高精度可调式漏孔制造技术

技术编号:20194764 阅读:29 留言:0更新日期:2019-01-23 10:56
本实用新型专利技术属于卤素真空检漏设备领域,提出了高精度可调式漏孔,其包括:压力容器罐、高精度减压阀、测试头和高精度压力表,所述压力容器罐的一端具有充注口,另一端通过连接管与高精度减压阀的进气端连通,所述高精度减压阀的出气端与测试头连通,所述测试头开有测试口;所述高精度压力表与高精度减压阀、测试头之间的部位连通。本实用新型专利技术结构简单、使用方便,漏率精度达到0.1g/year,漏率稳定可靠,受温度的影响小;通过调节高精度减压阀的大小和石英玻璃毛细管的长度,可以调整漏率,达到精度可调的目的。

【技术实现步骤摘要】
高精度可调式漏孔
本技术涉及卤素真空检漏装置领域,特别涉及高精度可调式漏孔。
技术介绍
目前国内外使用的漏孔多采用是传统的渗透膜技术,与通道型漏孔相比起来真空响应速度慢,而且容易受温度的影响,需要在使用时对温度的变化进行修正,否则温度的变化会对产品的结果造成影响。标准漏孔的漏率是固定的,不能灵活应对各种不同情况。
技术实现思路
本技术提出一种高精度可调式漏孔,其使用方便,能灵活调整漏率以适应不同要求,漏率精度高且稳定。本技术的技术方案是这样实现的:高精度可调式漏孔,包括:压力容器罐、高精度减压阀、测试头和高精度压力表,所述压力容器罐的一端具有充注口,另一端通过连接管与高精度减压阀的进气端连通,所述高精度减压阀的出气端与测试头连通,所述测试头开有供冷媒流出的测试口;所述高精度压力表与高精度减压阀、测试头之间的部位连通。进一步地,所述测试头、高精度压力表分别通过石英玻璃毛细管与高精度减压阀连通。进一步地,所述高精度减压阀的出气端连接一个三通,所述石英玻璃毛细管分别与三通可拆卸连接,所述石英玻璃毛细管与高精度压力表、测试头均为可拆卸连接。进一步地,所述高精度压力表的量程为0.0~1.0kPa。进一步地,所述高精度减压阀的精度为±1%。进一步地,所述压力容器罐、连接管、高精度减压阀、三通、石英玻璃毛细管、高精度压力表、测试头之间的连接处缝隙填充AB胶。本技术结构简单使用方便,漏率精度达到0.1g/year,漏率稳定可靠,受温度的影响小;通过调节高精度减压阀的大小和石英玻璃毛细管的长度,可以调整漏率,达到精度可调的目的。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术某些实施方式提供的高精度可调式漏孔结构示意图。图中,1、充注口;2、压力容器罐;3、连接管;4、高精度减压阀;5、三通;6、石英玻璃毛细管;7、测试头;8、高精度压力表。具体实施方式以下基于实施例对本技术进行描述,但是本技术并不仅仅限于这些实施例。为了避免混淆本技术的实质,公知的方法、过程、流程、元件并没有详细叙述。此外,本领域普通技术人员应当理解,在此提供的附图都是为了说明的目的,并且附图不一定是按比例绘制的。除非上下文明确要求,否则整个说明书和权利要求书中的“包括”、“包含”等类似词语应当解释为包含的含义而不是排他或穷举的含义;也就是说,是“包括但不限于”的含义。在本技术的描述中,需要理解的是,术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外,在本技术的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。本申请提供了一种高精度可调式漏孔,如图1所示,包括:压力容器罐2、高精度减压阀4、测试头7和高精度压力表8,所述压力容器罐2的一端具有充注口1,另一端通过连接管3与高精度减压阀4的进气端连通,所述高精度减压阀4的出气端与测试头7连通,所述测试头7开有供冷媒流出的测试口;所述高精度压力表8与高精度减压阀4、测试头7之间的部位连通。具体地,连接管3的一端焊接在压力容器罐2上,另一端通过螺纹与高精度减压阀4相连。进一步地,所述测试头7、高精度压力表8分别通过石英玻璃毛细管6与高精度减压阀4连通。如此,能够将冷媒的流量控制在极小的范围内,配合高精度压力表8和高精度减压阀4,提高了漏率精度,并能够对冷媒的漏率进行精密调节,不受温度变化的影响。进一步地,所述高精度减压阀4的出气端连接一个三通5,可以是螺纹连接,所述石英玻璃毛细管6分别与三通5可拆卸连接,所述石英玻璃毛细管6与高精度压力表8、测试头7均为可拆卸连接。三通5能够将冷媒分成两路,高精度减压阀4的压力大小可以调节;石英玻璃毛细管6可以更换以调节长度,进而调节漏率。在一个具体的实施例中,还包括壳体,压力容器罐2、连接管3、高精度减压阀4、高精度压力表8和石英玻璃毛细管6均设置于壳体内部,并与壳体可拆卸连接。充注口1和测试口由壳体内部伸出。壳体能够打开,可以更换各部件。壳体可以是金属材质。进一步地,所述高精度压力表8的量程为0.0~1.0kPa。如此,可对流量极小的冷媒压力进行准确监测。进一步地,所述高精度减压阀4的精度为±1%。如此,可对冷媒的压力进行精密调节。进一步地,所述压力容器罐2、连接管3、高精度减压阀4、三通5、石英玻璃毛细管6、高精度压力表8、测试头7之间的连接处缝隙填充AB胶。本技术高精度可调式漏孔,将冷媒通过充注口1充入压力容器罐2中,然后通过连接管3进入高精度减压阀4进行调压,冷媒经过减压后由三通5分成两路,一路经由石英玻璃毛细管6通至高精度压力表8进行压力监测,另一路由石英玻璃毛细管6接到测试口,形成定量的泄漏源。在一定压力下,石英玻璃毛细管6的两端存在压力差,可向外进行气体泄漏。在实际使用时,将高纯度冷媒通过充注口1充入压力容器罐2中,待压力容器罐2中压力达到0.3Mpa时,关闭充注口1。压力容器罐2中的冷媒通过高精度减压阀4后由石英玻璃毛细管6分流流出。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已,并不用以限制本技术,凡在本技术的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.高精度可调式漏孔,其特征在于,包括:压力容器罐(2)、高精度减压阀(4)、测试头(7)和高精度压力表(8),所述压力容器罐(2)的一端具有充注口(1),另一端通过连接管(3)与高精度减压阀(4)的进气端连通,所述高精度减压阀(4)的出气端与测试头(7)连通,所述测试头(7)开有供冷媒流出的测试口;所述高精度压力表(8)与高精度减压阀(4)、测试头(7)之间的部位连通。

【技术特征摘要】
1.高精度可调式漏孔,其特征在于,包括:压力容器罐(2)、高精度减压阀(4)、测试头(7)和高精度压力表(8),所述压力容器罐(2)的一端具有充注口(1),另一端通过连接管(3)与高精度减压阀(4)的进气端连通,所述高精度减压阀(4)的出气端与测试头(7)连通,所述测试头(7)开有供冷媒流出的测试口;所述高精度压力表(8)与高精度减压阀(4)、测试头(7)之间的部位连通。2.根据权利要求1所述的高精度可调式漏孔,其特征在于,所述测试头(7)、高精度压力表(8)分别通过石英玻璃毛细管(6)与高精度减压阀(4)连通。3.根据权利要求2所述的高精度可调式漏孔,其特征在于,所...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘元成赵新军
申请(专利权)人:青岛泰斯迈仪器设备有限公司
类型:新型
国别省市:山东,37

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