【技术实现步骤摘要】
一种基于多模亚波长光栅的偏振不敏感定向耦合器
本专利技术涉及一种基于多模亚波长光栅的偏振不敏感定向耦合器，属于集成光学
技术介绍
最近，绝缘体上硅材料系统因可作为集成光子回路制造平台而广受关注。绝缘体上硅是硅光子学最有前景的平台之一，由于其高折射率对比度和互补金属氧化物半导体兼容处理的特点，引起了人们的极大兴趣，非常有利于实现紧凑、高性价比和高产量的光子集成电路。最近，亚波长光栅依靠通过调节占空比和有效抑制衍射效应来灵活改变波导芯的有效折射率的特征，为亚波长波导交叉等新型光子器件的设计提供了更多的可能性。对于定向耦合器，亚波长光栅结构也可以是良好的候选者，因为可以自由地定制装置的结构双折射和波长依赖性。由于设计简单，定向耦合器在光子集成电路中应用广泛，但是近年来定向耦合器通常受到高插入损耗、窄带宽和低制造公差的影响。因此，设计出一种具有低插入损耗、低反射损耗、高消光比、带宽较大、制造容差较大且结构紧凑的定向耦合器就很有必要。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是：提供一种基于多模亚波长光栅的偏振不敏感定向耦合器，利用中路硅基亚波长光栅波导、亚波长光栅...
【技术保护点】
1.一种基于多模亚波长光栅的偏振不敏感定向耦合器，其特征在于，该定向耦合器由下至上依次为掩埋氧化层(15)、耦合器部件(17)和上包层(16)，上包层(16)覆盖掩埋氧化层(15)的上表面，耦合器部件(17)水平生长于掩埋氧化层(15)的上表面，并被上包层(16)覆盖；所述耦合器部件(17)包括下路输入通道(1)、下路左直角梯形通道(2)、下路窄直通通道(3)、下路右直角梯形通道(4)、下路直通通道(5)、上路直通通道(6)、上路左直角梯形通道(7)、上路窄直通通道(8)、上路右直角梯形通道(9)、上路输出通道(10)、亚波长光栅结构(11)、输入端锥形亚波长光栅结构(12...
【技术特征摘要】
1.一种基于多模亚波长光栅的偏振不敏感定向耦合器，其特征在于，该定向耦合器由下至上依次为掩埋氧化层(15)、耦合器部件(17)和上包层(16)，上包层(16)覆盖掩埋氧化层(15)的上表面，耦合器部件(17)水平生长于掩埋氧化层(15)的上表面，并被上包层(16)覆盖；所述耦合器部件(17)包括下路输入通道(1)、下路左直角梯形通道(2)、下路窄直通通道(3)、下路右直角梯形通道(4)、下路直通通道(5)、上路直通通道(6)、上路左直角梯形通道(7)、上路窄直通通道(8)、上路右直角梯形通道(9)、上路输出通道(10)、亚波长光栅结构(11)、输入端锥形亚波长光栅结构(12)、输出端锥形亚波长光栅结构(13)；下路输入通道(1)的一端和下路左直角梯形通道(2)宽的一端相连、下路左直角梯形通道(2)窄的一端和下路窄直通通道(3)的一端相连、下路窄直通通道(3)的另一端和下路右直角梯形通道(4)窄的一端相连、下路右直角梯形通道(4)宽的一端和下路直通通道(5)的一端相连，构成下路通道；上路直通通道(6)的一端和上路左直角梯形通道(7)宽的一端相连、上路左直角梯形通道(7)窄的一端和上路窄直通通道(8)的一端相连、上路窄直通通道(8)的另一端和上路右直角梯形通道(9)窄的一端相连、上路右直角梯形通道(9)宽的一端和上路输出通道(10)的一端相连，构成上路通道；其中，上路输出通道(10)和下路直通通道(5)位于同一端；下路输入通道(1)和上路直通通道(6)位于同一端；输入端锥形亚波长光栅结构(12)和输出端锥形亚波长光栅结构(13)对称分列于亚波长光栅结构(11)的左右侧且与其对齐相连，上路左直角梯形通道(7)和下路左直角梯形通道(2)...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。