一种真空取样常压检测的检漏装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种真空取样常压检测的检漏装置，属于密封性测试技术领域，其包括真空箱，特征在于：真空箱连通取样管，取样管连接取样机构，取样机构将从真空箱中取出的样气由真空状态转换为常压状态，取样机构为检测仪提供常压状态的检测样气。此检漏装置由于取样机构能将从真空箱中取出的样气由真空状态转换为常压状态，一方面使得真空箱只是在有限空间内快速提供更高浓度的样气，其真空度不再依附于检测仪的要求，扩宽真空箱的压力范围，增大检测精度等级；另一方面可以跳出现有的氦检漏模式，采用更为广泛的冷媒等检测媒介，配备性价比更高的常压检测仪。

A Leak Detection Device for Vacuum Sampling and Atmospheric Pressure Detection

The invention discloses a leak detection device for vacuum sampling atmospheric pressure detection, which belongs to the technical field of sealing test. It includes a vacuum chamber. The vacuum chamber connects the sampling tube, and the sampling tube connects the sampling mechanism. The sampling mechanism transforms the sampling gas extracted from the vacuum chamber from the vacuum state to the atmospheric state. The sampling mechanism provides the detection gas in the atmospheric state for the detector. Because the sampling mechanism can change the sample gas from vacuum to atmospheric pressure, on the one hand, the vacuum chamber can only provide high concentration sample gas quickly in limited space, and its vacuum degree is no longer dependent on the requirements of the detector, expanding the pressure range of the vacuum chamber and increasing the detection accuracy level; on the other hand, the helium leak detection mode can be jumped out. It uses a wider range of refrigerants and other detection media, equipped with atmospheric pressure detector with higher cost performance.

【技术实现步骤摘要】
一种真空取样常压检测的检漏装置
本专利技术属于密封性测试
，具体涉及一种真空取样常压检测的检漏装置。
技术介绍
目前，管道和腔室的气密性检测方法通常有两种：正压法和负压法。正压法是在管道或腔室内充注一定压力的检测介质，然后采用泵将管道或者腔室外部的气体送入检漏仪进行检测，以气体中是否含有检测介质来判定是否存在泄漏。此种检测方法一方面无法保证作业环境的纯净度，另一方面所用检漏仪的性能参差不齐，致使存有干扰问题，检测结果不够准确，故在高精度检测中均采用负压法。负压法多采用氦气作为检测介质，在管道或者腔室内充入一定量氦气后放入真空箱中，将真空箱内抽到检测仪要求的高真空状态后直接取样进行检测。中国专利技术专利申请201510053704.X通过在抽真空管道上安装第一截流阀和第二截流阀，使第一截流阀与第二截流阀之间的抽真空管道形成截流段，在真空密封室达到检测真空度时，通过关闭第一截流阀和第二截流阀，将真空密封室内的抽真空气体截流采集在截流段内，取走被检产品，对取样的抽真空气体进行检漏。此种检测方法需要真空箱内的压力等级与检测仪相符合，这样一方面大大缩小了真空箱的使用压力范围；另一方面由于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空取样常压检测的检漏装置，包括真空箱，其特征在于：真空箱连通取样管，取样管连接取样机构，取样机构将从真空箱中取出的样气由真空状态转换为常压状态，取样机构为检测仪提供常压状态的检测样气。

【技术特征摘要】
1.一种真空取样常压检测的检漏装置，包括真空箱，其特征在于：真空箱连通取样管，取样管连接取样机构，取样机构将从真空箱中取出的样气由真空状态转换为常压状态，取样机构为检测仪提供常压状态的检测样气。2.根据权利要求1所述的真空取样常压检测的检漏装置，其特征在于：所述取样机构包括能随气压自动调节容积的收纳体，收纳体连通取样管，取样管上设置第一真空泵。3.根据权利要求2所述的真空取样常压检测的检漏装置，其特征在于：所述收纳体还连通清洁气道和排空收纳体的排气道，清洁气道上设置第一开关阀，排气道上设置第二开关阀。4.根据权利要求3所述的真空取样常压检测的检漏装置，其特征在于：所述清洁气道和排气道通过切换阀共用抽气泵。5.根据权利要求1至4任一所述的真空取样常压检测的检漏装置，其特征在于：所述取样机构还包括控制器，收纳体上设置压力传感器，控制器根据压力传感器的压力信号控制第一开关阀、第二开关阀和切换阀的通断。6.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘元成，刘乃坤，赵新军，
申请(专利权)人：青岛泰斯迈仪器设备有限公司，
类型：发明
国别省市：山东,37