石墨舟新卡点储料箱制造技术

本发明专利技术属于太阳能电池制造领域，尤其涉及一种石墨舟新卡点储料箱，包括供储存新卡点的储料箱体、设置在储料箱体的卡点滑道以及设置在卡点滑道下端的出料端，因而使用时可以将批量新卡点放置于所述储料箱体内，当石墨舟需要更换新卡点时，所述卡点滑道内的开闭装置打开，所述储料箱体内的新卡点经所述下料端滑落至所述卡点滑道内，最后经所述卡点滑道下端的出料端滑落至石墨舟更换机的装点工位，可以自动完成新卡点的上料，无需人工手动参与，工作效率高，由储料箱体可以储存大量新卡点，不用来回取放新卡点，更不会因卡点碰落一地而造成工作现场混乱，能够有效避免对新卡点造成损坏，具有广阔的应用前景。

【技术实现步骤摘要】
石墨舟新卡点储料箱
本专利技术属于太阳能电池制造领域，尤其涉及一种石墨舟新卡点储料箱。
技术介绍
随着太阳能电池的迅猛发展，越来越多的太阳能电池进入民用领域。在太阳能电池的生产过程中，PECVD（PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，等离子体增强化学气相沉积法）镀膜工艺是生产流程中的重要环节，起到举足轻重的作用。PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。硅片进行其表面镀膜工序时，需要将未镀膜的硅片插入PECVD真空镀膜设备的载片器上。目前，载片器通常采用石墨舟，具体操作过程是：将硅片插入石墨舟并通过石墨舟卡点定位于其上，然后，将载有硅片的石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备中，采用PECVD工艺对硅片进行镀膜。为了固定硅片于石墨舟中，石墨舟的石墨舟片上设有用于固定硅片的卡点，由于硅片在插取过程中会对卡点有一定的磨损，需要定期对卡点进行更换，以便保证石墨舟的良好状态，进而保证硅片的镀膜质量。传统的石墨舟卡点更换操作方法是：石墨舟卡点更换需要使用到一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石墨舟新卡点储料箱，用于向石墨舟更换机装点工位提供新卡点，其特征在于，包括：储料箱体，供储存新卡点，所述储料箱体底部设有下料端；卡点滑道，设置在所述储料箱体底部，所述卡点滑道上端设有开闭装置，所述卡点滑道经所述开闭装置与所述储料箱体相通，当所述开闭装置打开时，所述储料箱体内的新卡点经所述下料端滑落至所述卡点滑道，当所述开闭装置闭合时，所述储料箱体内的新卡点停留在所述储料箱体内；出料端，设置在所述卡点滑道下端，所述卡点滑道内的新卡点经由所述出料端滑落至所述装点工位。

【技术特征摘要】
1.一种石墨舟新卡点储料箱，用于向石墨舟更换机装点工位提供新卡点，其特征在于，包括：储料箱体，供储存新卡点，所述储料箱体底部设有下料端；卡点滑道，设置在所述储料箱体底部，所述卡点滑道上端设有开闭装置，所述卡点滑道经所述开闭装置与所述储料箱体相通，当所述开闭装置打开时，所述储料箱体内的新卡点经所述下料端滑落至所述卡点滑道，当所述开闭装置闭合时，所述储料箱体内的新卡点停留在所述储料箱体内；出料端，设置在所述卡点滑道下端，所述卡点滑道内的新卡点经由所述出料端滑落至所述装点工位。2.根据权利要求1所述的石墨舟新卡点储料箱，其特征在于，所述开闭装置是在所述卡点滑道上端的储料箱体一侧设有滑轨，所述滑轨上设有可沿其自由滑动的滑座，所述卡点滑道上端设有阀塞，所述阀塞上端设有阀柱，所述阀柱上端连接所述滑座，所述储料箱体下侧设...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙红彬，段波，陶龙忠，李静，杨灼坚，沙泉，唐福云，卢佩良，李宁，高顺，王存亮，高东坡，
申请(专利权)人：江苏润阳悦达光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32