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微机电装置制造方法及图纸
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文档序号:20111097
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本发明提供一种微机电装置,包含:至少两质量结构;至少一弹性连接体,各弹性连接体具有至少两个折绕型弹性部以及至少两个连接部,折绕型弹性部互相直接连接于一连接点,各折绕型弹性部分别通过对应的连接部而连接于各对应的质量结构,以使至少两质量结构可在...
该专利属于立锜科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过立锜科技股份有限公司授权不得商用。
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