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一种化学药剂残留药液回收装置制造方法及图纸
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下载一种化学药剂残留药液回收装置的技术资料
文档序号:20211107
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本发明公开了一种化学药剂残留药液回收装置,包括化学药剂1#桶、化学药剂2#桶、泵前进液阀、药桶回流口、药液出口、隔膜泵、止回阀、泵后出液阀、过滤器、11#桶回流阀、2#桶回流阀、1#桶回流隔断阀、2#桶回流隔断阀,所述化学药剂1#桶、化学药...
该专利属于合肥新汇成微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥新汇成微电子有限公司授权不得商用。
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