【技术实现步骤摘要】
一种自反馈密封腔气体取样装置
本技术涉及一种气体取样装置，具体涉及一种自反馈密封腔气体取样装置，属于气体分析
技术介绍
密封产品内部气氛分析在电子、航空、通讯、医药、化学等领域具有广阔的应用需求。不仅可以对微电子、电子元器件、电真空器件内部水汽及其它气氛检测评价，还可以对火炸药与高分子老化释气进行原位分析研究，是器件与材料失效分析的重要手段之一，而且在陶瓷、金属材料排气工艺分析评价、各类封装工艺和质量控制、材料改进、产品筛选等方面都有应用前景。目前,密封产品内部残存气体的检测(通常称为“内部气氛分析”)采用内部气氛分析仪进行，其主要原理是从气密封器件内部取样后进行电离，然后采用四级质谱仪进行质量分离计数，最后给出各种气体的摩尔体积比,对于数据库中没有的气体，采用N2进行归零。在此过程中，取样和数据分析是保证内部残存气氛检测准确性的关键技术。取样技术直接关系到检测结果的准确度，取样的关键在于穿刺面的选取、穿刺力度和样品的有效固定。对于有平整外表面的气密封器件，将样品某个平整的外表面通过O型密封圈连接到内部气氛分析仪上，再将O型密封圈内部样品表面附近连同整个...
【技术保护点】
1.一种自反馈密封腔气体取样装置，其特征在于包括工作台，以及与工作台相连的上盖组件、样品载物台、密封穿刺组件、真空压力传感器，样品载物台通过上盖组件固定在工作台上，所述密封穿刺组件通过密封法兰盘与工作台连接，所述真空压力传感器通过密封法兰盘与工作台连接，上盖组件通过设置在上盖组件卡槽内的密封圈与工作台固定，并通过限位块固定在工作台上，在上盖组件的内腔中设置有样品载物台，样品载物台和上盖组件之间有相互连通的排气管路，在工作台两侧分别设置有两个真空截止阀，吹扫气接口连接第一真空截止阀，在取样接口也连接有第二真空截止阀。
【技术特征摘要】
1.一种自反馈密封腔气体取样装置，其特征在于包括工作台，以及与工作台相连的上盖组件、样品载物台、密封穿刺组件、真空压力传感器，样品载物台通过上盖组件固定在工作台上，所述密封穿刺组件通过密封法兰盘与工作台连接，所述真空压力传感器通过密封法兰盘与工作台连接，上盖组件通过设置在上盖组件卡槽内的密封圈与工作台固定，并通过限位块固定在工作台上，在上盖组件的内腔中设置有样品载物台，样品载物台和上盖组件之间有相互连通的排气管路，在工作台两侧分别设置有两个真空截止阀，吹扫气接口连接第一真空截止阀，在取样接口也连接有第二真空截止阀。2.根据权利要求1所述自反馈密封腔气体取样装置，其特征在于：所述的上盖组件通过设置在上盖组件卡槽及密封圈卡槽内的密封圈密封，所述的上盖组件设置有真空接口，真空接口上设置...
【专利技术属性】
技术研发人员：田先清，王新锋，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院化工材料研究所，
类型：新型
国别省市：四川,51
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。