一种化学药剂残留药液回收装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种化学药剂残留药液回收装置，包括化学药剂1#桶、化学药剂2#桶、泵前进液阀、药桶回流口、药液出口、隔膜泵、止回阀、泵后出液阀、过滤器、11#桶回流阀、2#桶回流阀、1#桶回流隔断阀、2#桶回流隔断阀，所述化学药剂1#桶、化学药剂2#桶上端左部设置有药桶回流口，上端右部设置有药液出口，所述药桶回流口通过管路连接至过滤器上端，所述过滤器上端通过管路汇合至进液口，所述药桶回流口与过滤器上端之间的管路上依次设置有回流隔断阀和回流阀，所述药液出口通过管路连接至过滤器下端，所述药液出口与过滤器下端的管路上依次设置有泵前进液阀、隔膜泵、止回阀、泵后出液阀。

【技术实现步骤摘要】
一种化学药剂残留药液回收装置
本专利技术涉及化学品回收
，具体涉及一种化学药剂残留药液回收装置。
技术介绍
到目前为止，化学药剂的使用是半导体产业生产过程中不可或缺的一部分，用于满足产品生产中的工艺需求。其化学药剂桶在使用过程中，因化学药剂桶内部引液管本身设计因素，引液管底部采用切口设计，会造成化学药剂的残留，同时为满足生产过程中需求，也会造成化学药剂的残留。据有效统计，现使用化学药剂满桶为200L，不回收时药桶会残留6L以上药剂，药剂利用率不足97％。化学药剂残留液不但造成资源的浪费，同时对周边环境的质量亦会产生不利因素，不符合环境政策中节约能源、持续减废。
技术实现思路
本专利技术旨在提供了一种化学药剂残留药液回收装置。本专利技术提供如下技术方案：一种化学药剂残留药液回收装置，包括化学药剂1#桶、化学药剂2#桶、泵前进液阀、药桶回流口、药液出口、隔膜泵、止回阀、泵后出液阀、过滤器、1#桶回流阀、2#桶回流阀、1#桶回流隔断阀、2#桶回流隔断阀，所述化学药剂1#桶、化学药剂2#桶上端左部设置有药桶回流口，上端右部设置有药液出口，所述药桶回流口通过管路连接至过滤器上端，所述过滤器上本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种化学药剂残留药液回收装置，其特征在于，包括化学药剂1#桶、化学药剂2#桶、泵前进液阀、药桶回流口、药液出口、隔膜泵、止回阀、泵后出液阀、过滤器、1#桶回流阀、2#桶回流阀、1#桶回流隔断阀、2#桶回流隔断阀，所述化学药剂1#桶、化学药剂2#桶上端左部设置有药桶回流口，上端右部设置有药液出口，所述药桶回流口通过管路连接至过滤器上端，所述过滤器上端通过管路汇合至进液口，所述药桶回流口与过滤器上端之间的管路上依次设置有回流隔断阀和回流阀，所述药液出口通过管路连接至过滤器下端，所述药液出口与过滤器下端的管路上依次设置有泵前进液阀、隔膜泵、止回阀、泵后出液阀。

【技术特征摘要】
1.一种化学药剂残留药液回收装置，其特征在于，包括化学药剂1#桶、化学药剂2#桶、泵前进液阀、药桶回流口、药液出口、隔膜泵、止回阀、泵后出液阀、过滤器、1#桶回流阀、2#桶回流阀、1#桶回流隔断阀、2#桶回流隔断阀，所述化学药剂1#桶、化学药剂2#桶上端左部设置有药桶回流口，上端右部设置有药液出口，所述药桶回流口通过管路连接至过滤器上端，所述过滤器上端通过管路汇合至进液口，所述药桶回流口与过滤...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁华，
申请(专利权)人：合肥新汇成微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34