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流体装置包括基底结构，该基底结构包括具有流体通道的至少一个体声波（BAW）谐振器结构，所述流体通道包含覆盖有功能化材料的至少一个功能化活性区域，所述功能化材料适合于结合分析物。限定流体通道的壁结构、盖结构、或基底结构的一部分中的一者或多者包...
该专利属于QORVO美国公司所有，仅供学习研究参考，未经过QORVO美国公司授权不得商用。

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