有机电子器件制造方法技术

提供一种有机电子器件的制造方法，该方法包括：设置具有至少两组的材料沉积区域的基板，第一组区域用于所述器件的第一组元件，第二组区域用于所述器件的第二组元件，其中，所述第一组和第二组区域具有不同的沉积材料的各第一和第二目标厚度；设置沉积于所述第一组和第二组区域上的材料的至少一种溶液；和将所述材料溶液喷墨印刷于所述第一和第二组材料沉积区域上，其中，所述喷墨印刷包含：通过使用包含多个喷嘴的打印头沉积所述至少一种材料溶液，所述喷嘴的第一子集用于沉积到所述第一组区域上，所述喷嘴的第二子集用于沉积到所述第二组区域上；和为了沉积材料的所述不同的各第一和第二目标厚度，用第一驱动波形驱动所述第一组喷嘴并用第二不同驱动波形驱动所述第二组喷嘴。

Manufacturing methods of organic electronic devices

A method for manufacturing organic electronic devices is provided. The method includes: setting a substrate with at least two sets of material deposition regions, the first set of regions for the first set of components of the device, and the second set of regions for the second set of components of the device, in which the first and second groups of regions have different first and second target thicknesses of the deposited materials; At least one solution of the material on the first and second groups of areas; and inkjet printing of the material solution on the first and second groups of material deposition areas, in which the inkjet printing includes: depositing at least one material solution by using a print head containing multiple nozzles, the first subset of the nozzles is used for depositing on the first group of areas; The second subset of the nozzles is used to deposit on the second group area; and for the different first and second target thicknesses of the deposited materials, the first group of nozzles is driven by the first driving waveform and the second group of nozzles is driven by the second different driving waveform.

【技术实现步骤摘要】
有机电子器件制造方法
本专利技术涉及用于制造有机电子器件的技术，特别地，涉及诸如聚合物OLED（有机发光二极管）显示器的OLED器件。
技术介绍
图1a表示典型的OLED器件10的断面图。它包括承载一般为ITO（氧化铟锡）的透明导电氧化物层14的基板12。该透明导电氧化物层14可被构图，一般具有约40nm的厚度。在其上面沉积一般包含诸如PSS:PEDOT（聚苯乙烯-磺酸酯掺杂的聚乙烯-二氧噻吩）的导电聚合物的空穴注入层（HIL）16。这有助于匹配ITO阳极和发光聚合物的空穴能级（也可有助于使ITO平坦化），其厚度一般为约30nm，但可能达到约150nm。一般在有机光伏器件中存在类似的层，以有利于提取空穴。此外，商业空穴注入材料是可从PlextronicsInc得到的。在本例子中，空穴注入层之后是中间聚合物层即中间层（IL）18－也称为空穴传输层（HTL）。它由允许有效地传输空穴的空穴传输材料制成；它一般具有范围为20nm～60nm的厚度并且沉积于空穴注入层上，并且一般交联。可制成中间层的一种示例性材料是聚芴-三芳胺或类似材料的共聚物（Bradley等在Adv.Mater.Vol11,本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有机电子器件的制造方法，该方法包括：提供具有材料沉积区域的至少两个集合的基板，区域的第一集合用于所述器件的元件的第一集合，区域的第二集合用于所述器件的元件的第二集合，其中，在单遍印刷中，材料沉积区域的所述第一和第二集合具有不同的要沉积于所述区域中的材料的各自第一和第二目标厚度；提供要沉积于区域的所述第一和第二集合上的至少一种材料的溶液；和通过使用压电换能器将所述材料的溶液喷墨印刷于材料沉积区域的所述第一和第二集合上，其中，所述喷墨印刷包括：使用包含多个喷嘴的打印头沉积所述至少一种材料的溶液，所述多个喷嘴中的每一个包含孔，且每一个孔具有相等的直径，所述喷嘴的第一子集用于沉积到区域的所述第...

【技术特征摘要】
2013.01.02 GB 1300032.81.一种有机电子器件的制造方法，该方法包括：提供具有材料沉积区域的至少两个集合的基板，区域的第一集合用于所述器件的元件的第一集合，区域的第二集合用于所述器件的元件的第二集合，其中，在单遍印刷中，材料沉积区域的所述第一和第二集合具有不同的要沉积于所述区域中的材料的各自第一和第二目标厚度；提供要沉积于区域的所述第一和第二集合上的至少一种材料的溶液；和通过使用压电换能器将所述材料的溶液喷墨印刷于材料沉积区域的所述第一和第二集合上，其中，所述喷墨印刷包括：使用包含多个喷嘴的打印头沉积所述至少一种材料的溶液，所述多个喷嘴中的每一个包含孔，且每一个孔具有相等的直径，所述喷嘴的第一子集用于沉积到区域的所述第一集合上，所述喷嘴的第二子集用于沉积到区域的所述第二集合上；以及为了沉积材料的所述不同的各自第一和第二目标厚度，用第一驱动波形驱动喷嘴的所述第一子集并用不同的第二驱动波形驱动喷嘴的所述第二子集，并且针对喷嘴的各自所述第一和第二子集的各个个体喷嘴确定各自所述第一和第二驱动波形。2.如权利要求1所述的方法，包括：将同一种所述材料的溶液沉积到区域的所述第一和第二集合两者上。3.如权利要求2所述的方法，其中，所述材料包含用于所述器件的空穴注入层和/或中间层的材料。4.如权利要求1所述的方法，包括：提供要沉积到各自所述第一和第二集合上的材料的第一和第二材料的溶液，并且，其中所述沉积包括：从所述喷嘴的各自所述第一和第二子集沉积所述第一和第二材料的溶液。5.如权利要求1～4中的任一项所述的方法，其中，所述喷墨印刷包括：在条片中印刷，并且，所述沉积包括：在单个所述条片中沉积所述第一和第二目标厚度的材料。6.如权利要求1～4中的任一项所述的方法，其中，所述沉积包括：将来自喷嘴的所述第一和第二子集的喷嘴的所述溶液的相同数量的液滴沉积到各自所述第一和第二集合上。7.如权利要求6所述的方法，其中，液滴的所述数量是单个液滴。8.如权利要求6所述的方法，其中，所述沉积包含：从喷嘴的所述第一和第二子集的单个所述喷嘴将所述溶液的单个液滴沉积到每一印刷位置上。...

【专利技术属性】
技术研发人员：J·爱萨克，E·伯顿，
申请(专利权)人：剑桥显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：英国,GB