提取与互连中断相关的电流电平的方法技术

公开了一种用于防止中断的电流电平提取方法。该方法可以包括：开始对处于某一温度的互连结构的电压扫描；测量互连结构的初始电阻；计算互连结构的根据对应输入电压的测量电阻；判断互连结构的测量电阻与初始电阻的电阻比是否小于或等于预设值；当互连结构的电阻比小于或等于预设值时，将对应于测量电阻的电流值更新为潜在最大电流电平并且重复计算测量电阻的步骤；以及当互连结构的电阻比大于预设值时，将与测量电阻相对应的电流值设置为最大电流电平。

A Method of Extracting Current Level Related to Interconnection Interruption

A current level extraction method for preventing interruption is disclosed. The method may include: starting voltage scanning of interconnection structure at a certain temperature; measuring the initial resistance of interconnection structure; calculating the measured resistance of interconnection structure according to the corresponding input voltage; judging whether the resistance ratio of measurement resistance to initial resistance of interconnection structure is less than or equal to the preset value; and corresponding prediction when the resistance ratio of interconnection structure is less than or equal to the preset value. The current value of the measuring resistance is updated to the potential maximum current level and the steps of calculating the measuring resistance are repeated. When the resistance ratio of the interconnection structure is larger than the preset value, the current value corresponding to the measuring resistance is set to the maximum current level.

【技术实现步骤摘要】
提取与互连中断相关的电流电平的方法相关申请的交叉引用本申请要求于2017年7月12日向韩国知识产权局提交的申请号为10-2017-0088482的韩国专利申请的优先权，其通过引用整体合并于此。
各种实施例总体而言可以涉及一种提取半导体集成电路设备中的电流的方法，更具体地，涉及一种刚好在因过电应力(electricaloverstress，EOS)而导致互连中断之前提取电流电平的方法。
技术介绍
总体来说，EOS可以指因由使用电源电压的装置的泄漏电流和泄漏电压引起的异常过电流或异常过电压而导致的电击。因EOS而导致的故障可以意味着脉冲宽度通常在几十微秒(μs)或者更宽的范围之内。不同于静电放电(ESD)，由于EOS与直流(DC)电流具有相似的特性，因此EOS可能具有相对较大的功耗。EOS可能引起半导体集成电路设备中的热迁移，从而导致互连中断。目前，已经提出了一种通过提取因EOS而引起互连中断的最大电流电平来预先防止中断故障的方法。
技术实现思路
在本公开的一个实施例中，可以提供一种提取最大电流电平的方法。该方法可以包括对处于某一温度的互连结构进行电压扫描。该方法可以包括测量互连结构的初始电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种提取最大电流电平的方法，所述方法包括：使用最大电流电平测量装置开始对互连结构的电压扫描，当电压扫描开始时，互连结构处于某一温度；测量互连结构的初始电阻；使用最大电流电平测量装置来计算互连结构的根据对应输入电压的测量电阻；使用最大电流电平测量装置来判断互连结构的测量电阻与初始电阻的电阻比是否小于或等于预设值；当互连结构的电阻比小于或等于预设值时，将与测量电阻相对应的电流值更新为潜在最大电流电平并且重复计算互连结构的测量电阻的步骤；以及当互连结构的电阻比大于预设值时，将与测量电阻相对应的电流值设置为最大电流电平。

【技术特征摘要】
2017.07.12 KR 10-2017-00884821.一种提取最大电流电平的方法，所述方法包括：使用最大电流电平测量装置开始对互连结构的电压扫描，当电压扫描开始时，互连结构处于某一温度；测量互连结构的初始电阻；使用最大电流电平测量装置来计算互连结构的根据对应输入电压的测量电阻；使用最大电流电平测量装置来判断互连结构的测量电阻与初始电阻的电阻比是否小于或等于预设值；当互连结构的电阻比小于或等于预设值时，将与测量电阻相对应的电流值更新为潜在最大电流电平并且重复计算互连结构的测量电阻的步骤；以及当互连结构的电阻比大于预设值时，将与测量电阻相对应的电流值设置为最大电流电平。2.根据权利要求1所述的方法，其中，预设值对应于温度变化ΔT，并且温度变化ΔT从以下等式来获得：Rm＝R0×(1+TCR×ΔT)，其中，R0为初始电阻，Rm为测量电阻，Rm/R0为电阻比，以及TCR为电阻的温度系数。3.根据权利要求1所述的方法，还包括：计算互连结构的测量电流；其中，计算互连结构的测量电流包括：通过最大电流电平测量装置中包括的监控装置来测量对应输入电压以及对应于测量电阻的电流值。4.根据权利要求1所述的方法，还包括：计算互连结构的测量电流；其中，计算互连结构的测量电流包括：通过最大电流电平测量装置中包括的监控装置来测量作为输入电压与对应于测量电阻的电流值的比值的测量电阻。5.一种从最大电流电平测量装置提取最大电流电平的方法，所述方法包括：使用最大电流电平测量装置来开始对互连结构的电压扫描，当电压扫描开始时，互连结构处于某一温度；使用最大电流电平测量装置来测量互连结构的根据输入电压的初级电流；使用最大电流电平测量装置来测量互连结构的根据下一个输入电压的次级电流；使用最大电流电平测量装置来判断电流差值是否大于或等于0，电流差值通过从次级电流减去初级电流来获得；当电流差值大于或等于0时，重复测量...

【专利技术属性】
技术研发人员：李昌挥，金成培，李时雨，承万镐，
申请(专利权)人：爱思开海力士有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR