The utility model provides a grinding disc based on bionic plant veins, which comprises a base layer and a working layer arranged in layers; the working layer is bionic to various plant leaf veins and is provided with a groove structure, and the groove structure is divided into a main groove and a sub-groove according to the main and branch veins of the plant leaf; the main groove extends from the center of the working layer to the edge; The secondary groove is located between two adjacent main grooves, and the secondary groove has a plurality of branch ends connecting the edge of the main groove or working layer, and has a plurality of branch veins intersecting ends. The utility model also provides a method for manufacturing the grinding disk. According to the principle of plant vein transmission, the grinding disc has good uniformity of groove distribution, more uniform distribution of grinding fluid in the grinding process, which is conducive to timely discharging of grinding debris, preventing clogging and wear of the grinding disc, and improving the quality and efficiency of grinding process.
【技术实现步骤摘要】
一种基于仿生植物脉络的研磨盘
本技术涉及一种固结磨料研磨盘,特别是涉及一种基于仿生植物脉络槽型的金刚石微粉固结研磨盘。
技术介绍
研磨抛光加工技术作为一种重要的精密超精密加工技术方法,它被广泛应用于半导体基片材料加工领域。而固结磨料研磨抛光技术无疑是该技术中的一项热门技术,固结磨料研磨盘的研发推动着固结磨料研磨抛光技术不断革新,越来越受到各界的重视。代替金属结合剂的树脂结合剂研磨盘由于其加工性能更加突出,制备也更加容易而被广泛使用。在研磨抛光过程中,为了使加工工件表面获得更好的表面质量,需要考虑的一个重要问题就是研磨工具随加工的进行而逐渐堵塞。针对这一问题,研磨盘上会设计一些简单的沟槽以利于研屑的排出,例如网格槽型、螺旋槽型、同心圆槽型等。然而,这些沟槽结构主要是解决了研磨工具在全局上研磨液供给问题,在研磨工具表面未设置沟槽结构的局部区域仍存在研磨液供给不均,易造成研屑在研磨工具局部区域不能及时的排出,进而造成研磨工具的局部堵塞磨损问题,这将严重影响研磨加工的材料去除效率和研磨加工表面质量。为了更有效的解决上述问题,需要设计更复杂有效的沟槽以达到更好的研磨液输送和研屑排出效果,保证研磨工具良好的加工性能。
技术实现思路
本技术的目的是为了使研磨过程研磨液分布更均匀,研屑顺畅的排出,提供一种基于仿生植物脉络的研磨盘。本技术所要解决的次要技术问题是提供上述基于仿生植物脉络的研磨盘的制作方法。为了解决上述的技术问题,本技术提供了一种基于仿生植物脉络的研磨盘,包括层叠设置的基体层和工作层;所述工作层仿生于各种不同的植物叶片脉络分布设置有沟槽结构,并且所述沟槽结构根据植物叶 ...
【技术保护点】
1.一种基于仿生植物脉络的研磨盘,其特征在于:包括层叠设置的基体层和工作层;所述工作层仿生于植物叶片脉络分布设置有沟槽结构,并且所述沟槽结构根据植物叶片的主脉络和分支脉络分为主沟槽和副沟槽;所述主沟槽由工作层的中心向边缘延伸,并且各个主沟槽绕着研磨盘的轴心呈旋转螺旋对称分布;所述副沟槽位于相邻两个主沟槽之间,并且所述副沟槽具有多个连接主沟槽或工作层边缘的分支末端,并且具有多个分支脉络交汇端。
【技术特征摘要】
1.一种基于仿生植物脉络的研磨盘,其特征在于:包括层叠设置的基体层和工作层;所述工作层仿生于植物叶片脉络分布设置有沟槽结构,并且所述沟槽结构根据植物叶片的主脉络和分支脉络分为主沟槽和副沟槽;所述主沟槽由工作层的中心向边缘延伸,并且各个主沟槽绕着研磨盘的轴心呈旋转螺旋对称分布;所...
【专利技术属性】
技术研发人员:方从富,严振,胡中伟,徐西鹏,
申请(专利权)人:华侨大学,
类型:新型
国别省市:福建,35
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