The invention discloses a carbon monoxide sensor based on SAW device and its concentration calculation method, including a SAW oscillator, a SAW oscillating substrate and a gas sensitive layer. The SAW oscillating substrate is arranged on the upper surface of the SAW oscillator, and the gas sensitive layer is coated on the SAW oscillating substrate. The gas sensitive layer comprises the first gas sensitive material, the second gas sensitive material and the reference material. The absorption rate of the first gas-sensitive material is different from that of the second gas-sensitive material. The invention can effectively solve the problem that the absorption rate of sensitive gas decreases during the long-term use of sensitive materials.
【技术实现步骤摘要】
一种基于SAW器件的一氧化碳传感器及其浓度计算方法
本专利技术涉及传感器领域，具体涉及一种基于SAW器件的一氧化碳传感器及其浓度计算方法。
技术介绍
声表面波（SurfaceAcousticWave,SAW）传感器属于压电型传感器，核心是SAW振荡器，而敏感元件是SAW振荡器基片，在SAW的传播途径上涂覆一层吸附薄膜，由于膜吸附待测气体会对SAW的传输产生微扰,因此通过测量声波参数(频率、相位、幅度等)变化而获得待测气体的组分和浓度，由于其结构简单，SAW器件也易于小型化，目前研究基于SAW器件的传感器也较多。如申请号为CN201210563990.0的现有技术公开了一种用于气体传感器的SAW谐振型振荡器系统，包括SAW振荡器和混频电路；所述的SAW振荡器为两组，且该两组两端对SAW谐振器1制作在同一压电基片12上，如附图1所示，所述的SAW谐振器1包括左右分布的第一叉指换能器8与第二叉指换能器10，该两个叉指换能器之间还设有一金属膜9作为气体传感器敏感膜的载体；所述的第一叉指换能器8与第二叉指换能器10的外侧分别设有与之相邻的第一短路栅反射器7和第二短路栅反射器...
【技术保护点】
1.一种基于SAW器件的一氧化碳传感器，其特征在于：包括SAW振荡器、SAW振荡基片以及气敏层，所述SAW振荡器上表面设置SAW振荡基片，所述SAW振荡基片上涂覆所述气敏层；所述气敏层包括第一气敏材料、第二气敏材料以及参考材料；所述第一气敏材料相对于第二气敏材料对于气体的吸收率不同。
【技术特征摘要】
1.一种基于SAW器件的一氧化碳传感器，其特征在于：包括SAW振荡器、SAW振荡基片以及气敏层，所述SAW振荡器上表面设置SAW振荡基片，所述SAW振荡基片上涂覆所述气敏层；所述气敏层包括第一气敏材料、第二气敏材料以及参考材料；所述第一气敏材料相对于第二气敏材料对于气体的吸收率不同。2.根据权利要求1所述的基于SAW器件的一氧化碳传感器，其特征在于：所述第一气敏材料和第二气敏材料均采用聚苯胺氧化铟薄膜作为敏感薄膜。3.根据权利要求1或2所述的基于SAW器件的一氧化碳传感器，其特征在于：所述SAW振荡器为单端口谐振型SAW器件，所述SAW器件包括铝叉指电极。4.根据权利要求1-3所述的基于SAW器件的一氧化碳传感器，其特征在于：...
【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：郑州智谷工业技术有限公司，
类型：发明
国别省市：河南,41
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