选例(方式六)中，从外部电路将驱动信号供给至所述第一配线，所述第二配线经由所述第二电极和所述第一配线而与所述外部电路电连接。方式七在方式一的优选例(方式七)中，具备构成所述压力室的壁面的振动板，并且所述压电器件包含：第一层压区域，在所述第一层压区域中，所述第一电极、所述压电体层和所述第二电极以该顺序而被层压；以及第二层压区域，其位于所述压电体层的第一端侧，在第二层压区域中，所述第一电极、所述压电体层、所述绝缘层和所述第一配线以该顺序而被层压，所述压力室中的所述压电体层的所述第一端侧的壁面与所述振动板相交叉的第一压力室端部在俯视观察时与所述第二层压区域重叠。方式八在方式七的优选例(方式八)中，所述第二电极被形成于所述压电体层的面上，所述第一配线形成于所述绝缘层的面上，并且在所述压电体层的面上而与所述第二电极导通，所述第一压力室端部与在所述第二层压区域中的如下区域在俯视观察时重叠，即，所述第一电极、所述压电体层、所述第二电极、所述绝缘层和所述第一配线以该顺序而被层压的区域。方式九在方式七或者方式八的优选例(方式九)中，所述压电器件包含第三层压区域，所述第三层压区域位于所述压电体层中的与所述第一端相反的第二端侧，并且，在所述第三层压区域中，所述第一电极、所述压电体层、所述绝缘层和所述第二配线以该顺序而被层压。方式十在方式九的优选例(方式十)中，所述压力室中的所述压电体层的所述第二端侧的壁面与所述振动板相交叉的第二压力室端部在俯视观察时与所述第三层压区域重叠。方式十一在方式九或者方式十的优选例(方式十一)中，所述第二压力室端部与所述第三层压区域中的如下区域在俯视观察时重叠，即，所述第一电极、所述压电体层、所述第二电极、所述绝缘层和所述第二配线以该顺序而被层压的区域。方式十二本专利技术的优选的方式(方式十二)所涉及的液体喷射装置具备以上示例的任一方式所涉及的液体喷射头。方式十三本专利技术的优选的方式(方式十三)所涉及的压电器件具备：第一电极；压电体层；第二电极；绝缘层；第一配线，其与所述第二电极电连接；以及第二配线，其与所述第二电极电连接，并且，所述压电器件包含：第一区域，在所述第一区域中，所述第一电极、所述压电体层和所述第二电极以该顺序而被层压；第二区域，其位于所述压电体层的第一端侧，在所述第二区域中，所述第一电极、所述压电体层、所述绝缘层和所述第一配线以该顺序而被层压；以及第三区域，其位于所述压电体层中的与所述第一端相反的第二端侧，在所述第三区域中，所述第一电极、所述压电体层、所述绝缘层和所述第二配线以该顺序而被层压。附图说明图1为第一实施方式所涉及的液体喷射装置的结构图。图2为液体喷射头的分解立体图。图3为液体喷射头的剖视图(图2的III-III线的剖视图)。图4为多个压电器件的俯视图。图5为图4中的V-V线的剖视图。图6为表示第一区域内的电气结构的电路图。图7为表示第二区域内的电气结构的电路图。图8为表示第三区域内的电气结构的电路图。图9为对比例一所涉及的压电器件的剖视图。图10为对比例二所涉及的压电器件的剖视图。图11为第二实施方式中的多个压电器件的俯视图。图12为图11中的VI-VI线的剖视图。图13为第三实施方式中的多个压电器件的俯视图。图14为图13中的X-X线的剖视图。图15为改变例中的压电器件的剖视图。图16为改变例中的压电器件的剖视图。具体实施方式第一实施方式图1为对本专利技术的第一实施方式所涉及的液体喷射装置100进行示例的结构图。第一实施方式的液体喷射装置100为将作为液体的示例的油墨向介质(喷射对象)12喷射的喷墨式的印刷装置。介质12典型上为印刷用纸，但是也可以将树脂薄膜或者布帛等任意材质的印刷对象作为介质12而进行利用。如图1所示，在液体喷射装置100上设置有贮存油墨的液体容器14。例如，可以将相对于液体喷射装置100能够装拆的墨盒、由挠性的薄膜所形成的袋状的油墨包或者能够补充油墨的油墨罐作为液体容器14而进行利用。如图1所示，液体喷射装置100具备控制单元20、输送机构22、移动机构24和液体喷射头26。控制单元20包含例如CPU(CentralProcessingUnit，中央处理器)或者FPGA(FieldProgrammableGateArray，现场可编程门阵列)等处理电路和半导体存储器等存储电路，并且对液体喷射装置100的各要素进行统括性控制。输送机构22在控制单元20本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种液体喷射头，其具备收纳液体的压力室和使液体从所述压力室喷射出的压电器件，其中，所述压电器件具备：第一电极；压电体层；第二电极；绝缘层；第一配线，其与所述第二电极电连接；以及第二配线，其与所述第二电极电连接，并且，所述压电器件包含：第一区域，在所述第一区域中，所述第一电极、所述压电体层和所述第二电极以该顺序而被层压；第二区域，其位于所述压电体层的第一端侧，在所述第二区域中，所述第一电极、所述压电体层、所述绝缘层和所述第一配线以该顺序而被层压；以及第三区域，其位于所述压电体层中的与所述第一端相反的第二端侧，在所述第三区域中，所述第一电极、所述压电体层、所述绝缘层和所述第二配线以该顺序而被层压。

【技术特征摘要】
2017.07.31 JP 2017-148080;2017.07.31 JP 2017-148081.一种液体喷射头，其具备收纳液体的压力室和使液体从所述压力室喷射出的压电器件，其中，所述压电器件具备：第一电极；压电体层；第二电极；绝缘层；第一配线，其与所述第二电极电连接；以及第二配线，其与所述第二电极电连接，并且，所述压电器件包含：第一区域，在所述第一区域中，所述第一电极、所述压电体层和所述第二电极以该顺序而被层压；第二区域，其位于所述压电体层的第一端侧，在所述第二区域中，所述第一电极、所述压电体层、所述绝缘层和所述第一配线以该顺序而被层压；以及第三区域，其位于所述压电体层中的与所述第一端相反的第二端侧，在所述第三区域中，所述第一电极、所述压电体层、所述绝缘层和所述第二配线以该顺序而被层压。2.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，所述第一电极包含层压有所述压电体层的第一部分和与所述第一部分不同的第二部分，所述第一配线在所述压电体层的面上与所述第二电极导通，并且隔着所述绝缘层而与所述第一电极的所述第二部分重叠。3.如权利要求2所述的液体喷射头，其中，所述第一电极包含隔着所述第一部分而与所述第二部分相反的一侧的第三部分，所述第二配线在所述压电体层的面上与所述第二电极导通，并且隔着所述绝缘层而与所述第一电极的所述第三部分重叠。4.如权利要求1至权利要求3的任一项所述的液体喷射头，其中，所述第一配线经由被形成于所述绝缘层的第一接触孔而在所述压电体层的面上与所述第二电极导通，所述第二配线经由被形成于所述绝缘层上的第二接触孔而在所述压电体层的面上与所述第二电极导通。5.如权利要求1至权利要求4的任一项所述的液体喷射头，其中，具备第三配线，所述第三配线在俯视观察时被形成于隔着所述第二配线而与所述第一配线相反的一侧，并且与所述第一电极导通。6.如权利要求1至权利要求5的任一项所述的液体喷射头，其中，从外部电路将驱动信号供给至所述第一配线，所述第二配线经由所述第二电极和所述第一配线而与所述外部电路电连接。7.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，具备构成所述压力室的壁面的振动板，并且，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：平井荣树，高部本规，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP