蒸镀掩模的制造方法及制造装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够以与使用时相同的朝向或放置方向来制造具备有树脂框架层及金属薄膜层的混合型蒸镀掩模的蒸镀掩模的制造方法及制造装置。在规定的方向施加规定的张力的状态下，以使树脂薄膜层(51)成为外侧的方式，将在形成有一个或多个开口(52a)的金属薄膜层(52)的一侧的表面上配置的树脂薄膜层(51)的蒸镀掩模材料熔接于金属框架(53)，以基台(2)来保持该金属框架(53)，并以使与金属薄膜层(52)成为相对向的方式将反射面(3c)等的锥形形成构件/材料(3)配置于金属框架(53)的内侧，从树脂薄膜层(51)的上方照射激光(7)以在树脂薄膜层(51)形成贯通孔(51a)，并且使通过贯通孔(51a)的激光被锥形形成构件/材料(3)反射，由此在贯通孔(51a)的周围形成锥形(51b)。

Manufacturing method and device of evaporation mask

The invention provides a manufacturing method and a manufacturing device for a mixed evaporation mask with a resin frame layer and a metal film layer, which can be manufactured in the same orientation or placement direction as when used. In a state of imposing a specified tension in a specified direction to make the resin film layer (51) lateral, the evaporation mask material (51) of the resin film layer (51) disposed on the surface forming one or more openings (52a) of the metal film layer (52) will be fused to the metal frame (53) to maintain the metal frame (53) by the base (2) and to phase with the metal film layer (52). The conical forming member/material (3) of the reflector (3c) is arranged on the inner side of the metal frame (53) in the opposite way. Laser (7) is irradiated above the resin film layer (51) to form a through hole (51a) in the resin film layer (51), and the laser through the through the through hole (51a) is reflected by the conical forming member/material (3), thus forming a cone (51b) around the through hole (51a).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】蒸镀掩模的制造方法及制造装置
本专利技术是关于一种可在制造例如有机发光二极管(OLED：OrganicLightEmittingDiode)上使用的蒸镀掩模的制造方法及制造装置。
技术介绍
有机发光二极管中，所谓的被称为底部发光(bottomemission)型的结构是通过在玻璃板、透明的塑料板等的透明基板上，层叠透明电极(阳极)、空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层、电子注入层、金属电极(阴极)等所构成。此外，顶部发光(topemission)型则是通过在玻璃板以外的其他的形成茶褐色的聚酰亚胺薄膜等的不一定要透明的基板上层叠反射电极(阳极)、空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层、电子注入层、半透明的极薄的金属电极(阴极)等所构成。如图9所示，根据工业上用于制造有机发光二极管的蒸镀，一般的底部发光型的有机发光二极管的制造装置130包括：在真空室(chamber)内，用来保持在被蒸镀面形成有透明电极的透明基板131以使得该被蒸镀面朝下的基板保持器132；在真空室的下部，以与基板保持器所保持的透明基板的被蒸镀面呈相对向的方式所设置的多个点状、或线状的蒸镀源133；以及用于使基本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀掩模的制造方法，其特征在于，包括：在规定的位置上形成有一个或多个开口的金属薄膜层的一侧的表面，形成配置有树脂薄膜层的蒸镀掩模材料的工序；相对于所述蒸镀掩模材料，在规定的方向施加规定的张力的状态下，将所述树脂薄膜层设为外侧，将所述金属薄膜层熔接于金属框架的工序；在与所述金属框架的内侧的所述金属薄膜层呈相对向的位置上，在所述树脂薄膜层所形成的贯通孔的周围，配置以在所述金属薄膜层的侧的尺寸变大的方式来形成锥形的锥形形成构件/材料的工序；在所述树脂薄膜层的上方配置用于形成所述贯通孔的激光加工用掩模的工序；及经由所述激光加工用掩模，在所述树脂薄膜层照射激光且在所述树脂薄膜层形成所述贯通孔的工...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.03.28 JP 2016-0644151.一种蒸镀掩模的制造方法，其特征在于，包括：在规定的位置上形成有一个或多个开口的金属薄膜层的一侧的表面，形成配置有树脂薄膜层的蒸镀掩模材料的工序；相对于所述蒸镀掩模材料，在规定的方向施加规定的张力的状态下，将所述树脂薄膜层设为外侧，将所述金属薄膜层熔接于金属框架的工序；在与所述金属框架的内侧的所述金属薄膜层呈相对向的位置上，在所述树脂薄膜层所形成的贯通孔的周围，配置以在所述金属薄膜层的侧的尺寸变大的方式来形成锥形的锥形形成构件/材料的工序；在所述树脂薄膜层的上方配置用于形成所述贯通孔的激光加工用掩模的工序；及经由所述激光加工用掩模，在所述树脂薄膜层照射激光且在所述树脂薄膜层形成所述贯通孔的工序，通过将所述激光照射于所述树脂薄膜层而在所述树脂薄膜层形成所述贯通孔之后，使通过所述贯通孔的激光与所述锥形形成构件/材料产生反应，且通过所产生的物理现象而在所述贯通孔的周围形成锥形。2.如权利要求项1所述的蒸镀掩模的制造方法，其特征在于，所述锥形形成构件/材料包括：将通过所述贯通孔的激光反射到所述树脂薄膜层的侧的散射反射面。3.如权利要求项1所述的蒸镀掩模的制造方法，其特征在于，所述锥形形成构件/材料是将通过所述贯通孔的激光转换成热的光热转换材料。4.如权利要求项1所述的蒸镀掩模的制造方法，其特征在于，所述锥形形成构件/材料是经由通过所述贯通孔的激光而使等离子产生的等离子产生材料。5.一种蒸镀掩模的制造装置，其特征在于，包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：崎尾进，
申请(专利权)人：鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71