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本发明公开一种真空进样装置，其包括工作腔室、XY二维运动平台、过渡舱室和举靶机构四部分。该真空进样装置，采用了独立的Z方向电机进行举靶，不会增加XY电机的负载，大大降低了丝杠的磨损，也不会对平台产生任何绕动力矩，从而长久保证了平台水平方向的...
该专利属于厦门元谱生物科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过厦门元谱生物科技有限公司授权不得商用。

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