适用于表面附着物为Ceramic部品的清洗方法技术

本发明专利技术公开一种适用于表面附着物为Ceramic部品的清洗方法，该方法包括下述步骤：S1、化学清洗：采用氨水双氧水溶液对工件进行浸泡处理，采用的氨水双氧水溶液为体积比为H2O2：H2O：NH4OH＝(2.5‑3.5)：(3.5‑4.5)：(0.5‑1.5)配制而成；S2、纯水漂洗；S3、采用硝氟酸进行中和反应，采用的硝氟酸采用硝酸和氢氟酸配比而成，配比时，各溶液的体积比为HNO3：HF：H2O＝(17～23)：(0.5～1.5)：(17～23)；S4、擦洗；S5、将工件在DI Water中常温浸泡10分钟以上；S6、工件表面PH测试；S7、超声波震荡清洗；S8、工件表面PH测试；S9、CDA吹干；S10、超声波震荡清洗；S11、加热干燥；S12、自然冷却。

Cleaning method for Ceramic parts with surface attachments

The invention discloses a cleaning method suitable for Ceramic parts with surface attachments. The method comprises the following steps: S1, chemical cleaning: soaking the workpiece with ammonia-water hydrogen peroxide solution, using ammonia-water hydrogen peroxide solution as volume ratio of H_2O_2: H_2O: NH_4OH= (2.5 3.5):(3.5 4.5):(0.5 1.5); S2, pure water rinsing; S_3, nitrofluoric acid feeding. In the neutralization reaction, the nitric acid is composed of nitric acid and hydrofluoric acid, and the volume ratio of each solution is HNO 3:HF:H 2= (17-23): (0.5-1.5):(17-23); S4, scrubbing; S5, soaking the workpiece at DI Water for more than 10 minutes at room temperature; S6, workpiece surface PH test; S7, ultrasonic vibration cleaning; S8, workpiece surface PHA test; S9, CDA drying; S10, S10, scrubbing; Ultrasound vibration cleaning; S11, heating and drying; S12, natural cooling.

【技术实现步骤摘要】
适用于表面附着物为Ceramic部品的清洗方法
本专利技术公开一种Ceramic部品的清洗方法，特别是一种适用于表面附着物为Ceramic部品的清洗方法，属于特种清洗

技术介绍
AMATeMaxCT+部品中的InsulatorRing、AMATDPS部品中的：CeramicLid、GasInjector、IonPort以及ScrewCoverRing等，其表面均为Ceramic作为表面附着物，在长时间使用后，工件表面难免会附着些杂质，因此定期清洗就成了此类工件必不可少的工作，此种工件的本体是陶瓷，表面是金属附着物(铝/光刻胶)，常规的工件表面清洗手段不能很好的去除工件表面的杂质，清洗效果不好。
技术实现思路
针对上述提到的现有技术中的附着物为Ceramic部品去除工件表面的杂质效果不好的缺点，本专利技术提供一种适用于表面附着物为Ceramic部品的清洗方法，其采用化学浸泡加超声波振荡清洗相结合的方式，可简单快捷的去除工件表面的杂质。本专利技术解决其技术问题采用的技术方案是：一种适用于表面附着物为Ceramic部品的清洗方法，该方法包括下述步骤：S1、化学清洗：采用氨水双氧水溶液对工件进行浸泡处理，采用的氨水双氧水溶液为体积比为H2O2：H2O：NH4OH＝(2.5-3.5)：(3.5-4.5)：(0.5-1.5)配制而成；S2、纯水漂洗：将步骤S1处理后的工件捞出，放入流动的纯水中浸泡冲洗30分钟以上；S3、采用硝氟酸进行中和反应，采用的硝氟酸采用硝酸和氢氟酸配比而成，配比时，各溶液的体积比为HNO3：HF：H2O＝(17～23)：(0.5～1.5)：(17～23)；S4、擦洗：将工件在DIWater中采用无尘布进行擦洗；S5、将工件在DIWater中常温浸泡10分钟以上；S6、工件表面PH测试：对工件表面的残留水进行PH值测试，如果其PH值满足6-7，则转入下一工序，如果其PH值小于6或大于7，则返回步骤S5，重新浸泡清洗；S7、超声波震荡清洗：将部品放进带有超音波的DIWater槽中，进行超声波震荡清洗30分钟以上；S8、工件表面PH测试：对工件表面的残留水进行PH值测试，如果其PH值满足6-7，则转入下一工序，如果其PH值小于6或大于7，则返回步骤S7，重新浸泡清洗；S9、CDA吹干：采用经过0.1μm过滤器过滤过的CDA对工件表面吹干；S10、超声波震荡清洗：在无车车间内进行清洗，将部品放进带有超音波的DIWater槽中，进行超声波震荡清洗5分钟以上；S11、加热干燥：采用烘箱对产品进行烘烤加热干燥，干燥温度为150℃±10℃，干燥时间为1H以上；S12、自然冷却：将加热干燥后的工件自然冷却至室温即可。本专利技术解决其技术问题采用的技术方案进一步还包括：所述的步骤S1中，H2O2：H2O：NH4OH＝3：4：1。采用的水为电阻率大于或等于12MΩ.CM的超纯水，浸泡温度为45℃±5℃，反应时间为3-5小时。所述的步骤S2中，纯水采用电阻率为12MΩ·cm以上的纯水。所述的步骤S3中，硝氟酸为HNO3：HF：H2O＝20：1：20，反应为在常温温度下进行浸泡反应，反应时间为10～30S。所述的步骤S5中，DIWater电阻率为5MΩ以上，PH值：6-7。所述的步骤S8中，采用有效功率为1.2Kw的超声波进行超声波震荡清洗，超声波震荡清洗时要向超声波清洗槽中持续通入去离子水，保持水槽中的水从水槽上面不断溢流。所述的步骤S9中，压缩空气的压力为2kgf/cm2，干燥温度为100±5℃，干燥时间为30分钟以上。所述的步骤S10中，无尘车间采用1000级无尘车间。所述的步骤S10中，采用有效功率为1.2Kw的超声波进行超声波震荡清洗，超声波震荡清洗时要向超声波清洗槽中持续通入去离子水，保持水槽中的水从水槽上面不断溢流。本专利技术的有益效果是：本专利技术采用化学浸泡加超声波振荡清洗相结合的方式，可简单快捷的去除工件表面的杂质，而且，对工件损伤较小。具体实施方式本实施例为本专利技术优选实施方式，其他凡其原理和基本结构与本实施例相同或近似的，均在本专利技术保护范围之内。本专利技术主要为一种适用于表面附着物为Ceramic部品的清洗方法，该方法包括下述步骤：S1、化学清洗：本实施例中，采用氨水双氧水溶液对工件进行浸泡处理，浸泡时，以双氧水溶液没过工件为准，即保证工件全部浸泡入双氧水溶液中，本实施例中，采用的氨水双氧水溶液为体积比为H2O2：H2O：NH4OH＝(2.5-3.5)：(3.5-4.5)：(0.5-1.5)配制而成，优选的为，H2O2：H2O：NH4OH＝3：4：1，本实施例中，采用的水为电阻率大于或等于12MΩ.CM的超纯水，浸泡温度为45℃±5℃，反应时间为3-5小时，直至目测工件表面无残留钛膜或氮化钛膜为止，如果工件母材为Ti的话，则每隔半小时观察一次，本实施例中，双氧水采用市售的质量百分比浓度为30～32％的双氧水，氨水采用市售的质量百分比浓度为25％的氨水；本实施例中，当混合溶液中的双氧水浓度低于5％时，需要对浸泡溶液进行更换，更换液体时，需采用专用的量具进行量取，更换药水时需要做好相关的记录工作，注意轻拿轻放，以免造成不必要的损失。S2、纯水漂洗：将步骤S1处理后的工件捞出，放入流动的纯水(电阻率为12MΩ·cm以上的纯水)中浸泡冲洗30分钟以上，以去除工件表面残余的化学液；S3、采用硝氟酸进行中和反应，本实施例中，采用的硝氟酸采用硝酸和氢氟酸配比而成，配比时，各溶液的体积比为HNO3：HF：H2O＝(17～23)：(0.5～1.5)：(17～23)，优选为HNO3：HF：H2O＝20：1：20，本实施例中，反应为在常温温度下进行浸泡反应，反应时间为10～30S，本实施例中，采用的硝酸为市售的质量百分比浓度为68％的浓硝酸，具体实施时，也可以采用其他浓度的硝酸进行等量配比，本实施例中，采用的氢氟酸为市售的质量百分比浓度为55％的氢氟酸，具体实施时，也可以采用其他浓度的硝酸进行等量配比；本实施例中，当硝酸浓度低于10％时，需要更换硝氟酸溶液，更换液体时，需采用专用的量具进行量取，更换药水时需要做好相关的记录工作，注意轻拿轻放，以免造成不必要的损失。S4、擦洗：将工件在DIWater(即去离子水，其电阻率为5MΩ以上，PH值：6-7)中采用无尘布进行擦洗，本实施例中，无尘布采用7447#工业百洁布；S5、将工件在DIWater(即去离子水，其电阻率为5MΩ以上，PH值：6-7)中常温浸泡10分钟；S6、工件表面PH测试：对工件表面的残留水进行PH值测试，如果其PH值满足6-7，则转入下一工序，如果其PH值小于6或大于7，则返回步骤S5，重新浸泡清洗；S7、超声波震荡清洗：将部品放进带有超音波的DIWater(即去离子水，其电阻率为5MΩ以上，PH值：6-7)槽中，进行超声波震荡清洗30分钟，本实施例中，采用有效功率为1.2Kw的超声波进行超声波震荡清洗，以去除工件表面的残存的颗粒物质，超声波震荡清洗时要向超声波清洗槽中持续通入去离子水，保持水槽中的水从水槽上面不断溢流，以带走震荡下来的颗粒物质；S8、工件表面PH测试：对工件表面的残留水进行PH值测试，如果其PH值满足6-7，则转入下一工序，如果其PH值小于6本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于表面附着物为Ceramic部品的清洗方法，其特征是：所述的方法包括下述步骤：S1、化学清洗：采用氨水双氧水溶液对工件进行浸泡处理，采用的氨水双氧水溶液为体积比为H2O2：H2O：NH4OH＝(2.5‑3.5)：(3.5‑4.5)：(0.5‑1.5)配制而成；S2、纯水漂洗：将步骤S1处理后的工件捞出，放入流动的纯水中浸泡冲洗30分钟以上；S3、采用硝氟酸进行中和反应，采用的硝氟酸采用硝酸和氢氟酸配比而成，配比时，各溶液的体积比为HNO3：HF：H2O＝(17～23)：(0.5～1.5)：(17～23)；S4、擦洗：将工件在DI Water中采用无尘布进行擦洗；S5、将工件在DI Water中常温浸泡10分钟以上；S6、工件表面PH测试：对工件表面的残留水进行PH值测试，如果其PH值满足6‑7，则转入下一工序，如果其PH值小于6或大于7，则返回步骤S5，重新浸泡清洗；S7、超声波震荡清洗：将部品放进带有超音波的DI Water槽中，进行超声波震荡清洗30分钟以上；S8、工件表面PH测试：对工件表面的残留水进行PH值测试，如果其PH值满足6‑7，则转入下一工序，如果其PH值小于6或大于7，则返回步骤S7，重新浸泡清洗；S9、CDA吹干：采用经过0.1μm过滤器过滤过的CDA对工件表面吹干；S10、超声波震荡清洗：在无车车间内进行清洗，将部品放进带有超音波的DI Water槽中，进行超声波震荡清洗5分钟以上；S11、加热干燥：采用烘箱对产品进行烘烤加热干燥，干燥温度为150℃±10℃，干燥时间为1H以上；S12、自然冷却：将加热干燥后的工件自然冷却至室温即可。...

【技术特征摘要】
1.一种适用于表面附着物为Ceramic部品的清洗方法，其特征是：所述的方法包括下述步骤：S1、化学清洗：采用氨水双氧水溶液对工件进行浸泡处理，采用的氨水双氧水溶液为体积比为H2O2：H2O：NH4OH＝(2.5-3.5)：(3.5-4.5)：(0.5-1.5)配制而成；S2、纯水漂洗：将步骤S1处理后的工件捞出，放入流动的纯水中浸泡冲洗30分钟以上；S3、采用硝氟酸进行中和反应，采用的硝氟酸采用硝酸和氢氟酸配比而成，配比时，各溶液的体积比为HNO3：HF：H2O＝(17～23)：(0.5～1.5)：(17～23)；S4、擦洗：将工件在DIWater中采用无尘布进行擦洗；S5、将工件在DIWater中常温浸泡10分钟以上；S6、工件表面PH测试：对工件表面的残留水进行PH值测试，如果其PH值满足6-7，则转入下一工序，如果其PH值小于6或大于7，则返回步骤S5，重新浸泡清洗；S7、超声波震荡清洗：将部品放进带有超音波的DIWater槽中，进行超声波震荡清洗30分钟以上；S8、工件表面PH测试：对工件表面的残留水进行PH值测试，如果其PH值满足6-7，则转入下一工序，如果其PH值小于6或大于7，则返回步骤S7，重新浸泡清洗；S9、CDA吹干：采用经过0.1μm过滤器过滤过的CDA对工件表面吹干；S10、超声波震荡清洗：在无车车间内进行清洗，将部品放进带有超音波的DIWater槽中，进行超声波震荡清洗5分钟以上；S11、加热干燥：采用烘箱对产品进行烘烤加热干燥，干燥温度为150℃±10℃，干燥时间为1H以上；S12、自然冷却：将加热干燥后的工件自然冷却至室温即可。2.根据权利要求1所述的适用于表面附着物为Ceramic部品的清洗方法，其特征是：所述的步骤S1中，H2O2：H2O：NH4...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊志红，张远，
申请(专利权)人：深圳仕上电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44