用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备、太阳能电池生产设备、以及用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的方法技术

技术编号:20084042 阅读:65 留言:0更新日期:2019-01-15 03:43
提供了用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造的基板(10)上的设备(100)。所述设备(100)包括工艺头部组件(110),所述工艺头部组件能够至少在第一方向上移动,并且所述工艺头部组件包括:一个或更多个沉积装置(120),所述一个或更多个沉积装置被配置为用于将所述材料从丝网(154)传送到所述基板(10);和两个或更多个材料处理装置(130),所述两个或更多个材料处理装置用于处理所述丝网(154)上的所述材料。

Equipment for printing material screen on a substrate for solar cell manufacturing, solar cell production equipment, and method for printing material screen on a substrate for solar cell manufacturing

Equipment (100) for screen printing of materials on a substrate (10) for solar cell manufacturing is provided. The device (100) includes a process head assembly (110), which can move in at least the first direction, and the process head assembly includes one or more deposition devices (120) configured to transfer the material from a wire mesh (154) to the substrate (10) and two or more material processing devices (130). The two or more material processing devices are used to process the material on the wire mesh (154).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备、太阳能电池生产设备、以及用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的方法
本专利技术的实施方式涉及用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备、太阳能电池生产设备、以及用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的方法。
技术介绍
太阳能电池是将阳光直接转换成电力的光伏器件。在这个领域内,已知使用沉积技术,具体地是印刷技术在晶体硅基底上生产太阳能电池,从而在太阳能电池的前表面上实现选择性发射器结构。处理周期可包括至少一个印刷操作和任选的另一材料处理操作,在所述印刷操作过程中,通过沉积装置将材料沉积在基板上。设备的生产率和/或生产量可能受处理周期的周期时间的限制。鉴于以上内容,克服了本领域中的至少一些问题的用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的新设备、太阳能电池生产设备、以及用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的方法是有益的。本专利技术的目标尤其在于提供能够减少处理周期的周期时间以增加生产率和生产量中的至少一个的设备和方法。
技术实现思路
鉴于以上内容,提供用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备,所述设备包括:工艺头部组件,所述工艺头部组件能够至少在第一方向上移动,所述工艺头部组件包括:一个或更多个沉积装置,所述一个或更多个沉积装置被配置为用于将所述材料从丝网传送到所述基板;和两个或更多个材料处理装置,所述两个或更多个材料处理装置被配置为用于处理所述丝网上的所述材料。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备,所述设备包括:工艺头部组件,所述工艺头部组件能够至少在第一方向上移动,所述工艺头部组件包括:一个或更多个沉积装置,所述一个或更多个沉积装置被配置为用于将所述材料从丝网传送到所述基板;和两个或更多个材料处理装置,所述两个或更多个材料处理装置被配置为用于处理所述丝网上的所述材料。2.如权利要求1所述的设备,其特征在于,所述一个或更多个沉积装置被布置在所述两个或更多个材料处理装置之间。3.如权利要求1所述的设备,其特征在于,所述一个或更多个沉积装置是两个或更多个沉积装置,并且其中所述两个或更多个材料处理装置被布置在所述两个或更多个沉积装置之间。4.如权利要求1至3中任一项所述的设备,其特征在于,所述两个或更多个材料处理装置中的至少一个材料处理装置具有刀刃,所述刀刃被配置为用于处理所述丝网上的所述材料,并且其中所述刀刃在不同于所述第一方向的方向上不是直的。5.如权利要求4所述的设备,其特征在于,所述方向垂直于所述第一方向。6.如权利要求4或5所述的设备,其特征在于,所述刀刃具有第一边缘部分、第二边缘部分以及在所述第一边缘部分和所述第二边缘部分之间的中间部分,并且其中所述第一边缘部分和所述第二边缘部分相对于所述中间部分倾斜。7.如权利要求1至6中任一项所述的设备,进一步包括驱动装置,所述驱动装置被配置为用于沿着基板支撑件在所述第一方向上和在与所述第一方向相反的第二方向上移动所述工艺头部组件。8.如权利要求1至7中任一项所述的设备,其特征在于,所述设备被配置为用于在所述第一方向上移动所述工艺头部组件的过程中使用所述两个或更多个材料处理装置中的第一材料处理装置处理所述丝网上的所述材料,并且其中所述设备被配置为用于在所述第二方向上移动所述工艺头部组件的过程中使用所述两个或更多个材料处理装置中的第二材料处理装置处理所述丝网上的所述材料。9.如权利要求1至8中任一项所述的设备,进一步包括一个或更多个第一致动器,所述一个或更多个第一致动器被配置为调整所述两...

【专利技术属性】
技术研发人员:路易吉·德·桑蒂安德列·巴斯尼达维德·科莱
申请(专利权)人:应用材料意大利有限公司
类型:发明
国别省市:意大利,IT

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