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公开了一种膜厚度测量方法及膜厚度测量装置。使估计信号的信号波形与反射光强度信号的信号波形彼此协调，使得估计信号的信号波形中的当膜厚度等于零时的时间点与反射光强度信号的信号波形中的基点彼此一致。将与反射光的信号强度的估计值对应的膜厚度设置为薄...
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