便携式超高真空样品转移装置制造方法及图纸

一种便携式超高真空样品转移装置，包括进样腔体以及与所述进样腔体固定连接、用于维持真空的真空泵，所述进样腔体的内腔借助所述真空泵组的运作保持超高真空环境，所述进样腔体上还固定连接有用于进行样品传递的磁力杆，所述进样腔体内腔中的实验样品在所述磁力杆的作用下完成移动。本实用新型专利技术通过选用复合了吸气泵的离子泵、结合装置自身的密封结构，保证了装置整体的真空度，也降低了使用过程中灰尘油脂对装置密封性的影响，确保了装置的使用效果。同时，本实用新型专利技术通过真空视窗、便携提手、可提式电源系统等辅助结构的设置，为操作者的使用提供了便利，进一步提升了装置的实用性。

【技术实现步骤摘要】
便携式超高真空样品转移装置
本技术涉及一种样品件转移设备，尤其涉及一种在超高真空环境下科学实验中使用的便携式超高真空样品转移装置，属于真空科研设备领域。
技术介绍
超高真空设备系统是进行超高真空实验中不可或缺的重要硬件基础，其一般由真空泵、真空计、真空腔体及其它元件并借助于真空管道，按一定要求组合而成。以保证在一定的空间内获得并保持特定真空环境、确保某项工艺过程或物理过程在真空系统内实施，在半导体、机械加工、物理、化学、材料和生物科学等各个研究领域都有着广泛的应用。以超高真空表面科学实验为例，在这类实验中，实验样品常常需要使用不同的探测方式（如STM、XPS等等）进行表征探测，因此样品需要在各类不同的超高真空探测设备中进行传递、进样。此时若采取普通样品的传递方式，即直接将样品从超高真空腔体中取出，暴露在大气中，之后再经过新的探测设备的快速进样腔进入另一超高真空腔室內，那么虽然以这样的方式能够完成样品的传递，但由于样品传递的过程中与大气有所接触，不可避免地会接触到空气和粉尘，导致样品的表征参数发生改变，从而影响超高真空环境中的实验结果。为了避免对实验结果的影响，因此在实验之前，需要对样本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种便携式超高真空样品转移装置，其特征在于：包括进样腔体（2）以及与所述进样腔体（2）固定连接、用于维持真空的真空泵（1），所述进样腔体（2）的内腔借助所述真空泵组的运作保持超高真空环境，所述进样腔体（2）上还固定连接有用于进行样品传递的磁力杆（3），所述进样腔体（2）内腔中的实验样品在所述磁力杆（3）的作用下完成移动。

【技术特征摘要】
1.一种便携式超高真空样品转移装置，其特征在于：包括进样腔体（2）以及与所述进样腔体（2）固定连接、用于维持真空的真空泵（1），所述进样腔体（2）的内腔借助所述真空泵组的运作保持超高真空环境，所述进样腔体（2）上还固定连接有用于进行样品传递的磁力杆（3），所述进样腔体（2）内腔中的实验样品在所述磁力杆（3）的作用下完成移动。2.根据权利要求1所述的便携式超高真空样品转移装置，其特征在于：所述进样腔体（2）为一个五通腔体，所述进样腔体（2）上开设有用于与装置内其他部件相连接的连接端口，所述连接端口的顶部外侧还固定设置有用于实现所述进样腔体（2）与装置内其他部件间密封连接的密封法兰，所述连接端口的尺寸、规格均与所述密封法兰的尺寸、规格相匹配，所述连接端口的尺寸、规格均与所述进样腔体（2）内腔的尺寸、规格相匹配。3.根据权利要求2所述的便携式超高真空样品转移装置，其特征在于：所述连接端口包括进样端口（11）、真空端口（12）、观察端口（9）、抽气端口（13）以及传递端口（10），所述真空端口（12）与所述观察端口（9）相对设置且二者共轴，所述抽气端口（13）与所述传递端口（10）相对设置且二者共轴。4.根据权利要求3所述的便携式超高真空样品转移装置，其特征在于：所述进样端口（11）外侧设置有可开闭的进样阀门（6），所述密封法兰固定设置于所述进样端口（11）与所述进样阀门（6）之间。5.根据权利要求3所述的便携式超高真空样品转移装置，其特征在于：所述真空泵（1）借助所述真空端口（12）与所述进样腔体（2...

【专利技术属性】
技术研发人员：张冬，马志博，杨冰，
申请(专利权)人：苏州华杨赛斯真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32