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本实用新型公开了一种自反馈密封腔气体取样装置，包括工作台，样品载物台通过上盖组件固定在工作台上，密封穿刺组件通过密封法兰盘与工作台连接，真空压力传感器通过密封法兰盘与工作台连接，上盖组件通过设置在上盖组件卡槽内的密封圈与工作台固定，并通过限...
该专利属于中国工程物理研究院化工材料研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院化工材料研究所授权不得商用。

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