一种用于制造非晶硅薄膜的磨边装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于制造非晶硅薄膜的磨边装置，包括装置本体，装置本体由磨边室和伸缩移动柱组成，磨边室设有进料口和出料口，磨边室内的传输辊驱动连接驱动电机，传输辊之间设有打磨电机，打磨电机的输出端通过联轴器连接打磨棒，打磨电机固定安装的滑块二螺纹连接螺纹杆三，滑块二下端面固定连接的滑动杆滑动连接固定杆二，固定杆二内的支撑弹簧两端面固定连接滑块一和固定杆二，固定杆二下端面安装的滚轮滚动连接磨边室底面，磨边室的内壁设有吸头并通过抽风机和回收管连接收集箱内底部，磨边室下端面固定安装伸缩移动柱。本发明专利技术的磨边装置定位准确不会对硅基板打磨时造成损坏，对打磨产生的碎屑进行收集，避免对操作者健康造成损害。

A Edge Grinding Device for Manufacturing Amorphous Silicon Films

The invention discloses a grinding device for manufacturing amorphous silicon film, which comprises a grinding chamber and a telescopic moving column. The grinding chamber is provided with an inlet and outlet port. The transmission roll in the grinding chamber drives and connects the driving motor. A grinding motor is arranged between the transmission rolls. The output end of the grinding motor is connected with the grinding rod through a coupling, and the grinding motor is fixed and installed. The slider with two threads connects the threaded rod three, the sliding rod with two fixed lower end faces slides the fixed rod two, the supporting spring in the fixed rod two ends fixedly connects the slider one and the fixed rod two, the roller installed at the lower end face of the fixed rod two rolling connects the bottom surface of the grinding chamber, the inner wall of the grinding chamber has suction head and connects the bottom of the collecting box through the suction fan and the recovery pipe, and the grinding chamber bottom of the grinding chamber. The lower end face is fixed with a telescopic movable column. The positioning accuracy of the edge grinding device of the invention will not cause damage to the silicon substrate during grinding, collect debris generated by grinding, and avoid damage to the health of the operator.

【技术实现步骤摘要】
一种用于制造非晶硅薄膜的磨边装置
本专利技术涉及非晶硅薄膜制造
，具体是一种用于制造非晶硅薄膜的磨边装置。
技术介绍
非晶硅是硅的同素异形体形式，能够以薄膜形式沉积在各种基板上，为各种电子应用提供某些独特的功能。非晶硅被用在大规模生产的微机电系统(MEMS)和纳米机电系统(NEMS)、太阳能电池、微晶硅和微非晶硅、甚至对于各种基板上的滚压工艺技术都是有用的，而非晶硅薄膜是太阳能电池核心原材料之一，也称微晶硅，生产非晶硅薄膜时通常都是在成膜室对硅基板进行非晶硅成膜，对非晶硅成膜后的硅基板需要进行修正，方便后续加工，对硅基板进行修正时，通常是对硅基板的侧边进行磨边处理，但是现有的磨边装置在对硅基板进行磨边处理时，由于定位不准容易对硅基板打磨时造成损坏，且打磨时直接暴露在室内，打磨产生的粉尘碎屑中含有硅，工作人员长期吸入非晶硅，容易诱发职业病，对操作者的身体健康造成影响。
技术实现思路
1、要解决的问题针对现有非晶硅薄膜生产时得到的成膜后的硅基板进行打磨时，磨边装置由于定位不准容易对硅基板打磨时造成损坏，且打磨时直接暴露在室内，打磨产生的粉尘碎屑中含有硅，被人体吸入影响健康问题，本专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于制造非晶硅薄膜的磨边装置，包括装置本体（1），其特征在于，所述装置本体（1）由磨边室（2）和伸缩移动柱（6）组成，所述磨边室（2）左右端面分别设有进料口（5）和出料口（10），所述进料口（5）和出料口（10）之间均匀设有传输辊（34），所述传输辊（34）的两端固定安装驱动轴，所述驱动轴通过轴承转动连接磨边室（2）内壁，且延伸出磨边室（2），驱动轴通过联轴器连接驱动电机（44），所述传输辊（34）上固定安装齿轮，齿轮通过链条（43）传动连接，所述传输辊（34）之间设有打磨电机（36），所述打磨电机（36）的输出端通过联轴器连接打磨棒（35），所述打磨电机（36）固定安装在滑块二（37...

【技术特征摘要】
1.一种用于制造非晶硅薄膜的磨边装置，包括装置本体（1），其特征在于，所述装置本体（1）由磨边室（2）和伸缩移动柱（6）组成，所述磨边室（2）左右端面分别设有进料口（5）和出料口（10），所述进料口（5）和出料口（10）之间均匀设有传输辊（34），所述传输辊（34）的两端固定安装驱动轴，所述驱动轴通过轴承转动连接磨边室（2）内壁，且延伸出磨边室（2），驱动轴通过联轴器连接驱动电机（44），所述传输辊（34）上固定安装齿轮，齿轮通过链条（43）传动连接，所述传输辊（34）之间设有打磨电机（36），所述打磨电机（36）的输出端通过联轴器连接打磨棒（35），所述打磨电机（36）固定安装在滑块二（37）上，所述滑块二（37）螺纹连接螺纹杆三（38），所述螺纹杆三（38）通过轴承转动连接磨边室（2）内壁，且延伸出磨边室（2），所述螺纹杆三（38）固定连接把手四，所述滑块二（37）下端面固定连接滑动杆（42），所述滑动杆（42）固定连接滑块一，滑块一滑动连接中空的固定杆二（39），所述固定杆二（39）内设有支撑弹簧（41），所述支撑弹簧（41）两端面固定连接滑块一和固定杆二（39），所述固定杆二（39）下端面安装滚轮（40），所述滚轮（40）滚动连接磨边室（2）底部上设有滑槽，磨边室（2）的底面为倾斜设置，且设有卸渣口（27），所述磨边室（2）的内壁上均匀铰接吸头（26），所述吸头（26）通过抽风机（33）和回收管连接收集箱（31）内底部，所述收集箱（31）内滑动连接抽拉收集抽屉，抽拉收集抽屉上固定安装推拉把手（30），所述收集箱（31）内壁固定安装滤袋（32），收集箱（31）设有连通到磨边室（2）外部的泄气口，泄气口内固定安装过滤网，所述磨边室（2）下端面固定安装伸缩移动柱（6）。2.根据权利要求1所述的一种用于制造非晶硅薄膜的磨边装置，其特征在于，所述磨边室（2）为长方体结构，且前后端面分别设有密封门（9），所述密封门（9）通过合页连接磨边室（2），所述密封门（9）上设有凹形把手，所述密封门（9）为透明结构。3.根据权利要求1所述的一种用于制造非晶硅薄膜的磨边装置，其特征在于，所述进料口（5）和出料口（10）在同一水平面上，所述进料口（5）内滑动连接导向板（4），导向板（4）设有两个，导向板（4）相对立面对面的端面为倾斜面，所述导向板（4）上固定安装连接块（3），所述连接块（3）上设有螺纹贯穿孔，螺纹贯穿孔内螺纹连接紧定螺栓。4.根据权利要求1或3所述的一种用于制造非晶硅薄膜的磨边装置，其特征在于，所述出料口（10）右侧设有刷毛（11），所述刷毛（11）均匀固定安装在滑板一（29）端面，所述滑板一（29）上下对称设置，对称设置的滑板一（29）的一端螺纹连接设有反向螺纹的丝杆（28），所述丝杆（28）通过轴承转动连接磨边室（2），且延伸出磨边室（2），丝杆（28）固定连接把手三（12），对称设置的滑板一（29）的另一端设有贯穿...

【专利技术属性】
技术研发人员：代恒科，吕永利，杨海忠，
申请(专利权)人：中山市恒辉自动化科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44