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一种基于多模亚波长光栅的偏振不敏感定向耦合器制造技术
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下载一种基于多模亚波长光栅的偏振不敏感定向耦合器的技术资料
文档序号:20220924
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本发明公开了一种基于多模亚波长光栅的偏振不敏感定向耦合器,该耦合器由下至上依次为掩埋氧化层、耦合器部件和上包层,上包层覆盖掩埋氧化层的上表面,耦合器部件水平生长于掩埋氧化层的上表面,并被上包层覆盖;其中,所述耦合器部件包括下路输入通道、下路...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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