一种基于Zr元素掺杂的钙钛矿阻变存储器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于Zr元素掺杂的钙钛矿阻变存储器，涉及功能器件技术领域。本实用新型专利技术的阻变存储器，从上至下依次包括顶电极、介质层、底电极和玻璃基底，其中：所述介质层为Zr元素掺杂的卤化物钙钛矿材料。本实用新型专利技术的阻变存储器，结构简单，保持了传统阻变存储器的构造，不需要增加额外的结构层，仅通过在钙钛矿薄膜中掺入Zr元素，使本实用新型专利技术制得的阻变存储器的开关比和稳定性明显提高，极大地降低了器件功耗，同时还增加了器件的稳定性和均一性。另外，本实用新型专利技术的阻变存储器制备成本低，工艺简单，易操作，有利于产业化应用，具有良好的市场应用前景。

【技术实现步骤摘要】
一种基于Zr元素掺杂的钙钛矿阻变存储器
本技术涉及功能器件
，具体涉及一种基于Zr元素掺杂的钙钛矿阻变存储器。
技术介绍
传统闪存技术在持续微缩到20nm以下技术节点后将面临一系列技术限制和理论极限，已难满足超高密度的存储要求，因此开发新型存储技术有相当重要的意义和价值。当前，基于电致阻变效应开发的阻变存储器件因结构简单、响应速度快、操作功耗低、易于集成和非易失性等特点，已成为下一代非挥发存储技术的有力竞争者，具有广阔的应用前景。阻变存储器是以非导性材料的电阻在外加电场作用下，在高阻态和低阻态之间实现可逆转换为基础的非易失性存储器。阻变存储器是一种多层薄膜结构，其基本结构：底电极/介质层/顶电极。组成阻变存储器的介质材料范围非常广泛，不同材料的制备方法也不尽相同，每种方法都有其使用范围。总的来说，按介质材料的基本属性可以把其分为无机材料和有机材料两大类，这两类材料在存储性能和应用领域方面的特性都迥然不同。无机介质材料通常表现出更加稳定、更加快速、耐受性更好的电阻转变行为，而有机介质材料的优点则是高度的柔韧性、制备简单、成本低廉等。自从卤化物钙钛矿材料作为太阳能电池光吸收材料以来就引起了很大的关注，其不仅具有高效的光吸收能力和载流子迁移率，还具有独特的双极性特性，能够同时传输电子和空穴，还具有可调性的带隙，这些特性使卤化物钙钛矿成为了优异的光伏材料，掀起了研究的热潮。最近，也有将卤化物钙钛矿应用于阻变存储器，且获得了优异的性能。相较于传统的ABO3型的陶瓷钙钛矿氧化物如BaTiO3，SrRuO3，SrZrO3等材料，卤化物钙钛矿具有制备简单并且结晶良好的优势。近几年基于卤化物钙钛矿的阻变存储器件有了长足的进展，但是仍然存在一些问题，譬如开关比小，性能不稳定，阻变机理不明确和器件微缩性不好等。而目前一般采用加金属氧化物隔离层优化器件性能，又存在工艺相对复杂，增加制作成本和器件结构复杂等问题。所以优化钙钛矿结构，提升器件性能是需要进一步研究的课题。
技术实现思路
本技术的目的在于针对现有阻变存储器技术的不足，提供一种基于Zr元素掺杂的钙钛矿阻变存储器，进一步提升器件的性能。为了实现本技术上述目的，本技术采用如下技术方案：一种基于Zr元素掺杂的钙钛矿阻变存储器，所述存储器从上至下依次包括顶电极、介质层、底电极和玻璃基底，其中：所述介质层为Zr元素掺杂的卤化物钙钛矿材料。进一步地，上述技术方案中所述的顶电极的厚度为50nm～300nm。进一步地，上述技术方案中所述顶电极的形状为圆形或者矩形，直径或边长为50nm～1mm。进一步地，上述技术方案中所介质层的厚度为50nm～1μm。进一步地，上述技术方案中所述介质层的形状为圆形或者矩形，直径或边长为50nm～2cm。进一步地，上述技术方案中所述的底电极的厚度为50nm～300nm。进一步地，上述技术方案中所述底电极的形状为圆形或者矩形，直径或边长为50nm～2cm。进一步地，上述技术方案中所述的卤化物钙钛矿材料的分子通式为ABX3，其中：A＝CH3NH3或Cs；B＝Pb；X＝Cl，Br或I。进一步地，上述技术方案中所述的顶电极材料为Pt、Au或W中的任一种。进一步地，上述技术方案中所述的底电极材料为FTO、ITO、ZTO或AZO中的任一种。与现有技术相比，本技术的有益效果在于：(1)本技术提出的一种基于Zr元素掺杂的钙钛矿阻变存储器，结构简单，保持了传统阻变存储器的构造，不需要增加额外的结构层，仅通过在钙钛矿薄膜中掺入Zr元素，使本技术制得的阻变存储器的开关比和稳定性明显提高，极大地降低了器件功耗，同时还增加了器件的稳定性和均一性。(2)本技术的基于Zr元素掺杂的钙钛矿阻变存储器的制备方法，制备工艺简单，易操作，制作成本低廉，因此，本技术的阻变存储器制备成本低，有利于产业化应用，具有良好的市场应用前景。附图说明图1是本技术所述的基于Zr元素掺杂的钙钛矿阻变存储器的结构示意图；其中：1-顶电极；2-介质层；3-底电极；4-玻璃基底。图2是本技术实施例1和对比例1得到的阻变存储器的电流电压特性对比图；图3为本技术实施例1和对比例1得到的阻变存储器的高低阻态分布对比图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。需要说明，本技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。实施例1如图1所示，本实施例的一种基于Zr元素掺杂的钙钛矿阻变存储器，所述存储器从上至下依次包括顶电极1、介质层2、底电极3和玻璃基底4，其中：所述底电极具体为FTO材料，所述介质层为Zr元素掺杂的卤化物钙钛矿材料，所述卤化物钙钛矿材料的分子通式ABX3，其中：A＝CH3NH3；B＝Pb；X＝I；所述顶电极的材料为Au；所述顶电极为方形，边长为200nm，厚度为100nm；所述介质层为方形，边长为200nm，厚度为200nm，底电极为方形，边长为1cm，厚度为300nm。所述的阻变存储器采用如下方法制备而成，包括如下步骤：步骤1.清洗FTO分别用去离子水、丙酮、无水乙醇在超声仪中将FTO各清洗15～30分钟；步骤2.预留电极在FTO一侧顶边贴上绝缘胶带，然后在UV清洗仪中用紫外光照射FTO表面15～30分钟；步骤3.配制碘化铅溶液配制1mol/L的碘化铅溶液置于70℃恒温箱中保温12h使碘化铅粉末完全溶于溶剂DMF中，然后用0.45μm的过滤头进行过滤；步骤4.旋涂及烘干用旋涂仪采用3000r/min的转速将碘化铅溶液旋涂至FTO表面，时间为30秒。在70℃条件下烘干，时间为30分钟；步骤5.制备介质层配制10mg/ml的碘化甲铵溶液，加入30wt％的硝酸锆粉末并搅拌至碘化甲铵及硝酸锆完全溶解于溶剂异丙醇中，将旋涂有碘化铅薄膜的样片完全浸泡在碘化甲铵和硝酸锆的混合溶液里面3分钟，然后立即用异丙醇溶液冲洗干净并置于旋涂仪上用3000r/min的转速旋涂20s，最后置于100℃热台上退火，时间为60分钟。步骤6.制备顶电极将基片置于磁控溅射设备中，利用直流磁控溅射沉积法和掩膜版在碘化铅薄膜表面沉积顶电极，即制得本实施例的基于Zr元素掺杂的钙钛矿阻变存储器。对比例1本对比例中的钙钛矿阻变存储器与制备方法与实施例1基本相同，区别仅在于本对比例中介质层材料中未掺入Zr元素。将上述实施例1和对比例1制得的阻变存储器分别进行了电化学性能测试，其中电流电压特性对比图如图2所示，由图2可以看出，掺杂Zr元素(实心圆)的高阻态电流比未掺杂Zr元素(空心方块)的高阻态电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于Zr元素掺杂的钙钛矿阻变存储器，其特征在于：所述存储器从上至下依次包括顶电极、介质层、底电极和玻璃基底，其中：所述介质层为Zr元素掺杂的卤化物钙钛矿材料。

【技术特征摘要】
1.一种基于Zr元素掺杂的钙钛矿阻变存储器，其特征在于：所述存储器从上至下依次包括顶电极、介质层、底电极和玻璃基底，其中：所述介质层为Zr元素掺杂的卤化物钙钛矿材料。2.根据权利要求1所述的基于Zr元素掺杂的钙钛矿阻变存储器，其特征在于：所述的顶电极的厚度为50nm～300nm。3.根据权利要求1或2所述的基于Zr元素掺杂的钙钛矿阻变存储器，其特征在于：所述顶电极的形状为圆形或者矩形，直径或边长为50nm～1mm。4.根据权利要求1所述的基于Zr元素掺杂的钙钛矿阻变存储器，其特征在于：所介质层的厚度为50nm～1μm。5.根据权利要求1所述的基于Zr元素掺杂的钙钛矿阻变存储器，其特征在于：所述介质层的形状为圆形或者矩形，直径或边长为50nm～2cm。6.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：马国坤，何玉立，王浩，周潇文，蔡恒梅，
申请(专利权)人：湖北大学，
类型：新型
国别省市：湖北,42