具有增加的动态测量范围的BAW传感器流体装置制造方法及图纸

流体装置包括基底结构，该基底结构包括具有流体通道的至少一个体声波（BAW）谐振器结构，所述流体通道包含覆盖有功能化材料的至少一个功能化活性区域，所述功能化材料适合于结合分析物。限定流体通道的壁结构、盖结构、或基底结构的一部分中的一者或多者包括附加功能化材料，以形成被构造成结合至少一种分析物的至少一个吸收器。当至少一个吸收器被放置在至少一个功能化活性区域上游时，BAW谐振器结构的动态测量范围增加。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有增加的动态测量范围的BAW传感器流体装置相关申请的声明本申请要求于2016年3月11日提交的临时专利申请序列号62/306,799的权益，所述文献的公开内容在此通过引用以其整体包含在本文中。
本公开涉及包含声谐振器的流体装置，包括适合于生物感测或生物化学感测应用的流体装置和相关系统。
技术介绍
生物传感器（或生物学传感器）是包括生物学元件和将生物学响应转换为电信号的换能器的分析装置。某些生物传感器涉及特异性结合材料（例如，抗体、受体、配体等）与目标种类（species）（例如,分子、蛋白质、DNA、病毒、细菌等）之间的选择性生物化学反应，且这种高度特异性反应的产物通过换能器被转换为可测量的量。其他传感器可利用能够结合可能存在于样品中的多种类型或类别的分子或其他部分的非特异性结合材料，例如，在化学感测应用中可能是有用的。术语“功能化材料”在本文中可以用于总体地涉及特异性和非特异性结合材料两者。换能方法可以基于各种原理，例如，电化学、光学、电学、声学等。在这些之中，声换能提供许多潜在的优点，例如是实时的、无标记的和低成本的，以及展现出高灵敏度。声波装置采用传播通过压电材料表面或在压电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种流体装置，所述流体装置包括：基底结构，所述基底结构包括：（i）基板；（ii）由所述基板支撑的至少一个体声波谐振器结构，所述至少一个体声波谐振器结构包括压电材料、布置在所述压电材料的一部分上方的顶侧电极、以及布置在所述压电材料的至少一部分下方的底侧电极，其中，所述压电材料的一部分布置在所述顶侧电极与所述底侧电极之间以形成活性区域；以及（iii）功能化材料，所述功能化材料布置在所述至少一个体声波谐振器结构的所述活性区域的至少一部分上方以形成至少一个功能化活性区域；壁结构，所述壁结构布置在所述基底结构的至少一部分上方，并且限定流体通道的侧向边界，所述流体通道包含所述活性区域并且被构造成接收包...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.03.11 US 62/3067991.一种流体装置，所述流体装置包括：基底结构，所述基底结构包括：（i）基板；（ii）由所述基板支撑的至少一个体声波谐振器结构，所述至少一个体声波谐振器结构包括压电材料、布置在所述压电材料的一部分上方的顶侧电极、以及布置在所述压电材料的至少一部分下方的底侧电极，其中，所述压电材料的一部分布置在所述顶侧电极与所述底侧电极之间以形成活性区域；以及（iii）功能化材料，所述功能化材料布置在所述至少一个体声波谐振器结构的所述活性区域的至少一部分上方以形成至少一个功能化活性区域；壁结构，所述壁结构布置在所述基底结构的至少一部分上方，并且限定流体通道的侧向边界，所述流体通道包含所述活性区域并且被构造成接收包括多种组分的流体；以及盖结构，所述盖结构布置在所述壁结构上方并且限定所述流体通道的上边界；其中，所述基底结构限定所述流体通道的下边界；以及其中，所述壁结构、所述盖结构、或所述基底结构的与所述活性区域不重合的部分中的一者或多者包括附加功能化材料，以形成被构造成结合至少一种分析物的至少一个吸收器。2.根据权利要求1所述的流体装置，其中，所述至少一个功能化活性区域包括暴露于所述流体通道的第一聚集表面区域，并且所述至少一个吸收器包括暴露于所述流体通道的第二聚集表面区域，所述第二聚集表面区域大于暴露于所述流体通道的所述第一聚集表面区域。3.根据权利要求2所述的流体装置，其中，暴露于所述流体通道的所述第二聚集表面区域是暴露于所述流体通道的第一聚集表面区域的至少约10倍大。4.根据权利要求1所述的流体装置，其中，所述至少一个吸收器的附加功能化材料与所述至少一个功能化活性区域的功能化材料包括相同的化学或生物学成分。5.根据权利要求1所述的流体装置，所述流体装置还包括阻挡材料，所述阻挡材料布置在所述壁结构、所述盖结构或所述基底结构中的一者或多者的至少一部分上方，在与所述功能化材料或所述附加功能化材料不重合的位置处。6.根据权利要求1所述的流体装置，其中，所述壁结构和所述盖结构以整体的主体结构实现。7.根据权利要求1所述的流体装置，其中，所述壁结构和所述基底结构以整体的主体结构实现。8.根据权利要求1所述的流体装置，其中，所述盖结构包括盖层，所述壁结构包括至少一个壁层，并且所述至少一个壁层布置在所述基底结构与所述盖层之间。9.根据权利要求1所述的流体装置，其中，所述基底结构还包括布置在所述基板与所述至少一个体声波谐振器结构之间的至少一个声反射器元件。10.根据权利要求1所述的流体装置，其中，所述基板限定布置在所述活性区域下方的凹部。11.根据权利要求1所述的流体装置，其中，所述压电材料包括这样的c轴：所述c轴具有主要地不平行于所述基板的表面的法线的取向分布。12.根据权利要求1所述的流体装置，所述流体装置还包括自组装单层，所述自组装单层被布置在所述至少一种功能化活性区域的功能化材料与所述顶侧电极之间。13.根据权利要求12所述的流体装置，所述流体装置还包括布置在所述自组装单层与所述顶侧电极之间的...

【专利技术属性】
技术研发人员：B默多克，R里瓦斯，
申请(专利权)人：QORVO美国公司，
类型：发明
国别省市：美国,US