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本实用新型提供了一种硅片固定装置，包括工作台面，所述工作台面边缘设有夹紧机构，所述夹紧机构成品字形，所述夹紧机构包括卡板、T形构件、压板，所述卡板上设有卡槽，所述卡槽两边设有缺口，通过T形构件使所述卡板与所述压板相连，使用时，将硅片安装在三...
该专利属于江苏利奥新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏利奥新材料科技有限公司授权不得商用。

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