一种非球面微小透镜及其阵列的制作方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术提出一种非球面微小透镜及其阵列的制作方法和装置，利用设置在台架(8)的一个开口向上的桶(1)和活塞(2)以及桶底部设置的具有不同分布的微小圆孔的可换的平面基底片(4)，将不同体积的光刻胶(3)液滴挤出垂悬在平面基底片(4)的下平面的具有亲水性能的基底平面(5)上，液滴在基底平面(5)上铺展的同时，利用体积力的向下拉伸作用，来获得稳态的、非球面系数K

【技术实现步骤摘要】
一种非球面微小透镜及其阵列的制作方法和装置
本专利技术属于光学及微光学器件制造
，具体涉及一种非球面微小透镜及其阵列的制作方法和装置。
技术介绍
微小透镜及其阵列在光学和微小光学系统中有着重要作用，非球面微透镜能够有效地减小像差和光能损失，提高成像质量，可以有效地简化光学系统的结构，受到了现代光学领域的关注。对于折射型的、旋转对称的透镜面形来说，通常可利用二次曲面的非球面系数K来表征，即有：K＝0时为球面面形，K>0时为扁平椭圆面形，-1<K<0是为凸椭圆面形，K＝-1是为抛物线面形，K<-1时为双曲线面形，非球面系数越小越有利于减小光学系统的球差，当K＝-1*n2(n为制作透镜材料的折射率系数)时可认为是无球差的理想面形。其中，通常大致认为，单个透镜的口径在百微米及以下尺度时称之为“微透镜”，其口径为数百微米至几毫米的透镜可称之为“微小透镜”，透镜口径在5mm-10mm左右可描述为“小透镜”。透镜口径越大像差特别是球差的影响也越大，因此，对于较大尺度的透镜越希望能获得K<0的面形，甚至是K＝-n2的双曲面面本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种非球面微小透镜及其阵列的制作装置，其特征是：包括一个设置在一个台架(8)上的开口向上的桶(1)及活塞(2)，桶(1)底部为可换平面基底片(4)，光刻胶(3)被活塞(2)挤压穿过平面基底片(4)上具有不同分布和不同直径的圆形孔，平面基底片(4)下表面为具有亲水性能的基底平面(5)，使得挤出的光刻胶在其表面铺展获得非球面系数K

【技术特征摘要】
1.一种非球面微小透镜及其阵列的制作装置，其特征是：包括一个设置在一个台架(8)上的开口向上的桶(1)及活塞(2)，桶(1)底部为可换平面基底片(4)，光刻胶(3)被活塞(2)挤压穿过平面基底片(4)上具有不同分布和不同直径的圆形孔，平面基底片(4)下表面为具有亲水性能的基底平面(5)，使得挤出的光刻胶在其表面铺展获得非球面系数K<0的不同面形的非球面的垂悬液滴(6)，桶下方设置有紫外光源(7)用来固化垂悬液滴(6)以制作非球面微小透镜及其阵列。2.一种非球面微小透镜及其阵列的制作方法，其特征是：该方法包括如下步骤：第一步，设置在台架(8)上的开口向上的桶(1)中安装和固定具有圆形孔的平面基底片(4)，并灌入紫外光感光固化的光刻胶(3)；第二步，活塞(2)向下运动将光刻胶(3)从平面基底片(4)的圆孔中挤出并在具有亲水性能的基底平面(5)上形成垂悬液滴(6)；第三步，用紫外光对所得稳态面形的垂悬液滴(6)进行曝光固化；第四步，取出平面基底片(4)得到由光刻胶制成的非球面透镜或透镜阵列；第五步，以所得非球面透镜或透镜阵列为母型，利用PDMS的软模工艺或微电铸的硬模工艺进行二次翻模来制作非球面微小透镜及其...

【专利技术属性】
技术研发人员：王翔，简伟明，王松子，
申请(专利权)人：中国科学技术大学，
类型：发明
国别省市：安徽,34