膜厚度测量方法及膜厚度测量装置制造方法及图纸

公开了一种膜厚度测量方法及膜厚度测量装置。使估计信号的信号波形与反射光强度信号的信号波形彼此协调，使得估计信号的信号波形中的当膜厚度等于零时的时间点与反射光强度信号的信号波形中的基点彼此一致。将与反射光的信号强度的估计值对应的膜厚度设置为薄膜在期望时间点处的膜厚度，所述反射光的信号强度与估计信号的信号波形中的对应于时间范围的膜厚度范围对应并且与反射光在期望时间点处的信号强度一致。

Membrane Thickness Measurement Method and Membrane Thickness Measurement Device

The invention discloses a method for measuring film thickness and a device for measuring film thickness. The signal waveform of the estimated signal is coordinated with the signal waveform of the reflected light intensity signal, so that the time point in the estimated signal waveform when the film thickness equals zero is consistent with the base point in the signal waveform of the reflected light intensity signal. The film thickness corresponding to the estimated value of the signal intensity of the reflected light is set to the film thickness at the desired time point. The signal intensity of the reflected light corresponds to the film thickness range corresponding to the time range in the signal waveform of the estimated signal and is consistent with the signal intensity of the reflected light at the desired time point.

【技术实现步骤摘要】
膜厚度测量方法及膜厚度测量装置
本专利技术涉及膜厚度测量方法和膜厚度测量装置。
技术介绍
作为测量存在于基板上的膜的膜厚度的方法，提出了下述方法：根据通过使用分光镜的光干涉方法来计算膜厚度的方法(例如，参见日本专利申请公布No.2000-314612(JP2000-314612A)和日本专利申请公布No.2012-189406(JP2012-189406A))、通过照射特定波长的光并且测量反射光的强度来计算膜厚度的方法、通过照射白光并且经由仅允许特定波长的光通过其的滤光器测量反射光的强度来基于白光的强度计算膜厚度的方法等。此外，在膜厚度小的情况下，长波长的光的强度的变化比膜厚度的变化小。因此，还提出了通过使用短波长的光例如紫外光等来测量膜厚度的方法。此外，在测量膜厚度在二维区域中的分布的情况下，还提出了下述方法：通过移动能够逐点执行测量同时保持与照明器形成的拍摄角度的膜厚度测量仪器来创建二维数据的方法、扫描能够提取线性区域上的分光数据的分光镜的方法等。
技术实现思路
然而，例如，在存在于基板上的由液体制成的膜的膜厚度小于100nm的情况下，可见光区域的分光反射率的波动小，因此测量膜厚度的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种膜厚度测量方法，其特征在于包括：将待测量的挥发性透光膜布置在基板上，并且用来自光源的光照射所述透光膜直到所述透光膜的蒸发结束为止；由光接收元件在规则反射方向上接收所述透光膜的反射光，获取作为所述反射光的信号强度的时序信号的反射光强度信号直到所述透光膜的蒸发结束为止，所述反射光强度信号指示所述信号强度的变化，并且将所获取的反射光强度信号保存到存储装置中；基于所述光源的分光强度、所述光接收元件的分光灵敏度以及所述透光膜的光学常数来估计通过用来自所述光源的光照射所述透光膜而获得的所述反射光的信号强度，并且获取指示随着所述透光膜的膜厚度变化所述反射光的信号强度的估计值的变化的估计信号；基于从作...

【技术特征摘要】
2017.07.13 JP 2017-1368981.一种膜厚度测量方法，其特征在于包括：将待测量的挥发性透光膜布置在基板上，并且用来自光源的光照射所述透光膜直到所述透光膜的蒸发结束为止；由光接收元件在规则反射方向上接收所述透光膜的反射光，获取作为所述反射光的信号强度的时序信号的反射光强度信号直到所述透光膜的蒸发结束为止，所述反射光强度信号指示所述信号强度的变化，并且将所获取的反射光强度信号保存到存储装置中；基于所述光源的分光强度、所述光接收元件的分光灵敏度以及所述透光膜的光学常数来估计通过用来自所述光源的光照射所述透光膜而获得的所述反射光的信号强度，并且获取指示随着所述透光膜的膜厚度变化所述反射光的信号强度的估计值的变化的估计信号；基于从作为所述透光膜的蒸发结束的时间点的基点到期望时间点所述反射光强度信号的信号波形中的峰的数目来指定所述期望时间点存在的时间范围；使所述估计信号的信号波形与所述反射光强度信号的信号波形彼此协调，使得所述估计信号的信号波形中的当所述膜厚度等于零时的时间点与所述反射光强度信号的信号波形中的所述基点彼此一致，并且基于所述估计信号的信号波形中的峰的数目来指定所述估计信号的信号波形中的与所述时间范围对应的膜厚度范围；以及获取所述反射光在所述期望时间点处的信号强度，并且将对应于与落入所述膜厚度范围内的膜厚度对应并且与所述反射光在所述期望时间点处的信号强度一致的所述反射光的信号强度的估计值的膜厚度设置为所述透光膜在所述期望时间点处的膜厚度。2.根据权利要求1所述的膜厚度测量方法，其特征在于，提供多个光接收元件以构成二维区域传感器。3.根据权利要求2所述的膜厚度测量方法，其特征在于，所述光源是对...

【专利技术属性】
技术研发人员：近藤孝司，冈田奈雄登，荒牧裕胜，岩本胜哉，
申请(专利权)人：丰田自动车株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP