本实用新型专利技术公开了制备超净高纯氢氟酸的装置，属于氢氟酸生产设备技术领域，包括底座、制备组件、固定在底座上的第一倒U形框和第二倒U形框，第一倒U形框包括两竖直杆和与竖直杆相互连接的连接杆，竖直杆上活动套设有伸缩杆，伸缩杆的一端设有夹爪部，制备组件包括原料供给组件、通过伸缩杆固定的提纯组件以及设置在底座上的收集罐，原料供给组件均配套有计量用电子称，原料供给组件包括；本实用新型专利技术结合电子称实现较为精准的投料进一步提升提纯效果，而提纯组件均通过伸缩杆进行固定安装，利用伸缩杆与竖直杆之间的滑动配合使得提纯组件的安装位置方便调节，使得整体安装方便，结构紧凑便于维护。
【技术实现步骤摘要】
制备超净高纯氢氟酸的装置
本技术涉及氢氟酸生产设备
，更具体的，涉及制备超净高纯氢氟酸的装置。
技术介绍
电子工业中特别是微电子工业中需要不同种类的高纯物质，这些高纯物质也可以称为“电子化学品”，它主要用于制造半导体器件、印刷线路板以及封装等方面，包括硅片、砷化镓等基本半导体材料、高纯度化学试剂、光刻胶、高纯气体、封装材料等百多个品种，其中高纯化学试剂包括腐蚀剂、清洗剂等，根据其不同的用途有着不同的质量要求；氢氟酸就是高纯化学试剂中的一种，随着电子、信息、通讯行业的迅猛发展，对于氢氟酸试剂的纯度、杂质等的要求越来越高；现有技术中为制备满足要求的高纯度氢氟酸，往往经过多次的循环蒸馏来使得氢氟酸纯度更高，但是其制备效果仍有不足，另外其制备装置往往也需要用到很多的反应器皿来达到制备高纯度氢氟酸目的，这也提高了制备装置整体的复杂性，而且反应器皿之间往往都是固定放置的，难以进行调节，对于生产维护来说较为不方便。
技术实现思路
为了克服现有技术的缺陷，本技术所要解决的技术问题在于提出制备超净高纯氢氟酸的装置，通过添加高锰酸钾来氧化砷杂质从而使得制备的氢氟酸纯度更高，而且结合电子称实现较为精准的投料进一步提升提纯效果，另外本技术的提纯组件均通过伸缩杆进行固定安装，利用伸缩杆与竖直杆之间的滑动配合使得提纯组件的安装位置方便调节，使得整体安装方便，结构紧凑便于维护。为达此目的，本技术采用以下技术方案：包括底座、固定设置在所述底座上的安装框架和固定在所述安装框架上的制备组件，所述安装框架包括第一倒U形框和与所述第一倒U形框呈交叉垂直分布且相互固定连接的第二倒U形框，所述第一倒U形框以及所述第二倒U形框的两端部均与底座固定连接，所述第一倒U形框与所述第二倒U形框之间形成方形容纳空间，所述方形容纳空间内设有支撑板，所述第一倒U形框与所述第二倒U形框上分别设有用于支撑所述支撑板的支撑块；所述第一倒U形框包括两竖直杆和连接杆，两所述竖直杆与所述连接杆之间相互固定连接形成所述第一倒U形框，所述竖直杆上套设有若干伸缩杆，所述伸缩杆位于所述支撑板下方，所述伸缩杆包括第一轴段和与所述第一轴段伸缩配合的第二轴段，所述第一轴段一端上设有套接部，所述伸缩杆通过所述套接部套设在所述竖直杆上，所述竖直杆上设有若干呈竖直等距分布的通孔，所述套接部上设有与所述通孔对应的定位孔，所述套接部通过螺栓固定在所述竖直杆上，所述第一轴段的另一端面上设有供所述第二轴段一端插入的容置腔，所述第一轴段和第二轴段上均设有若干相互对应的插销孔，所述第一轴段和所述第二轴段通过插销固定连接，所述第二轴段另一端上固定设有用于夹持的夹爪部；所述制备组件包括设置在所述支撑板上的原料供给组件、固定在所述伸缩杆上的提纯组件和设置在所述底座上的收集罐，所述原料供给组件包括液态氟化氢原料罐、高锰酸钾供料罐、高纯水储存罐、用于计量所述液态氟化氢原料罐的第一电子称、用于计量所述高锰酸钾供料罐的第二电子称和用于计量所述高纯水储存罐的第三电子称；所述提纯组件包括预热罐、蒸馏罐、冷凝器、吸收罐、粗产品贮存罐和微滤器，所述预热罐外侧壁上套设有第一控温夹套，所述蒸馏罐外侧壁上套设有第二控温夹套，所述预热罐位于所述蒸馏罐上方，所述冷凝器位于所述预热罐斜下方且位于所述吸收罐上方，所述吸收罐位于所述粗产品贮存罐上方，所述粗产品贮存罐位于所述微滤器斜上方，所述微滤器位于所述收集罐斜上方，所述液态氟化氢原料罐外侧壁下端通过连接管与所述预热罐顶部连通，所述预热罐外侧壁下端通过所述连接管与所述蒸馏罐外侧壁上端连通，所述蒸馏罐顶部通过所述连接管以及所述冷凝器与所述吸收罐外侧壁上端连通，所述吸收罐外侧壁上端通过连接管与所述粗产品贮存罐连通，所述粗产品贮存罐外侧壁下端通过所述连接管以及所述微滤器与所述收集罐连通，所述高锰酸钾供料罐外侧壁下端通过连接管与所述蒸馏罐顶部连通，所述高纯水储存罐外侧壁下端通过连接管与所述吸收罐顶部连通，所述蒸馏罐底部设有排渣管。可选地，还包括控制器，所述液态氟化氢原料罐输出端、所述高锰酸钾供料罐输出端以及所述高纯水储存罐输出端上分别设有第一控制阀、第二控制阀以及第三控制阀，所述排渣管上设有第四控制阀，所述第一电子称、所述第二电子称、所述第三电子称、所述第一控温夹套、所述第二控温夹套、所述第一控制阀、所述第二控制阀、所述第三控制阀以及所述第四控制阀均与所述控制器电连接。可选地，所述微滤器的微滤膜孔径为0.08μm～0.14μm。可选地，所述夹爪部与所述提纯组件贴合的夹持面上固定设有防滑胶条。可选地，所述底座的底部设有若干滚轮。本技术的有益效果为：本技术通过添加高锰酸钾来氧化砷杂质从而使得制备的氢氟酸纯度更高，而且结合电子称实现较为精准的投料进一步提升提纯效果，另外本技术的提纯组件均通过伸缩杆进行固定安装，利用伸缩杆与竖直杆之间的滑动配合使得提纯组件的安装位置方便调节，使得整体安装方便，结构紧凑便于维护，而且通过伸缩杆也便于实现制备组件之间的竖直分布，从而实现原料与中间产物之间能够依靠重力实现自上而下的流动，从而避免泵的使用，节约能耗，减低成本。附图说明图1是本技术具体实施方式提供的制备超净高纯氢氟酸的装置结构示意图。图2是本技术具体实施方式提供的制备超净高纯氢氟酸的装置去掉制备组件后的俯视图。图中：1、底座；11、滚轮；21、第一倒U形框；211、竖直杆；212、连接杆；2111、通孔；22、第二倒U形框；3、伸缩杆；31、第一轴段；32、第二轴段；310、定位孔；311、套接部；321、夹爪部；41、支撑板；42、支撑块；101、液态氟化氢原料罐；102、高锰酸钾供料罐；103、高纯水储存罐；104、第一电子称；105、第二电子称；106、第三电子称；201、预热罐；2011、第一控温夹套；202、蒸馏罐；2021、第二控温夹套；203、冷凝器；204、吸收罐；205、粗产品贮存罐；206、微滤器；207、收集罐；100、连接管；200、排渣管。具体实施方式下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。图1示例性地示出了本技术提供的制备超净高纯氢氟酸的装置，如图1所示，包括底座1、固定设置在底座1上的安装框架和固定在安装框架上的制备组件，安装框架包括第一倒U形框21和与第一倒U形框21呈交叉垂直分布且相互固定连接的第二倒U形框22，第一倒U形框21以及第二倒U形框22的两端部均与底座1固定连接，第一倒U形框21与第二倒U形框22之间形成方形容纳空间，方形容纳空间内设有支撑板41，第一倒U形框21与第二倒U形框22上分别设有用于支撑支撑板41的支撑块42；具体来说，第一倒U形框21与第二倒U形框22呈交叉垂直分布，相互之间形成支撑，使得安装框架结构稳定。第一倒U形框21包括两竖直杆211和连接杆212，两竖直杆211与连接杆212之间相互固定连接形成第一倒U形框21，竖直杆211上套设有若干伸缩杆3，伸缩杆3位于支撑板41下方，伸缩杆3包括第一轴段31和与第一轴段31伸缩配合的第二轴段32，第一轴段31一端上设有套接部311，伸缩杆3通过套接部311套设在竖直杆211上，竖直杆211上设有若干呈竖直等距分布的通孔2111本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.制备超净高纯氢氟酸的装置，其特征在于：包括底座(1)、固定设置在所述底座(1)上的安装框架和固定在所述安装框架上的制备组件，所述安装框架包括第一倒U形框(21)和与所述第一倒U形框(21)呈交叉垂直分布且相互固定连接的第二倒U形框(22)，所述第一倒U形框(21)以及所述第二倒U形框(22)的两端部均与底座(1)固定连接，所述第一倒U形框(21)与所述第二倒U形框(22)之间形成方形容纳空间，所述方形容纳空间内设有支撑板(41)，所述第一倒U形框(21)与所述第二倒U形框(22)上分别设有用于支撑所述支撑板(41)的支撑块(42)；所述第一倒U形框(21)包括两竖直杆(211)和连接杆(212)，两所述竖直杆(211)与所述连接杆(212)之间相互固定连接形成所述第一倒U形框(21)，所述竖直杆(211)上套设有若干伸缩杆(3)，所述伸缩杆(3)位于所述支撑板(41)下方，所述伸缩杆(3)包括第一轴段(31)和与所述第一轴段(31)伸缩配合的第二轴段(32)，所述第一轴段(31)一端上设有套接部(311)，所述伸缩杆(3)通过所述套接部(311)套设在所述竖直杆(211)上，所述竖直杆(211)上设有若干呈竖直等距分布的通孔(2111)，所述套接部(311)上设有与所述通孔(2111)对应的定位孔(310)，所述套接部(311)通过螺栓固定在所述竖直杆(211)上，所述第一轴段(31)的另一端面上设有供所述第二轴段(32)一端插入的容置腔，所述第一轴段(31)和第二轴段(32)上均设有若干相互对应的插销孔，所述第一轴段(31)和所述第二轴段(32)通过插销固定连接，所述第二轴段(32)另一端上固定设有用于夹持的夹爪部(321)；所述制备组件包括设置在所述支撑板(41)上的原料供给组件、固定在所述伸缩杆(3)上的提纯组件和设置在所述底座(1)上的收集罐(207)，所述原料供给组件包括液态氟化氢原料罐(101)、高锰酸钾供料罐(102)、高纯水储存罐(103)、用于计量所述液态氟化氢原料罐(101)的第一电子称(104)、用于计量所述高锰酸钾供料罐(102)的第二电子称(105)和用于计量所述高纯水储存罐(103)的第三电子称(106)；所述提纯组件包括预热罐(201)、蒸馏罐(202)、冷凝器(203)、吸收罐(204)、粗产品贮存罐(205)和微滤器(206)，所述预热罐(201)外侧壁上套设有第一控温夹套(2011)，所述蒸馏罐(202)外侧壁上套设有第二控温夹套(2021)，所述预热罐(201)位于所述蒸馏罐(202)上方，所述冷凝器(203)位于所述预热罐(201)斜下方且位于所述吸收罐(204)上方，所述吸收罐(204)位于所述粗产品贮存罐(205)上方，所述粗产品贮存罐(205)位于所述微滤器(206)斜上方，所述微滤器(206)位于所述收集罐(207)斜上方，所述液态氟化氢原料罐(101)外侧壁下端通过连接管(100)与所述预热罐(201)顶部连通，所述预热罐(201)外侧壁下端通过所述连接管(100)与所述蒸馏罐(202)外侧壁上端连通，所述蒸馏罐(202)顶部通过所述连接管(100)以及所述冷凝器(203)与所述吸收罐(204)外侧壁上端连通，所述吸收罐(204)外侧壁上端通过连接管(100)与所述粗产品贮存罐(205)连通，所述粗产品贮存罐(205)外侧壁下端通过所述连接管(100)以及所述微滤器(206)与所述收集罐(207)连通，所述高锰酸钾供料罐(102)外侧壁下端通过连接管(100)与所述蒸馏罐(202)顶部连通，所述高纯水储存罐(103)外侧壁下端通过连接管(100)与所述吸收罐(204)顶部连通，所述蒸馏罐(202)底部设有排渣管(200)。...
【技术特征摘要】
1.制备超净高纯氢氟酸的装置，其特征在于：包括底座(1)、固定设置在所述底座(1)上的安装框架和固定在所述安装框架上的制备组件，所述安装框架包括第一倒U形框(21)和与所述第一倒U形框(21)呈交叉垂直分布且相互固定连接的第二倒U形框(22)，所述第一倒U形框(21)以及所述第二倒U形框(22)的两端部均与底座(1)固定连接，所述第一倒U形框(21)与所述第二倒U形框(22)之间形成方形容纳空间，所述方形容纳空间内设有支撑板(41)，所述第一倒U形框(21)与所述第二倒U形框(22)上分别设有用于支撑所述支撑板(41)的支撑块(42)；所述第一倒U形框(21)包括两竖直杆(211)和连接杆(212)，两所述竖直杆(211)与所述连接杆(212)之间相互固定连接形成所述第一倒U形框(21)，所述竖直杆(211)上套设有若干伸缩杆(3)，所述伸缩杆(3)位于所述支撑板(41)下方，所述伸缩杆(3)包括第一轴段(31)和与所述第一轴段(31)伸缩配合的第二轴段(32)，所述第一轴段(31)一端上设有套接部(311)，所述伸缩杆(3)通过所述套接部(311)套设在所述竖直杆(211)上，所述竖直杆(211)上设有若干呈竖直等距分布的通孔(2111)，所述套接部(311)上设有与所述通孔(2111)对应的定位孔(310)，所述套接部(311)通过螺栓固定在所述竖直杆(211)上，所述第一轴段(31)的另一端面上设有供所述第二轴段(32)一端插入的容置腔，所述第一轴段(31)和第二轴段(32)上均设有若干相互对应的插销孔，所述第一轴段(31)和所述第二轴段(32)通过插销固定连接，所述第二轴段(32)另一端上固定设有用于夹持的夹爪部(321)；所述制备组件包括设置在所述支撑板(41)上的原料供给组件、固定在所述伸缩杆(3)上的提纯组件和设置在所述底座(1)上的收集罐(207)，所述原料供给组件包括液态氟化氢原料罐(101)、高锰酸钾供料罐(102)、高纯水储存罐(103)、用于计量所述液态氟化氢原料罐(101)的第一电子称(104)、用于计量所述高锰酸钾供料罐(102)的第二电子称(105)和用于计量所述高纯水储存罐(103)的第三电子称(106)；所述提纯组件包括预热罐(201)、蒸馏罐(202)、冷凝器(203)、吸收罐(204)、粗产品贮存罐(205)和微滤...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱文斌，
申请(专利权)人：江西天行化工有限责任公司，
类型：新型
国别省市：江西,36
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