一种真空进样装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种真空进样装置，其包括工作腔室、XY二维运动平台、过渡舱室和举靶机构四部分。该真空进样装置，采用了独立的Z方向电机进行举靶，不会增加XY电机的负载，大大降低了丝杠的磨损，也不会对平台产生任何绕动力矩，从而长久保证了平台水平方向的位置精度；通过双O圈密封或波纹管密封设计，以保证举靶支杆与工作腔室的真空隔离密封。不仅结构简单、装配维护容易，而且通过对电机的程控，非常方便调整靶托的水平高度，调整密封效果。

【技术实现步骤摘要】
一种真空进样装置
本专利技术涉及进样装置
，特别是涉及一种真空进样装置。
技术介绍
许多仪器(例如质谱仪、能谱仪和电子显微镜等等)仪器有一个共同点：样品的电离、激发和检测都必须是在高真空环境下(优于10E-4Pa)进行，以保证电极不被高压击穿和检测器不被烧毁。样品首先是在大气环境下准备好，再通过一套真空进样装置，它能完成大气压向高真空过渡，在不破坏原有仪器工作区域的真空条件下，将装载着样品的样品靶板，通过运动平台送入到检测区域。进样装置通常采用过渡样品舱室的设计。过渡样品舱室需要完成大气压和高真空的切换。但是在已经公开的现有技术中，过渡样品舱室与仪器工作区域的密封通常采用较为复杂的机械机构，动力来源也是与平台电机共用。因此，不仅设计比较复杂，装配调试困难，而且可靠性差，使用寿命短。长时间使用后容易造成电机寿命下降和丝杠磨损，从而影响运动平台的移动精度。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种真空进样装置，以解决上述现有技术存在的问题，该装置不仅能够能完成大气压向高真空过渡，在不破坏原有仪器工作区域的真空条件下更换样品；而且设计简单可靠，装配维护方便。为实现上述目的，本专利技术提供本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空进样装置，其特征在于：包括工作腔室、XY二维运动平台、过渡舱室和举靶机构，所述工作腔室的腔室盖板上分别开设有与真空设备连接的工作腔室开口、与检测设备连接的检测区开口和用于样品更换出入口的进样口；所述工作腔室内包括有所述过渡舱室，且所述进样口处设置有过渡舱室盖板；设置于所述工作腔室内的所述XY二维运动平台包括X方向平台和Y方向平台，所述Y方向平台安装在位于所述工作腔室内底部的Y轴驱动机构上，所述X方向平台通过X轴驱动机构安装在所述Y方向平台的顶部；所述举靶机构包括靶托和Z轴驱动机构，所述X方向平台上设置有若干个支撑螺柱，装有样品靶板的所述靶托放置在若干个所述支撑螺柱上，与所述靶托相配...

【技术特征摘要】
1.一种真空进样装置，其特征在于：包括工作腔室、XY二维运动平台、过渡舱室和举靶机构，所述工作腔室的腔室盖板上分别开设有与真空设备连接的工作腔室开口、与检测设备连接的检测区开口和用于样品更换出入口的进样口；所述工作腔室内包括有所述过渡舱室，且所述进样口处设置有过渡舱室盖板；设置于所述工作腔室内的所述XY二维运动平台包括X方向平台和Y方向平台，所述Y方向平台安装在位于所述工作腔室内底部的Y轴驱动机构上，所述X方向平台通过X轴驱动机构安装在所述Y方向平台的顶部；所述举靶机构包括靶托和Z轴驱动机构，所述X方向平台上设置有若干个支撑螺柱，装有样品靶板的所述靶托放置在若干个所述支撑螺柱上，与所述靶托相配合的所述Y轴驱动机构竖直穿设在所述工作腔室内。2.根据权利要求1所述的真空进样装置，其特征在于：所述Y轴驱动机构包括Y轴电机、两条Y方向导轨和Y方向丝杠，两侧分别通过滑块滑动设置在两条所述Y方向导轨上的所述Y方向平台的底端通过Y轴丝杠螺母与所述Y方向丝杠连接，所述Y轴电机用于驱动所述Y方向丝杠运动。3.根据权利要求2所述的真空进样装置，其特征在于：所述X轴驱动机构包括X轴电机、两条X方向导轨和X方向丝杠，所述X方向平台和Y方向平台的正中开有凹槽缺口，所述Y方向平台为L型，两条所述X方向导轨分别安装在L型的所述Y方向平台的竖直顶部并位...

【专利技术属性】
技术研发人员：何坚，
申请(专利权)人：厦门元谱生物科技有限公司，
类型：发明
国别省市：福建,35