一种硅片固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种硅片固定装置，包括工作台面，所述工作台面边缘设有夹紧机构，所述夹紧机构成品字形，所述夹紧机构包括卡板、T形构件、压板，所述卡板上设有卡槽，所述卡槽两边设有缺口，通过T形构件使所述卡板与所述压板相连，使用时，将硅片安装在三个夹紧机构中间，将压板压合在所述卡板上，使压板与硅片贴合，使硅片压合在工作台面上，从而实现硅片的固定；该装置结构简单，设计合理，操作方便，同时也避免了真空吸附对硅片的影响。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片固定装置
本技术涉及机械制造
，具体是涉及一种硅片固定装置。
技术介绍
硅片应用在各行业，应用广泛，硅片需求也越来越多，硅片固定越来越常见，传统固定为真空吸附，硅片的敏感膜片容易严重变形甚至破裂，或是争对同一种硅片进行固定。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术中的不足，提供一种硅片固定装置，该硅片固定装置使用方便，结构简单，且可避免对硅片质量的影响，同时可对不同厚度的硅片进行固定。为实现上述目的，本技术公开了如下技术方案：一种硅片固定装置，包括工作台面，所述工作台面上设有三个夹紧机构，三个所述夹紧机构呈品字形分布，所述三个夹紧机构嵌在所述工作台面上，其中任一所述夹紧机构横向设置在所述工作台面上，且位于所述工作台面的中心线上，另两个所述夹紧机构分别位于两侧且对称设置，位于上端的所述夹紧机构与相邻的所述夹紧机构之间设有夹角α，所述夹角α为90度，所述夹紧机构包括卡板、T形构件、压板，所述卡板固定在所述工作台面上，所述卡板上设有卡槽，所述卡槽两边垂直设有多个缺口，所述卡槽两边的缺口对称设置，所述T形构件与所述工作台面垂直，所述压板固定于所述T形构件的竖边的上端且所述T形构件相垂本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片固定装置，包括工作台面，其特征在于，所述工作台面上设有三个夹紧机构，三个所述夹紧机构呈品字形分布，所述三个夹紧机构嵌在所述工作台面上，其中任一所述夹紧机构横向设置在所述工作台面上，且位于所述工作台面的中心线上，另两个所述夹紧机构分别位于两侧且对称设置，位于上端的所述夹紧机构与相邻的所述夹紧机构之间设有夹角α，所述夹角α为90度，所述夹紧机构包括卡板、T形构件、压板，所述卡板固定在所述工作台面上，所述卡板上设有卡槽，所述卡槽两边垂直设有多个缺口，所述卡槽两边的缺口对称设置，所述T形构件与所述工作台面垂直，所述压板固定于所述T形构件的竖边的上端且所述T形构件相垂直，所述T形构件的横边卡...

【技术特征摘要】
1.一种硅片固定装置，包括工作台面，其特征在于，所述工作台面上设有三个夹紧机构，三个所述夹紧机构呈品字形分布，所述三个夹紧机构嵌在所述工作台面上，其中任一所述夹紧机构横向设置在所述工作台面上，且位于所述工作台面的中心线上，另两个所述夹紧机构分别位于两侧且对称设置，位于上端的所述夹紧机构与相邻的所述夹紧机构之间设有夹角α，所述夹角α为90度，所述夹紧机构包括卡板、T形构件、压板，所述卡板固定在所述工作台面上，所述卡板上设有卡槽，所述卡槽两边垂直设有多个缺口，所述卡槽两边的缺口对称设置，所述T形构件与所述工作台面垂直，所述压板...

【专利技术属性】
技术研发人员：施文周，
申请(专利权)人：江苏利奥新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32