一种ITO靶材打磨用工装夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种ITO靶材打磨用工装夹具，包括工装夹具本体、底座矩形夹板和弧形夹板，所述底座的顶部两侧对称设置有侧板，所述推板的底部通过限位滑杆与侧板滑动连接，所述推板的一侧通过横杆固定连接有矩形夹板，且横杆与推板滑动嵌套连接。本实用新型专利技术中，该工装夹具上设有矩形夹板，而矩形夹板的内部沿弧形夹板的水平中线对称嵌设有弧形夹板，且弧形夹板与矩形夹板的一端均通过横杆与推板滑动连接，在横杆的端部均设有限位凸块，通过限位凸块能够灵活控制横杆的移动，从而可根据需要，对矩形ITO靶材或者管状ITO靶材进行夹持固定，该夹持装置结构简单，易于操作，实用性较较高，便于推广使用。

A Tool Fixture for ITO Target Grinding

The utility model discloses a tooling fixture for ITO target grinding, which comprises a tooling fixture body, a base rectangular splint and an arc splint. The top two sides of the base are symmetrically provided with side plates. The bottom of the push plate is slidingly connected with the side plate through a limit slide rod, and one side of the push plate is fixedly connected with a rectangular splint through a cross bar, and the cross bar is slidingly nested with the push plate. In the utility model, a rectangular splint is arranged on the fixture, and the inner part of the rectangular splint is symmetrically embedded with an arc splint along the horizontal midline of the arc splint, and one end of the arc splint and the rectangular splint is sliding connected with a push plate through a cross bar, and a limit bump is arranged at the end of the cross bar. The movement of the cross bar can be flexibly controlled by the limit bump, so that the moment can be adjusted according to the need. The shape ITO target or tubular ITO target is clamped and fixed. The clamping device has simple structure, easy operation, high practicability and is easy to popularize.

【技术实现步骤摘要】
一种ITO靶材打磨用工装夹具
本技术涉及ITO靶材加工设备
，尤其涉及一种ITO靶材打磨用工装夹具。
技术介绍
ITO靶材就是氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合后经过一系列的生产工艺加工成型，再高温气氛烧结(1600度，通氧气烧结)形成的黑灰色陶瓷半导体，ITO薄膜是利用ITO靶材作为原材料，通过磁控溅射把ITO靶气化溅渡到玻璃基板或柔性有机薄膜上，ITO薄膜具有导电性和透光性，厚度一般30纳米--200纳米。ITO靶材烧结完成后会有一定程度的变形，所以需要对其进行相应的切割和平面打磨以达到客户要求的尺寸，完成切割的靶材，侧面会有切割痕，故而需要对其进行打磨处理，而在打磨工序中，需要通过工装夹具对ITO靶材进行夹持固定，然而现有的工装夹持工具局限性较大，不能够同时完成管状和矩形状ITO靶材的夹持固定，实用性不高。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种ITO靶材打磨用工装夹具。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种ITO靶材打磨用工装夹具，包括工装夹具本体、底座矩形夹板和弧形夹板，所述工装夹具本体上设置有底座，所述底座的顶部两侧对称设置有侧板，所述两侧板之间通过限位滑杆固定连接，所述两侧板上均通过螺纹套螺旋转动连接有螺纹杆，且螺纹杆的一端均通过固定轴承与推板转动连接，所述推板的底部通过限位滑杆与侧板滑动连接，所述推板的一侧通过横杆固定连接有矩形夹板，且横杆与推板滑动嵌套连接，所述矩形夹板的内部沿夹板的水平中线对称嵌设有弧形夹板，且弧形夹板的一侧通过横杆与推板滑动连接。作为上述技术方案的进一步描述：所述限位滑杆共设置有两个，且两个限位滑杆沿底座的水平竖直中线对称。作为上述技术方案的进一步描述：所述推板上开设有便于横杆通过的通孔，且通孔的内径与横杆的直径大小相等。作为上述技术方案的进一步描述：所述横杆的一侧设置有用于限位固定的限位凸块。。作为上述技术方案的进一步描述：所述螺纹杆的一端焊接有便于旋转操作的旋杆。本技术中，首先，该工装夹具上设有矩形夹板，而矩形夹板的内部沿弧形夹板的水平中线对称嵌设有弧形夹板，且弧形夹板与矩形夹板的一端均通过横杆与推板滑动连接，在横杆的端部均设有限位凸块，通过限位凸块能够灵活控制横杆的移动，从而可根据需要，对矩形ITO靶材或者管状ITO靶材进行夹持固定，该夹持装置结构简单，易于操作，实用性较较高，便于推广使用。附图说明图1为本技术提出的一种ITO靶材打磨用工装夹具的结构示意图；图2为本技术ITO靶材打磨用工装夹具的俯视图；图3为本技术ITO靶材打磨用工装夹具的夹板的侧视图。图例说明：1-工装夹具本体、2-底座、3-限位滑杆、4-螺纹杆、5-侧板、6-推板、7-限位凸块、8-横杆、9-矩形夹板、10-弧形夹板。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。参照图1-3，一种ITO靶材打磨用工装夹具，包括工装夹具本体1、底座2矩形夹板9和弧形夹板10，工装夹具本体1上设置有底座2，底座2的顶部两侧对称设置有侧板5，两侧板5之间通过限位滑杆3固定连接，两侧板5上均通过螺纹套螺旋转动连接有螺纹杆4，且螺纹杆4的一端均通过固定轴承与推板6转动连接，推板6的底部通过限位滑杆3与侧板5滑动连接，推板6的一侧通过横杆8固定连接有矩形夹板9，且横杆8与推板6滑动嵌套连接，矩形夹板9的内部沿夹板9的水平中线对称嵌设有弧形夹板10，且弧形夹板10的一侧通过横杆8与推板6滑动连接。限位滑杆3共设置有两个，且两个限位滑杆3沿底座2的水平竖直中线对称，推板6上开设有便于横杆8通过的通孔，且通孔的内径与横杆8的直径大小相等，横杆8的一侧设置有用于限位固定的限位凸块7，螺纹杆4的一端焊接有便于旋转操作的旋杆。限位滑杆3的设置用于对推板6的侧位移进行限定，从而有效提高推板6移动过程中的稳定性，进而提高夹持精确度，限位凸块7是一种弧形结构的凸块，且该限位凸块7的底部是通过复位弹簧与横杆8的内部弹性连接的，弧形夹板10共设有两组，且两组均设有两个，两个弧形夹板10的设置能够对管状结构的ITO靶材固定的更稳定。工作原理：使用时，当需要夹持的对象是矩形ITO靶材时，将与弧形夹板10固定连接的横杆8端部的限位凸块7摁下，并使得该横杆8能够滑动穿过推板6，而与弧形夹板10相固定的横杆8则不会滑动，然后再通过转动旋杆使螺纹杆4转动并推动推板6，此时，在推板6的推动作用，便可完成矩形ITO靶材的固定了，当需要夹持固定的对象是管状ITO靶材时，仅需将矩形夹板上对应的横杆8滑动通过推板6，而弧形夹板10上的滑杆8则固定，即可完成管状ITO靶材的夹持固定工作。以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种ITO靶材打磨用工装夹具，包括工装夹具本体(1)、底座(2) 、矩形夹板(9)和弧形夹板(10)，其特征在于，所述工装夹具本体(1)上设置有底座(2)，所述底座(2)的顶部两侧对称设置有侧板(5)，所述两侧板(5)之间通过限位滑杆(3)固定连接，所述两侧板(5)上均通过螺纹套螺旋转动连接有螺纹杆(4)，且螺纹杆(4)的一端均通过固定轴承与推板(6)转动连接，所述推板(6)的底部通过限位滑杆(3)与侧板(5)滑动连接，所述推板(6)的一侧通过横杆(8)固定连接有矩形夹板(9)，且横杆(8)与推板(6)滑动嵌套连接，所述矩形夹板(9)的内部沿夹板(9)的水平中线对称嵌设有弧形夹板(10)，且弧形夹板(10)的一侧通过横杆(8)与推板(6)滑动连接。

【技术特征摘要】
1.一种ITO靶材打磨用工装夹具，包括工装夹具本体(1)、底座(2)、矩形夹板(9)和弧形夹板(10)，其特征在于，所述工装夹具本体(1)上设置有底座(2)，所述底座(2)的顶部两侧对称设置有侧板(5)，所述两侧板(5)之间通过限位滑杆(3)固定连接，所述两侧板(5)上均通过螺纹套螺旋转动连接有螺纹杆(4)，且螺纹杆(4)的一端均通过固定轴承与推板(6)转动连接，所述推板(6)的底部通过限位滑杆(3)与侧板(5)滑动连接，所述推板(6)的一侧通过横杆(8)固定连接有矩形夹板(9)，且横杆(8)与推板(6)滑动嵌套连接，所述矩形夹板(9)的内部沿夹板(9)的水平中线对称嵌设有弧形夹板(10)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘洪浩，
申请(专利权)人：江苏比昂电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32