便携式超高真空样品转移装置制造方法及图纸

一种便携式超高真空样品转移装置，包括进样腔体以及与所述进样腔体固定连接、用于维持真空的真空泵，所述进样腔体的内腔借助所述真空泵组的运作保持超高真空环境，所述进样腔体上还固定连接有用于进行样品传递的磁力杆，所述进样腔体内腔中的实验样品在所述磁力杆的作用下完成移动。本实用新型专利技术通过选用复合了吸气泵的离子泵、结合装置自身的密封结构，保证了装置整体的真空度，也降低了使用过程中灰尘油脂对装置密封性的影响，确保了装置的使用效果。同时，本实用新型专利技术通过真空视窗、便携提手、可提式电源系统等辅助结构的设置，为操作者的使用提供了便利，进一步提升了装置的实用性。

【技术实现步骤摘要】
便携式超高真空样品转移装置
本技术涉及一种样品件转移设备，尤其涉及一种在超高真空环境下科学实验中使用的便携式超高真空样品转移装置，属于真空科研设备领域。
技术介绍
超高真空设备系统是进行超高真空实验中不可或缺的重要硬件基础，其一般由真空泵、真空计、真空腔体及其它元件并借助于真空管道，按一定要求组合而成。以保证在一定的空间内获得并保持特定真空环境、确保某项工艺过程或物理过程在真空系统内实施，在半导体、机械加工、物理、化学、材料和生物科学等各个研究领域都有着广泛的应用。以超高真空表面科学实验为例，在这类实验中，实验样品常常需要使用不同的探测方式（如STM、XPS等等）进行表征探测，因此样品需要在各类不同的超高真空探测设备中进行传递、进样。此时若采取普通样品的传递方式，即直接将样品从超高真空腔体中取出，暴露在大气中，之后再经过新的探测设备的快速进样腔进入另一超高真空腔室內，那么虽然以这样的方式能够完成样品的传递，但由于样品传递的过程中与大气有所接触，不可避免地会接触到空气和粉尘，导致样品的表征参数发生改变，从而影响超高真空环境中的实验结果。为了避免对实验结果的影响，因此在实验之前，需要对样品进行多次抽真空处理，极大地延长了实验时间。为了避免多次抽真空处理，缩短工作时间、提高工作效率，就需要样品在传递的过程中全程保持真空状态。现有方法大多是直接将多台不同的探测设备进行真空互联，但是此方法成本极高，并且需要大量的工作人员对互联系统进行维护。目前，行业内也出现了相关的超高真空样品转移设备，但除了上述装置制造成本较高的问题外，在使用的过程中仍然存在着诸多问题，比如：设备整体的真空度难以得到保证，在长期使用后会由于灰尘油脂等污染，导致真空度下降；为了节约成本，设备选择常见的六通接头，但由于接头的内部尺寸与法兰接头的尺寸并不能完全匹配，从而导致样品在输送过程中容易发生卡顿，从而影响操作效率，严重的还会导致样品损坏。综上所述，如何提出一种在超高真空环境下科学实验中使用的超高真空样品转移装置，克服现有技术中存在的诸多缺陷，就成为本领域内技术人员所亟待解决的问题。
技术实现思路
鉴于现有技术存在上述缺陷，本技术的目的是提出一种在超高真空环境下科学实验中使用的便携式超高真空样品转移装置。一种便携式超高真空样品转移装置，包括进样腔体以及与所述进样腔体固定连接、用于维持真空的真空泵，所述进样腔体的内腔借助所述真空泵组的运作保持超高真空环境，所述进样腔体上还固定连接有用于进行样品传递的磁力杆，所述进样腔体内腔中的实验样品在所述磁力杆的作用下完成移动。优选地，所述进样腔体为一个五通腔体，所述进样腔体上开设有用于与装置内其他部件相连接的连接端口，所述连接端口的顶部外侧还固定设置有用于实现所述进样腔体与装置内其他部件间密封连接的密封法兰，所述连接端口的尺寸、规格均与所述密封法兰的尺寸、规格相匹配，所述连接端口的尺寸、规格均与所述进样腔体内腔的尺寸、规格相匹配。优选地，所述连接端口包括进样端口、真空端口、观察端口、抽气端口以及传递端口，所述真空端口与所述观察端口相对设置且二者共轴，所述抽气端口与所述传递端口相对设置且二者共轴。优选地，所述进样端口外侧设置有可开闭的进样阀门，所述密封法兰固定设置于所述进样端口与所述进样阀门之间。优选地，所述真空泵借助所述真空端口与所述进样腔体固定连接，所述真空泵为集成了离子泵及吸气泵的组合泵，所述真空泵还与泵机控制组件电性连接，所述泵机控制组件为手提式电源。优选地，所述观察端口开设于所述进样腔体的正上方位置，所述观察端口外侧固定设置有透明观察窗，所述密封法兰固定设置于所述观察端口与所述透明观察窗之间。优选地，所述抽气端口的外侧固定设置有用于使装置外接抽真空设备或表征设备的插板阀，所述插板阀的外侧顶端固定连接有抽气法兰组，所述插板阀设置于所述抽气端口与所述抽气法兰组之间。优选地，所述抽气法兰组包括抽气密封法兰及隔断阀门，所述抽气密封法兰固定设置于所述插板阀与所述隔断阀门之间，所述抽气密封法兰与所述插板阀之间存在一个压力平衡空间，所述压力平衡空间借助所述隔断阀门与外界环境相连通。优选地，进样腔体借助所述传递端口与所述磁力杆固定连接，所述磁力杆内部的尺寸、规格均与所述进样腔体内腔的尺寸、规格相匹配，所述磁力杆的传递长度为0~700mm。优选地，所述进样腔体上可拆卸地设置有便于使用者手持搬运的便携提手。与现有技术相比，本技术的优点主要体现在以下几个方面：本技术通过选用复合了吸气泵的离子泵、结合装置自身的密封结构，保证了装置整体的真空度，也降低了使用过程中灰尘油脂对装置密封性的影响，确保了装置的使用效果。同时，本技术通过真空视窗、便携提手、可提式电源系统等辅助结构的设置，为操作者的使用提供了便利，进一步提升了装置的实用性。本技术中所使用的进样腔体的尺寸与各法兰接头的尺寸相匹配，确保了实验样品能够在装置内部顺畅运动，不仅提高了装置抽速、提升了操作效率，而且也避免了因样品活动不畅而导致的样品损坏、节约了测试成本。此外，本技术适配性强、设备兼容度高，还可以通过尺寸调节、改装等手段应用于同领域内的其他设备系统中，具有十分广阔的应用前景。综上所述，本技术提出的一种便携式超高真空样品转移装置，具有很高的使用及推广价值。以下便结合实施例附图，对本技术的具体实施方式作进一步的详述，以使本技术技术方案更易于理解、掌握。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术中进样腔体的结构示意图；其中：1、真空泵；2、进样腔体；3、磁力杆；4、透明观察窗；5、插板阀；6、进样阀门；7、便携提手；8、抽气法兰组；9、观察端口；10、传递端口；11、进样端口；12、真空端口；13、抽气端口。具体实施方式本技术的目的在于提供一种结构简单、成本低的便携式快速进样腔，完成被探测样品在真空条件下、不同超高真空探测设备之间的传递，节约处理样品的时间成本。如图1~图2所示，本技术揭示了一种在超高真空环境下科学实验中使用的便携式超高真空样品转移装置，装置包括进样腔体2以及与所述进样腔体2固定连接、用于维持真空的真空泵1，所述进样腔体2的内腔借助所述真空泵组的运作保持超高真空环境，所述进样腔体2上还固定连接有用于进行样品传递的磁力杆3，所述进样腔体2内腔中的实验样品在所述磁力杆3的作用下完成移动。与现有技术不同的是，所述进样腔体2作为本装置中的主体系统，不再是简单的六通设计，而是一个非标准化的五通腔体，不仅提高了抽速而且增加了美观性。具体而言，所述进样腔体2上开设有用于与装置内其他部件相连接的连接端口，所述连接端口的顶部外侧还固定设置有用于实现所述进样腔体2与装置内其他部件间密封连接的密封法兰，所述连接端口的尺寸、规格均与所述密封法兰的尺寸、规格相匹配，所述连接端口的尺寸、规格均与所述进样腔体2内腔的尺寸、规格相匹配。在本实施例中，所述密封法兰均选用刀口法兰，使整个装置的漏率尽量降低。所述连接端口包括进样端口11、真空端口12、观察端口9、抽气端口13以及传递端口10，所述真空端口12与所述观察端口9相对设置且二者共轴，所述抽气端口13与所述传递端口10相对设置且二者共轴。所述进样端口11外侧设置有可本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种便携式超高真空样品转移装置，其特征在于：包括进样腔体（2）以及与所述进样腔体（2）固定连接、用于维持真空的真空泵（1），所述进样腔体（2）的内腔借助所述真空泵组的运作保持超高真空环境，所述进样腔体（2）上还固定连接有用于进行样品传递的磁力杆（3），所述进样腔体（2）内腔中的实验样品在所述磁力杆（3）的作用下完成移动。

【技术特征摘要】
1.一种便携式超高真空样品转移装置，其特征在于：包括进样腔体（2）以及与所述进样腔体（2）固定连接、用于维持真空的真空泵（1），所述进样腔体（2）的内腔借助所述真空泵组的运作保持超高真空环境，所述进样腔体（2）上还固定连接有用于进行样品传递的磁力杆（3），所述进样腔体（2）内腔中的实验样品在所述磁力杆（3）的作用下完成移动。2.根据权利要求1所述的便携式超高真空样品转移装置，其特征在于：所述进样腔体（2）为一个五通腔体，所述进样腔体（2）上开设有用于与装置内其他部件相连接的连接端口，所述连接端口的顶部外侧还固定设置有用于实现所述进样腔体（2）与装置内其他部件间密封连接的密封法兰，所述连接端口的尺寸、规格均与所述密封法兰的尺寸、规格相匹配，所述连接端口的尺寸、规格均与所述进样腔体（2）内腔的尺寸、规格相匹配。3.根据权利要求2所述的便携式超高真空样品转移装置，其特征在于：所述连接端口包括进样端口（11）、真空端口（12）、观察端口（9）、抽气端口（13）以及传递端口（10），所述真空端口（12）与所述观察端口（9）相对设置且二者共轴，所述抽气端口（13）与所述传递端口（10）相对设置且二者共轴。4.根据权利要求3所述的便携式超高真空样品转移装置，其特征在于：所述进样端口（11）外侧设置有可开闭的进样阀门（6），所述密封法兰固定设置于所述进样端口（11）与所述进样阀门（6）之间。5.根据权利要求3所述的便携式超高真空样品转移装置，其特征在于：所述真空泵（1）借助所述真空端口（12）与所述进样腔体（2...

【专利技术属性】
技术研发人员：张冬，马志博，杨冰，
申请(专利权)人：苏州华杨赛斯真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32