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一种非球面微小透镜及其阵列的制作方法和装置制造方法及图纸
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下载一种非球面微小透镜及其阵列的制作方法和装置的技术资料
文档序号:20220902
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本发明提出一种非球面微小透镜及其阵列的制作方法和装置,利用设置在台架(8)的一个开口向上的桶(1)和活塞(2)以及桶底部设置的具有不同分布的微小圆孔的可换的平面基底片(4),将不同体积的光刻胶(3)液滴挤出垂悬在平面基底片(4)的下平面的具...
该专利属于中国科学技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学技术大学授权不得商用。
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