水晶振动元件、水晶振子以及水晶片的制造方法技术

一种水晶振动元件，具备：AT切割型的水晶片，其包括：以水晶结晶的X轴方向作为长边和以Z′轴方向作为短边的相互对置的第一主面(12a)和第二主面(12b)；和位于第一主面(12a)和第二主面(12b)的长边侧的第一侧表面(13)和第二侧表面(14)；第一激励电极(15a)和第二激励电极(15b)；以及引出电极(16)，其从第一主面(12a)起在第一侧表面(13)通过而被引出至第二主面(12b)，并与第一激励电极(15a)电连接，在与X轴方向的长边正交的宽度方向上，第一侧表面(13)的第一m面(13a)的宽度Wa1大于第二侧表面(14)的第二m面(14a)的宽度Wa2。

Manufacturing Method of Crystal Vibration Elements, Crystal Oscillators and Crystal Wafers

A crystal vibration element is provided with: an AT-cut crystal wafer, which comprises: a first main surface (12a) and a second main surface (12b) opposite to each other with the X-axis direction of crystallization as the long side and a Z'axis direction as the short side; a first side surface (13) and a second side surface (14) on the long side of the first main surface (12a) and the second main surface (12b); a first exciting electrode (15a) and a second exciting electricity. Pole (15b); and lead-out electrode (16), which passes through the first main surface (12a) on the first side (13) and is electrically connected with the first excitation electrode (15a). In the width direction perpendicular to the long side of the X-axis direction, the width of the first surface (13a) on the first side (13) is larger than that of the second surface (14a) on the second side (14).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】水晶振动元件、水晶振子以及水晶片的制造方法
本专利技术涉及水晶振动元件、水晶振子以及水晶片的制造方法，特别是涉及包含AT切割型的水晶片的水晶振动元件。
技术介绍
用于振荡装置、带通滤波器等的基准信号的信号源广泛使用水晶振子。在水晶振子中，在由基座部件和盖部件构成的保持器内收容有水晶振动元件。作为水晶振动元件的例子，如专利文献1和2所记载的那样，存在以厚度剪切振动作为主振动的AT切割型的水晶振动元件。例如，在专利文献1所记载的水晶振动元件中，具备由AT切割水晶板构成的水晶元件片、和激励电极，水晶元件片的激励部的在长边方向上的两侧表面分别由水晶结晶的m面和非m面这两个面形成。专利文献1:日本特开2008-67345号公报专利文献2:日本特开2011-193292号公报然而，在这样的以往的结构中，由于水晶元件片的侧表面的非m面具有比垂直稍大的角度地与主面的长边接触，所以，在从水晶元件片的主面通过溅射或者蒸镀等而与激励电极一起形成所需要的电极的情况下，有时难以在非m面设置电极材料。因此，在水晶元件片的侧表面通过而在表背主面引出的引出电极有可能在非m面处产生断线。
技术实现思路
本专利技术是鉴于这样的状况而完成的，目的在于提供能够抑制产生电连接不良的水晶振动元件、水晶振子以及水晶片的制造方法。本专利技术的一侧表面的水晶振动元件具备：AT切割型的水晶片，其包括：以水晶结晶的X轴方向作为长边和以Z′轴方向作为短边并相互对置的第一主面和第二主面；和位于第一主面和第二主面的长边侧的第一侧表面和第二侧表面；第一激励电极，其设置于水晶片的第一主面；第二激励电极，其设置于水晶片的第二主面；引出电极，其从第一主面起在第一侧表面通过而被引出至第二主面并与第一激励电极电连接；第一连接电极，其设置于第二主面，并经由引出电极而与第一激励电极电连接；以及第二连接电极，其设置于第二主面，并与第二激励电极电连接，第一侧表面具有：以角度θ1与第一主面的长边接触的水晶结晶的第一m面；和以角度θ2与第二主面的长边接触的水晶结晶的第一非m面，第二侧表面具有：以角度θ2与第一主面的长边接触的水晶结晶的第二非m面；和以角度θ1与第二主面的长边接触的水晶结晶的第二m面，角度θ1和θ2为钝角且角度θ1是大于角度θ2的钝角，在与X轴方向的长边正交的宽度方向上，第一侧表面的第一m面的宽度大于第二侧表面的第二m面的宽度。根据上述结构，与第二侧表面相比，跨水晶片的表背主面引绕的引出电极所通过的第一侧表面中，m面的宽度相对大。与非m面相比，m面以主面为起点的倾斜角度相对平缓，因此跨水晶片的表背主面引绕的引出电极的形成变容易，而且能够实现引出电极的断线防止。由此，能够抑制电连接不良的产生。本专利技术的其他一方面的水晶振动元件具备：AT切割型的水晶片，其包括：以水晶结晶的X轴方向作为长边和以Z′轴方向作为短边并相互对置的第一主面和第二主面；以及位于第一主面和第二主面的长边侧的第一侧表面和第二侧表面；第一激励电极，其设置于水晶片的上述第一主面；第二激励电极，其设置于水晶片的上述第二主面；引出电极，其从第一主面起在第二侧表面通过而被引出至第二主面并与第一激励电极电连接；第一连接电极，其设置于第二主面，并经由引出电极而与第一激励电极电连接；以及第二连接电极，其设置于第二主面，并与第二激励电极电连接，第一侧表面具有：以角度θ2与第二主面的长边接触的水晶结晶的第一非m面；和以角度θ1与第一主面的长边接触的水晶结晶的第一m面，第二侧表面具有：以角度θ1与第二主面的长边接触的水晶结晶的第二m面；和以角度θ2与第一主面的长边接触的水晶结晶的第二非m面，角度θ1和θ2为钝角且角度θ1为大于角度θ2的钝角，在与X轴方向的长边正交的宽度方向上，第二侧表面的第二m面的宽度大于第一侧表面的第一m面的宽度。根据上述结构，与第一侧表面相比，跨水晶片的表背主面而被引绕的引出电极所通过的第二侧表面中，m面的宽度相对大。与非m面相比，m面以主面为起点的倾斜角度相对平缓，因此跨水晶片的表背主面而被引绕的引出电极的形成变容易，另外，能够实现引出电极的断线防止。由此，能够抑制电连接不良的产生。本专利技术的一方面的水晶片的制造方法包括如下工序：准备具有相互对置且分别在水晶结晶的X轴方向和Z′轴方向上延伸的第一主面和第二主面的AT切割型的水晶基板；将第一掩模设置于水晶基板的第一主面，并将第二掩模设置于水晶基板的第二主面，使得第二掩模的局部与第一掩模的局部重叠；以及对水晶基板进行湿式蚀刻，形成水晶片，并使该水晶片中，第一主面和第二主面分别形成为以X轴方向作为长边且以Z′轴方向作为短边的矩形状，并包括位于第一主面和第二主面的长边侧的第一侧表面和第二侧表面，第一侧表面具有：以角度θ1与第一主面的长边接触的水晶结晶的第一m面；和以角度θ2与第二主面的长边接触的水晶结晶的第一非m面，第二侧表面具有：以角度θ2与第一主面的长边接触的水晶结晶的第二非m面；和以角度θ1与第二主面的长边接触的水晶结晶的第二m面，角度θ1是大于角度θ2的钝角，且在与X轴方向的长边正交的宽度方向上，第一侧表面的第一m面的宽度大于第二侧表面的第二m面的宽度。根据上述结构，例如能够制造能够抑制电连接不良的产生的水晶片。根据本专利技术，能够抑制电连接不良的产生。附图说明图1是从本专利技术的第一实施方式的平板型形状的水晶片的一个主面侧观察的水晶振动元件的立体图。图2是从本专利技术的第一实施方式的平板型形状的水晶片的另一个主面侧观察的水晶振动元件的立体图。图3是本专利技术的第一实施方式的水晶振子的剖视图。图4是本专利技术的第一实施方式的水晶振子(省略盖部件)的立体图。图5是表示本专利技术的第一实施方式的水晶片的制造方法的图。图6是表示本专利技术的第一实施方式的水晶片的制造方法的图。图7是表示从本专利技术的第二实施方式的平板型形状的水晶片的一个主面侧观察的水晶振动元件的立体图。图8是从本专利技术的第二实施方式的平板型形状的水晶片的另一个主面侧观察的水晶振动元件的立体图。图9是本专利技术的第二实施方式的水晶振子(省略盖部件)的立体图。图10是从本专利技术的第三实施方式的台面型形状的水晶片的一个主面侧观察的水晶振动元件的立体图。图11是从作为本专利技术的第三实施方式的台面型形状的水晶片的另一个主面侧观察的水晶振动元件的立体图。具体实施方式以下对本专利技术的实施方式进行说明。在以下的附图的记载中，相同或者类似的构成要素通过相同或者类似的附图标记来表示。附图为例示，各部的尺寸、形状是示意性的，不应该理解为将本申请专利技术的技术的范围限定于该实施方式。＜第一实施方式＞参照图1～图4，对具备本专利技术的第一实施方式的水晶振动元件和该水晶振动元件的水晶振子进行说明。此处，图1是从水晶片的第一主面侧观察的水晶振动元件的立体图，图2是从与图1表背相反的水晶片的第二主面侧观察的水晶振动元件的立体图。图3是水晶振子的剖视图。图4是水晶振子的立体图，省略盖部件。如图3所示，本实施方式的水晶振子(QuartzCrystalResonatorUnit)1具备：水晶振动元件(QuartzCrystalResonator)10、盖部件20以及基座部件30。盖部件20以及基座部件30是用于收容水晶振动元件10的保持器。在本实施方式中，作为一个例子，盖部件20成为帽状本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种水晶振动元件，其特征在于，具备：AT切割型的水晶片，其包括：以水晶结晶的X轴方向作为长边和以Z′轴方向作为短边并相互对置的第一主面和第二主面；和位于所述第一主面和第二主面的长边侧的第一侧表面和第二侧表面；第一激励电极，其设置于所述水晶片的所述第一主面；第二激励电极，其设置于所述水晶片的所述第二主面；引出电极，其从所述第一主面起在所述第一侧表面通过而被引出至所述第二主面并与所述第一激励电极电连接；第一连接电极，其设置于所述第二主面，并经由所述引出电极而与所述第一激励电极电连接；以及第二连接电极，其设置于所述第二主面，并与所述第二激励电极电连接，所述第一侧表面具有：以角度θ1与所述第一主面的长边接触的水晶结晶的第一m面；和以角度θ2与所述第二主面的长边接触的水晶结晶的第一非m面，所述第二侧表面具有：以角度θ2与所述第一主面的长边接触的水晶结晶的第二非m面；和以角度θ1与所述第二主面的长边接触的水晶结晶的第二m面，所述角度θ1和θ2为钝角且所述角度θ1是大于所述角度θ2的钝角，在与所述X轴方向的长边正交的宽度方向上，所述第一侧表面的所述第一m面的宽度大于所述第二侧表面的所述第二m面的宽度。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.06.21 JP 2016-1229481.一种水晶振动元件，其特征在于，具备：AT切割型的水晶片，其包括：以水晶结晶的X轴方向作为长边和以Z′轴方向作为短边并相互对置的第一主面和第二主面；和位于所述第一主面和第二主面的长边侧的第一侧表面和第二侧表面；第一激励电极，其设置于所述水晶片的所述第一主面；第二激励电极，其设置于所述水晶片的所述第二主面；引出电极，其从所述第一主面起在所述第一侧表面通过而被引出至所述第二主面并与所述第一激励电极电连接；第一连接电极，其设置于所述第二主面，并经由所述引出电极而与所述第一激励电极电连接；以及第二连接电极，其设置于所述第二主面，并与所述第二激励电极电连接，所述第一侧表面具有：以角度θ1与所述第一主面的长边接触的水晶结晶的第一m面；和以角度θ2与所述第二主面的长边接触的水晶结晶的第一非m面，所述第二侧表面具有：以角度θ2与所述第一主面的长边接触的水晶结晶的第二非m面；和以角度θ1与所述第二主面的长边接触的水晶结晶的第二m面，所述角度θ1和θ2为钝角且所述角度θ1是大于所述角度θ2的钝角，在与所述X轴方向的长边正交的宽度方向上，所述第一侧表面的所述第一m面的宽度大于所述第二侧表面的所述第二m面的宽度。2.根据权利要求1所述的水晶振动元件，其特征在于，所述第二主面的短边比所述第一主面的短边长。3.一种水晶振动元件，其特征在于，具备：AT切割型的水晶片，其包括：以水晶结晶的X轴方向作为长边和以Z′轴方向作为短边的相互对置的第一主面和第二主面；以及位于所述第一主面和第二主面的长边侧的第一侧表面和第二侧表面；第一激励电极，其设置于所述水晶片的所述第一主面；第二激励电极，其设置于所述水晶片的所述第二主面；引出电极，其从所述第一主面起在所述第二侧表面通过而被引出至所述第二主面，并与所述第一激励电极电连接；第一连接电极，其设置于所述第二主面，并经由所述引出电极而与所述第一激励电极电连接；以及第二连接电极，其设置于所述第二主面，并与所述第二激励电极电连接，所述第一侧表面具有：以角度θ2与所述第二主面的长边接触的水晶结晶的第一非m面；和以角度θ1与所述第一主面的长边接触的水晶结晶的第一m面，所述第二侧表面具有：以角度θ1与所述第二主面的长边接触的水晶结晶的第二m面；和以角度θ2与所述第一主面的长边接触的水晶结晶的第二非m面，所述角度θ1和θ2为钝角且所述角度θ1为大于所述角度θ2的钝角，在与所述X轴方向的长边正交的宽度方向上，所述第二侧表面...

【专利技术属性】
技术研发人员：木津彻，崔弘毅，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP