The invention provides a polishing fluid and a preparation method thereof. The polishing fluid comprises the following components of mass percentage: nanodiamond 0.2-10%, surfactant 0.1-3%, dispersant 0.02-5%, friction regulator 0.01-2%, complexing agent 0.1-1%, oxidant 0.01-2%, pH regulator 0.01-2% and residual deionized water. The polishing fluid polished A-way sapphire smart watch and mobile phone cover plate prepared by the invention has an apparent yield of 86.5%, a surface roughness of 0.35 nm and a cutting rate of 4.3 um/h, which effectively improves the polishing efficiency and quality, and also increases the economic benefits.
【技术实现步骤摘要】
一种抛光液及其制备方法
本专利技术涉及蓝宝石抛光
，具体涉及一种抛光液及其制备方法。
技术介绍
蓝宝石，又称白宝石，分子式为Al2O3，是一种多功能氧化物晶体，为六方晶体结构，它具有优良的光学性能、物理性能和化学性能。与天然宝石相比，它具有硬度高、熔点高、透光性好、热传导性和电绝缘性优异、耐磨损性能好、抗腐蚀性能稳定等特性，因此被广泛应用于光电子、通讯、国防等领域。CMP(ChemicalMechanicalPolishing，化学机械抛光)技术是目前几乎唯一可以达到全局平坦化的技术，其综合了化学、机械及流体力学等作用的优势。应用CMP技术既可以得到高的抛光速率，又能获得光洁平整的表面。随着科学技术的不断发展，要求蓝宝石零件必须具有很高的表面质量，因此对蓝宝石晶体的加工精度和表面完整性要求越来越高。但是，A向蓝宝石硬度高达莫氏9级，仅次于金刚石，相比C向蓝宝石加工难度更大，又A向蓝宝石致密性使其具有较大的表面张力和脆性，造成机械加工困难、抛光效率低、晶片表面粗糙度高、辅材损耗过快的问题，限制了A向蓝宝石行业的发展。综上所述，急需一种抛光液及其制备方法以解决现...
【技术保护点】
1.一种抛光液，其特征在于，包括以下质量百分比的组分：纳米金刚石0.2～10％、表面活性剂为0.1～3％、分散剂为0.02～5％、摩擦调节剂0.01～2％、络合剂0.1～1％、氧化剂0.01～2％、pH调节剂0.01～2％以及余量为去离子水。
【技术特征摘要】
1.一种抛光液，其特征在于，包括以下质量百分比的组分：纳米金刚石0.2～10％、表面活性剂为0.1～3％、分散剂为0.02～5％、摩擦调节剂0.01～2％、络合剂0.1～1％、氧化剂0.01～2％、pH调节剂0.01～2％以及余量为去离子水。2.根据权利要求1所述的抛光液，其特征在于，所述摩擦调节剂为0.05～2％。3.根据权利要求2所述的抛光液，其特征在于，所述摩擦调节剂为吐温20、吐温80、苯丙三氮唑、聚乙二醇10000和乙二醇中的任意一种或几种组合制备而成。4.根据权利要求1所述的抛光液，其特征在于，纳米金刚石的颗粒粒径大小为10～500nm。5.根据权利要求1所述的抛光液，其特征在于，所述表面活性剂为十二烷基苯磺酸钠、脂肪醇聚氧乙烯醚、聚氧乙烯烷基胺和烷基醇酰胺中的任意一种或几种组合制备而成。6.根据权利要求1所述的抛光液，其特征在于，所述分散剂为聚乙二醇600、聚乙二醇800、辛基苯酚聚氧乙烯(10)醚、乙二胺四乙酸、壬基酚聚氧乙烯醚和聚二乙醇醚中的任意一种或几种组合制备...
【专利技术属性】
技术研发人员：周群飞，李强，
申请(专利权)人：蓝思科技长沙有限公司，
类型：发明
国别省市：湖南,43
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。