The utility model discloses a surface ultra-precision polishing processing device, which comprises a precise two-dimensional mobile platform, a column with Z-direction precise movement, an ultrasonic atomizer, an atomizer clamp, an intelligent precise micro pump, an ultrasonic power supply and a data processing system; the intelligent precise micro pump in the device starts operation under the control of a data processing system and transmits polishing agent through a polishing agent. The ultrasonic power supply starts the ultrasonic pulse current under the control of the data processing system. The ultrasonic pulse current makes the piezoelectric ceramic sheet inside the ultrasonic nebulizer produce ultrasonic vibration. The polishing agent is atomized into the polishing aerosol and acts on the surface of the workpiece. The surface roughness is uniform and there is no sub-surface damage to the workpiece, and there is no agglomeration problem of micro-powder and flow. The problems of nozzle blockage and nozzle wear and tear in jet polishing process have many advantages.
【技术实现步骤摘要】
一种表面超精密抛光加工装置
本技术专利涉及精密抛光加工技术,具体涉及一种“冷、柔”表面超精密抛光加工技术与装置。
技术介绍
目前,现有的表面超精密加工技术,一般是采用射流、磁流作为载体进行加工,但其存在如微粉团聚(当微粉为纳米级时,在抛光剂水射流形成过程中,微粉有团聚趋势)、微细抛光加工时喷嘴堵塞(由于微细抛光水射流喷嘴尺寸较小,在射流开关的过程中,极易堵塞)、喷嘴磨损破坏、冲击力较大和存在较强的磁场等问题,影响其加工效果和应用范围。
技术实现思路
针对现有表面超精密加工技术所存在的上述不足,本技术提供一种采用超声雾化技术的表面超精密抛光加工装置。本技术为实现上述目的所采用的技术方案是:一种表面超精密抛光加工装置,其基本原理是利用大功率超声振动换能器作为动力源,再通过变幅杆把超声振动机械振动的质点位移或速度放大,将这种超声振动的能量传递给抛光剂中微粉,使微粉具有一定的动能,让其去冲蚀工件表面,使得工件表面抛光区域内局部因而产生冲蚀以及剪切等作用,从而达到去除工件材料的目。为了让微粉获得初速度和动能,采用抛光剂作为载体,通过超声振动来传递能量。具体来讲,将配好含有微粉和助溶剂的均匀抛光剂通过智能微量泵吸入雾化器内腔,抛光剂流至超声聚能器辐射表面并形成薄液层,薄液层在大功率超声振动作用下激起表面张力波,当振动面的振幅达到一定值时,液滴即从波峰上飞出而成雾,这样就使得气雾中包含的微粉具有一定初速度和动能,可以用它们去冲蚀以及剪切工件表面。这种以超声汽雾流中微粉作为抛光加工重要的载体的方法属于一种“冷、柔”加工方式,具有无机械切削力,加工过程不产生热损伤,加工冲蚀力较 ...
【技术保护点】
1.一种表面超精密抛光加工装置,其特征在于包括:精密二维移动平台、抛光气雾流、带Z向精密移动的立柱、超声雾化器、雾化器夹持器、抛光剂、抛光剂输入管、智能精密微量泵、电流电线、超声电源、Z轴移动控制线、工件、精密二维平台移动控制线和数据处理系统,其特征在于:该装置中的所述数据处理系统14连接并控制智能精密微量泵8、超声电源10、精密二维移动平台1和带Z向精密移动的立柱3四个器件;该装置中的所述智能精密微量泵8的吸入口连接抛光剂6,出口连接超声雾化器4;该装置中的所述超声电源10连接超声雾化器4。
【技术特征摘要】
1.一种表面超精密抛光加工装置,其特征在于包括:精密二维移动平台、抛光气雾流、带Z向精密移动的立柱、超声雾化器、雾化器夹持器、抛光剂、抛光剂输入管、智能精密微量泵、电流电线、超声电源、Z轴移动控制线、工件、精密二维平台移动控制线和数据处理系统,其特征在于:该装置中的所述数据处理系统14连接并控制智能精密微量泵8、超声电源10、精密二维移动平台1和带Z向精密移动的立柱3四个器件;该装置中的所述智能精密微量泵8的吸入口连接抛光剂6,出口连接超声雾化器4;该装置中的所述超声电...
【专利技术属性】
技术研发人员:汪帮富,宋娟,王中旺,丁雯钰,殷振,
申请(专利权)人:苏州科技大学,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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