制造承载板的方法及承载板技术

本发明专利技术涉及一种承载板(13)和一种制造承载板的方法，承载板特别用于接收和运送半导体产品、晶片或类似物，其中布置由碳纤维形成的编织纤维层以形成叠层，其中用树脂浸渍编织纤维层，并且使树脂固化并热解，然后将叠层石墨化，其中叠层的第一编织纤维层由具有等于或大于12K的长丝纱线的第一编织纤维形成，并且叠层的第二编织纤维层由具有等于或小于6K的长丝纱线的第二编织纤维形成。

Method of Manufacturing Bearing Plate and Bearing Plate

The invention relates to a bearing plate (13) and a method for manufacturing a bearing plate, which is especially used for receiving and transporting semiconductor products, wafers or similar materials, in which a braided fiber layer formed by carbon fibers is arranged to form a lamination, in which the resin is impregnated with the braided fiber layer, and the resin is solidified and pyrolyzed, and then the lamination is graphitized, in which the first braided fiber layer of the lamination is composed of two layers. The first braided fiber with filament yarns equal to or greater than 12K is formed, and the second braided fiber layer of the laminated yarn is formed by the second braided fiber with filament yarns equal to or less than 6K.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】制造承载板的方法及承载板
本专利技术涉及一种承载板和一种制造承载板的方法，承载板特别用于接收和运送半导体产品、晶片或类似物，其中布置由碳纤维构成的编织纤维层以形成叠层，其中用树脂浸渍编织纤维层，并且使树脂固化并热解，然后将叠层石墨化。
技术介绍
以这种方式制造的承载板是充分已知的，并且通常用于运送晶片或类似的半导体产品。多个凹部形成在平坦地延伸的承载板中，并且用于接收半导体产品。承载板用于运输、储存和使用，例如在用于处理半导体产品的炉子中。这里承载板应当尽可能薄，以便能够实现炉内半导体产品的高堆叠密度，同时具有高稳定性和耐温性。因此，承载板由热解的树脂基质中包括碳纤维的编织纤维层的叠层制成，其中叠层或承载板被石墨化。在石墨化之前，叠层被机械地加工，例如通过用于半导体产品的铣削容器。所用的编织纤维层使用所谓的长丝纱线，例如具有12000根单根纤维(12K长丝纱线)，它们组合成单根纱线。替代地，这种编织纤维层也可以用名称tex分类。这里的tex表示对于纱线的千根单纤维而言每1000米长的重量的克数。具有12K长丝纱线的编织纤维能够以低成本获得且易于加工，例如与6K长丝纱线相比。在布置成叠本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种制造承载板(10、13、16、22、29)的方法，所述承载板特别用于接收和运送半导体产品、晶片或其类似物，其中布置由碳纤维构成的编织纤维层以形成叠层，用树脂浸渍所述编织纤维层，并且使所述树脂固化并热解，然后将所述叠层石墨化，其特征在于，所述叠层的第一编织纤维层由具有等于或大于12K的长丝纱线的第一编织纤维形成，并且所述叠层的第二编织纤维层由具有等于或小于6K的长丝纱线的第二编织纤维形成。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.06.03 DE 102016110333.01.一种制造承载板(10、13、16、22、29)的方法，所述承载板特别用于接收和运送半导体产品、晶片或其类似物，其中布置由碳纤维构成的编织纤维层以形成叠层，用树脂浸渍所述编织纤维层，并且使所述树脂固化并热解，然后将所述叠层石墨化，其特征在于，所述叠层的第一编织纤维层由具有等于或大于12K的长丝纱线的第一编织纤维形成，并且所述叠层的第二编织纤维层由具有等于或小于6K的长丝纱线的第二编织纤维形成。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在设计中，所述第一编织纤维由等于或大于800tex的长丝纱线形成，并且所述第二编织纤维由等于或小于400tex的长丝纱线形成。3.根据权利要求1或2的方法，其特征在于，所述编织纤维层以如下方式布置以形成叠层：所述承载板(10、13、16、22、29)的第一层(14、17)由所述第一编织纤维形成，并且所述承载板的第二层(15、18)由所述第二编织纤维形成。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，由所述第二编织纤维形成两个所述第二层(18)，其中由所述第一编织纤维形成的所述第一层(17)布置在由所述第二编织纤维组成的所述第二层之间。5.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，所述第一编织纤维层由帆布编织纤维形成，而所述第二编织纤维层由斜纹编织纤维形成。6.根据前述权利要求之一的方法，其特征在于，利用重量或体积分数为2/3至3/4的所述第一编织纤维以及重量或体积分数为1/3至1/4的所述第二编织纤维形成所述承载板(10、13、16、22、29)。7.根据前述权利要求之一的方法，其特征在于，布置编织纤维以形成纤维走向相对于彼此交替定向的叠层。8.根据前述权利要求之一的方法，其特征在于，机加工所述叠层以形成用于接收半导体产品的凹部(12、23、30)，其中至少在所述第一编织纤维的平面(20...

【专利技术属性】
技术研发人员：安得烈·福尔默，马丁·施奈德，
申请(专利权)人：申克碳化技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE