微机电装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种微机电装置，包含：至少两质量结构；至少一弹性连接体，各弹性连接体具有至少两个折绕型弹性部以及至少两个连接部，折绕型弹性部互相直接连接于一连接点，各折绕型弹性部分别通过对应的连接部而连接于各对应的质量结构，以使至少两质量结构可在第一方向上进行反向的位移运动。

Microelectromechanical Device

The invention provides a micro-electromechanical device, which comprises at least two mass structures, at least one elastic connector, each elastic connector having at least two folded elastic parts and at least two connecting parts. The folded elastic parts are directly connected to each other at a connecting point, and each folded elastic part is connected to each corresponding mass structure through the corresponding connecting parts, so as to make at least two masses. The structure can carry out reverse displacement movement in the first direction.

【技术实现步骤摘要】
微机电装置
本专利技术涉及一种微机电装置，特别是通过两个折绕型弹性部以产生反向位移运动的一微机电装置。
技术介绍
音叉式结构(Tuningforkstructure)常用于微机电装置中，其具有对称的质量结构，通过相同的振动频率以产生耦合的振动模态。当对称的质量结构具有方向相反且幅度相同的位移时，可通过差分感测(Differentialsensing)以增加感测信号的敏锐度。参照图1A，其中显示根据美国专利号2010/0186507的一已知微机电装置10，已知微机电装置10包含两质量结构11、与一旋转连杆12。旋转连杆12的设计，用于确保两质量结构11产生同步向外或同步向内的位移运动。已知微机电装置10虽可确保同步向外或同步向内的位移运动，但此旋转连杆12的质量以及所占空间很大。两质量结构11的驱动力量中，一部分为旋转连杆12所吸收，故所需驱动力较大，方能驱动两质量结构11以具有足够的位移幅度。旋转连杆12位于两质量结构11间，旋转连杆12所需的旋转空间难以设置其他微机电结构。此外，旋转连杆12仅能提供左右方向的同步向外或同步向内的位移运动。然而，当应用于多方向需求的感测用途，例如陀螺本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微机电装置，其特征在于，包含：至少两质量结构；以及至少一弹性连接体，连接于该至少两质量结构之间，各该弹性连接体包含：至少两个折绕型弹性部，互相直接连接于一连接点；以及至少两个连接部，其中，该些折绕型弹性部分别通过对应的连接部而连接于该至少两质量结构，以使该至少两质量结构可在第一方向上进行反向的位移运动。

【技术特征摘要】
1.一种微机电装置，其特征在于，包含：至少两质量结构；以及至少一弹性连接体，连接于该至少两质量结构之间，各该弹性连接体包含：至少两个折绕型弹性部，互相直接连接于一连接点；以及至少两个连接部，其中，该些折绕型弹性部分别通过对应的连接部而连接于该至少两质量结构，以使该至少两质量结构可在第一方向上进行反向的位移运动。2.如权利要求1所述的微机电装置，其中，每一弹性连接体仅通过单一锚点而连接至一基板。3.如权利要求2所述的微机电装置，其中，该单一锚点经由一伸缩弹簧而连接至对应该弹性连接体的连接点，以引导该连接点产生一第二方向位移运动，该第二方向垂直于该第一方向，其中该连接点与该伸缩弹簧直接或间接连接。4.如权利要求3所述的微机电装置，其中，该连接点与该伸缩弹簧经由一第一内部质量结构间接连接。5.如权利要求3所述的微机电装置，其中，该连接点与一第一内部质量结构连接。6.如权利要求1所述的微机电装置，其中，该至少两质量结构间通过至少两弹性连接体以彼此连接，且该至少两弹性连接体的布局为镜像对称。7.如权利要求6所述的微机电装置，其中，还包含至少一第一内部质量结构，连接于该些弹性连接体的连接点之间，该些弹性连接体提供该至少一第一内部质量结构的该第二方向位移运动、或提供该至少一第一内部质量结构产生旋转运动。8.如权利要求7所述的微机电装置，其中，该些弹性连接体的该些连接点，在该第一方向上相隔一段距离，以提供该至少一第一内部质量结构的该旋转运动。9.如权利要求6所述的微机电装置，其中，还包含至少两个第一内部质量结构，各该第一内部质量结构的一侧通过连接一伸缩弹簧而彼此相连，且各该第一内部质量结构的另一侧分别连接各对应的该连接点，由此，两个该弹性连接体提供该些第一内部质量结构在第二方向上的反向的位移运动，该第二方向垂直于该第一方向。10.如权利要求1所述的微机电装置，其中，还包含至少两个第一内部质量结构，其中该伸缩弹簧连接于该些连接点之间，且各该第一内部质量结构的一侧通过连接该伸缩弹簧而彼此相连，并经由该伸缩弹簧而连接至各对应的该连接点，各该第一内部质量结构的另一侧分别连接于各对应的一锚点，由此，该些弹性连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：林炯文，罗炯成，
申请(专利权)人：立锜科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71