The utility model provides a cylindrical target, which comprises a cylindrical target body, one end of the target body is provided with a flange, the other end of the target body is provided with a round target, and the flange and the round target are welded and connected with the target body by friction stir welding respectively, and the circular target is uniformly arranged with a ring-shaped bulge. The flange and round target are joined with the target body by rotating platform and friction stir welding respectively. One end of the rotating platform is fixed by the pin of the tailstock, the other end is butted with flange and flange disc. When the adjustment reaches 100% coincidence, the round target is welded on the target body by friction stir welding. Thus, the flange, round target and target body can be ensured to be integrated. The structure is more firm; in the course of use, the annular bulge increases the thickness of the round target, and when subjected to high-energy impact, there will be no pits, which effectively prolongs the service life of the cylindrical target and saves more materials.
【技术实现步骤摘要】
一种圆筒靶材
本技术涉及半导体
，尤其涉及一种圆筒靶材。
技术介绍
现有工艺中常用的溅射靶材(简称靶材)一般为圆筒结构，且靶材表面为光滑的平面结构。当靶材被多次使用之后，由于溅射过程中高能粒子撞击靶材表面的角度、频率及能量等有所不同，靶材表面将不再是平整的结构，而是形成了多个环状的凹坑。当凹坑继续被高能粒子撞击时，将可能导致靶材被击穿，从而影响溅射结果，因此，需要及时更换靶材。而被更换掉的靶材由于只是在凹坑处被撞击掉了部分材料，凹坑周边地方还剩余较多靶材材料，造成了靶材材料的浪费，增加了成本。
技术实现思路
本技术所解决的技术问题在于提供一种圆筒靶材，包括圆筒状的靶材本体，所述靶材本体的一端设置有法兰盘，所述靶材本体的另一端设置有圆靶，所述法兰盘和所述圆靶与所述靶材本体分别通过搅拌摩擦焊的方式焊接连接，所述圆靶上均布设置有环形凸起。更进一步的，所述环形凸起的截面为半圆形。更进一步的，所述靶材本体的一端为安装部，所述安装部的外径小于所述靶材本体的外径，所述法兰盘与所述安装部焊接连接。更进一步的，所述环形凸起位于所述圆靶的外表面。更进一步的，所述圆靶的中线设置有定位孔。...
【技术保护点】
1.一种圆筒靶材，其特征在于：包括圆筒状的靶材本体，所述靶材本体的一端设置有法兰盘，所述靶材本体的另一端设置有圆靶，所述法兰盘和所述圆靶与所述靶材本体分别通过搅拌摩擦焊的方式焊接连接，所述圆靶上均布设置有环形凸起。
【技术特征摘要】
1.一种圆筒靶材，其特征在于：包括圆筒状的靶材本体，所述靶材本体的一端设置有法兰盘，所述靶材本体的另一端设置有圆靶，所述法兰盘和所述圆靶与所述靶材本体分别通过搅拌摩擦焊的方式焊接连接，所述圆靶上均布设置有环形凸起。2.如权利要求1所述的圆筒靶材，其特征在于：所述环形凸起的截面为半圆形。3....
【专利技术属性】
技术研发人员：松本光裕，
申请(专利权)人：京浜乐梦金属科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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